技术特征：
技术总结
本发明公开一种消振装置及其使用方法。所述消振装置包括基体单元、电机、可动固定单元、弹性连接单元、配重单元以及主动控制单元；所述电机的定子固定连接在所述基体单元上，所述电机的动子连接在所述可动固定单元上；所述可动固定单元的一端通过所述弹性连接单元与所述基体单元连接，另一端与所述配重单元连接；所述主动控制单元控制所述电机运动实现主动消振。本发明具有一定的通用性，可针对一定频率范围内的不同类型的振动进行消振，具有体积小，质量轻等特点，可以方便灵活地进行安装和调整。
技术研发人员：王天明;郭耸;刘赟
受保护的技术使用者：上海微电子装备（集团）股份有限公司
技术研发日：2017.11.30
技术公布日：2019.06.07