一种二自由度微纳定位平台的制作方法

文档序号:17152795发布日期:2019-03-19 23:36阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种二自由度微纳定位平台,包括基座、运动平台、导向机构、解耦机构、驱动器;基座中部设有所述运动平台,所述运动平台四周连接有所述导向机构,导向机构又与所述解耦机构连接,所述解耦机构与所述基座连接,放大机构置于所述运动平台和所述解耦机构之间,放大机构与解耦机构连接,放大机构内设有驱动器,驱动器用于驱动所述运动平台。本发明结构布局有效的利用定位平台空间,减小了的定位平台整体尺寸。本发明能减小因定位平台铰链刚化效应产生的力—位移非线性以及减小了铰链集中应力,驱动器辅助装配机构使得驱动器过盈装配到放大机构中更为方便,定位平台能够使用线切割一体化加工,具有无需装配、无摩擦、无需润滑等优点。

技术研发人员:纪华伟;李天翼
受保护的技术使用者:杭州电子科技大学
技术研发日:2018.12.26
技术公布日:2019.03.19
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