本实用新型涉及法兰装置领域，尤其涉及一种兼容橡胶圈和铜垫圈密封的真空法兰密封装置。
背景技术：
图1是现有技术中的真空法兰密封装置100的结构示意图。如图1所示，真空法兰密封装置100可包括两种密封方案：
(一)真空法兰(例如，标准CF法兰101和102)是通过铜垫圈103(例如，无氧铜垫圈)密封(如图1的上半部分所示)。具体地，将无氧铜垫圈103放在刀口密封位置，通过螺钉将两个CF法兰101和102压紧，通过CF法兰101和102上的刀口嵌到铜垫圈103形成密封。这种密封方案的优点包括：真空度能达到超过真空；耐高温；放气量小。这种密封方案的缺点包括：安装、拆卸不方便，劳动量大；无氧铜垫圈不能重复使用，每拆卸一次都需更换新的，成本增加；不兼容橡胶圈密封。
(二)真空法兰(例如，真空法兰104和105)是通过橡胶圈106密封(如图1的下半部分所示)。具体地，将橡胶圈106放在密封槽位置，通过螺钉将真空法兰104和105压紧，通过法兰密封圈与橡胶圈106贴合形成密封。这种密封方案的优点包括：安装方便；橡胶圈可以重复使用。这种密封方案的缺点包括：真空度比CF法兰铜垫圈密封略低一些；不能耐高温；放气量大；不兼容铜垫圈密封。
因此，需要一种改进的兼容橡胶圈和铜垫圈密封的真空法兰密封装置。
技术实现要素：
为了解决上述问题，本实用新型提供一种改进的兼容橡胶圈和铜垫圈密封的真空法兰密封装置。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：
一种真空法兰密封装置，包括第一真空法兰、第二真空法兰、铜垫圈、以及橡胶圈，其特征在于：所述第一真空法兰和所述第二真空法兰通过螺钉固定在一起；以及所述铜垫圈和所述橡胶圈嵌在所述第一真空法兰和所述第二真空法兰之间的兼容密封槽中。
优选地，所述第一真空法兰是兼容性CF法兰。
优选地，所述第二真空法兰是标准CF法兰。
优选地，所述铜垫圈是无氧铜垫圈。
优选地，所述两个密封槽包括对应于所述铜垫圈的第一密封槽、以及对应于所述橡胶圈的第二密封槽。
优选地，所述第一密封槽和所述第二密封槽是分离的。
优选地，对应于所述铜垫圈的所述第一密封槽位于对应于所述橡胶圈的所述第二密封槽的上方。
优选地，对应于所述铜垫圈的所述第一密封槽位于对应于所述橡胶圈的所述第二密封槽的下方。
有利地，根据本实施新型的真空法兰密封装置能够兼容橡胶圈和铜垫圈密封。在一些不需要超高真空、不需高温的工作环境，用户为了方便操作可以选择用橡胶圈密封。而在一些需要超高真空、高温的工作环境，用户可以选择用无氧铜垫圈密封。这样用户就有选择的余地，灵活性更强。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是现有技术中的真空法兰密封装置的结构示意图。
图2是根据本实用新型实施例的真空法兰密封装置的结构示意图。
附图标记：
100、200 法兰装置
101、102 标准CF法兰
103 无氧铜垫圈
104、105 真空法兰
106 橡胶圈
201 兼容性CF法兰
202 标准CF法兰
203 无氧铜垫圈
204 橡胶圈
具体实施方式
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面结合附图和较佳的实施例对本实用新型作进一步说明。
图2是根据本实用新型实施例的真空法兰密封装置200的结构示意图。如图2所示，真空法兰密封装置200可包括第一真空法兰201(例如，兼容性CF法兰)、第二真空法兰(例如，标准CF法兰)、铜垫圈203(例如，无氧铜垫圈)、以及橡胶圈204。
第一真空法兰201(例如，兼容性CF法兰)和第二真空法兰(例如，标准CF法兰)是通过螺钉固定在一起。铜垫圈203(例如，无氧铜垫圈)和橡胶圈204嵌在第一真空法兰201(例如，兼容性CF法兰)和第二真空法兰(例如，标准CF法兰)之间的兼容密封槽中。
例如，第一真空法兰201(例如，兼容性CF法兰)和第二真空法兰(例如，标准CF法兰)之间的兼容密封槽上可包括对应于铜垫圈203(例如，无氧铜垫圈)的第一密封槽、以及对应于橡胶圈204的第二密封槽，所述第一密封槽和第二密封槽是分离的。在一个实施例中，对应于铜垫圈203(例如，无氧铜垫圈)的第一密封槽位于对应于橡胶圈204的第二密封槽的上方。在另一个实施例中，对应于铜垫圈203(例如，无氧铜垫圈)的第一密封槽位于对应于橡胶圈204的第二密封槽的下方。这只是本发明的示例，而并非限制性描述。
在具体操作时，可根据应用需要而选择性放置铜垫圈203或橡胶圈204嵌在对应密封槽中。
有利地，根据本实施新型的真空法兰密封装置能够兼容橡胶圈和铜垫圈密封。在一些不需要超高真空、不需高温的工作环境，用户为了方便操作可以选择用橡胶圈密封。而在一些需要超高真空、高温的工作环境，用户可以选择用无氧铜垫圈密封。这样用户就有选择的余地，灵活性更强。而不是会像传统法兰那样，只能选择一种密封方式，当法兰已经加工好或者焊接好的时候，想换一种密封方式就不可以了。
需要说明的是，通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到本实用新型可借助软件加必需的硬件平台的方式来实现，当然也可以全部通过硬件来实施。基于这样的理解，本实用新型的技术方案对背景技术做出贡献的全部或者部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品可以存储在存储介质中，如ROM/RAM、磁碟、光盘等，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本实用新型各个实施例或者实施例的某些部分所述的方法。
以上所揭露的仅为本实用新型实施例中的较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，因此依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖的范围。