一种蓝宝石单晶炉真空系统用的连接法兰的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种蓝宝石单晶炉真空系统用的连接法兰，包括有法兰本体（1），法兰本体（1）内设有导流槽（6），法兰本体（1）上设有与导流槽（6）导通的冷却水入口（2）和冷却水出口（3），法兰本体（1）的通孔内设有支撑架（5），支撑架（5）上连接有若干过滤板（4）。本实用新型具有能减缓密封垫圈老化损坏速度，延长密封垫圈的使用寿命，能凝结部分抽出气体中的挥发物，降低挥发物对真空泵的性能和寿命的影响的有益效果。
【专利说明】
一种蓝宝石单晶炉真空系统用的连接法兰
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种法兰，特别是一种蓝宝石单晶炉真空系统用的连接法兰。
【背景技术】
[0002]法兰，又叫法兰凸缘盘或突缘。法兰是管子与管子之间相互连接的零件，用于管端之间的连接;也有用在设备进出口上的法兰，用于两个设备之间的连接。如在蓝宝石单晶炉真空系统中，真空室与真空栗之间经管道连接，但是由于单晶炉内的温度高于100tC，真空栗抽出的气体具有很高的温度，使连接管道的管壁温度很高，导致法兰连接处的密封垫圈(橡胶圈)很容易老化损坏，密封性降低，如果更换不及时还会出现漏气的现象，影响真空室的真空度；同时，由于单晶炉内的蓝宝石晶体材料在高温熔融时会产生大量的挥发物，挥发物进入真空栗后会对真空栗的性能和寿命造成一定的影响。
【发明内容】
[0003]为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种蓝宝石单晶炉真空系统用的连接法.~~.0
[0004]本实用新型的技术方案:一种蓝宝石单晶炉真空系统用的连接法兰，包括有法兰本体，法兰本体内设有导流槽，法兰本体上设有与导流槽导通的冷却水入口和冷却水出口，法兰本体的通孔内设有支撑架，支撑架上连接有若干过滤板。
[0005]前述的蓝宝石单晶炉真空系统用的连接法兰，所述支撑架是两根平行设置在法兰本体通孔内的金属杆，金属杆垂直穿过过滤板板面后，两端连接在法兰本体的内环壁上。
[0006]本实用新型的有益效果:本实用新型通过在法兰内设置导流槽，并在法兰上设置与导流槽导通的冷却水入口和冷却水出口，使用过程中通过冷却水入口向法兰内通入冷却水，降低法兰的温度，减缓了法兰连接处的密封垫圈的老化速度，延长了密封垫圈的使用寿命;同时，本实用新型通过在法兰通孔内设置过滤板，法兰内的导流槽中通入冷却水以后会降低法兰处的管道内的温度，形成一定的温差，真空栗抽出的气体中的挥发物在此凝结，减少挥发物进入真空栗的量，降低了挥发物对真空栗的性能和寿命的影响。综上所述，本实用新型具有能减缓密封垫圈老化损坏速度，延长密封垫圈的使用寿命，能凝结部分抽出气体中的挥发物，降低挥发物对真空栗的性能和寿命的影响的有益效果。
【附图说明】
[0007]附图1为本实用新型的透视图；
[0008]附图2为本实用新型的主剖视图。
[0009]附图标记说明:1-法兰本体，2-冷却水入口，3_冷却水出口，4_过滤板，5-支撑架，6-导流槽。
【具体实施方式】
[0010]下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明，但并不作为对本实用新型限制的依据。
[0011]本实用新型的实施例:一种蓝宝石单晶炉真空系统用的连接法兰，如附图1-2所示，包括有法兰本体I，法兰本体I内设有导流槽6，法兰本体I上设有与导流槽6导通的冷却水入口 2和冷却水出口 3，法兰本体I的通孔内设有支撑架5，支撑架5上连接有若干过滤板4。
[0012]所述支撑架5是两根平行设置在法兰本体I通孔内的金属杆，金属杆垂直穿过过滤板4板面后，两端连接在法兰本体I的内环壁上。
[0013]本实用新型工作时，首先将法兰本体I安装在连接处，在冷却水入口2和冷却水出口 3处连接好相应的管道，冷却水从冷却水入口 2进入导流槽6内，带走热量，降低了法兰本体I上的温度，降低了高温对法兰本体I一侧的密封垫圈的寿命的影响，最后吸收热量的冷却水从冷却水出口 3流出，同时，真空栗抽出的高温气体在法兰处受温差的影响，气体中的挥发物在此凝结并附着在过滤板附近，降低了挥发物对真空栗的性能的影响。
【主权项】
1.一种蓝宝石单晶炉真空系统用的连接法兰，其特征在于:包括有法兰本体(I)，法兰本体(I)内设有导流槽(6)，法兰本体(I)上设有与导流槽(6)导通的冷却水入口(2)和冷却水出口(3)，法兰本体(I)的通孔内设有支撑架(5)，支撑架(5)上连接有若干过滤板(4)。2.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶炉真空系统用的连接法兰，其特征在于:所述支撑架(5)是两根平行设置在法兰本体(I)通孔内的金属杆，金属杆垂直穿过过滤板(4)板面后，两端连接在法兰本体(I)的内环壁上。
【文档编号】C30B35/00GK205556855SQ201620231887
【公开日】2016年9月7日
【申请日】2016年3月24日
【发明人】高佑君, 李志强, 代小波, 王光明
【申请人】独山晶科光电信息材料有限公司