一种流体与真空分配阀的制作方法

文档序号:17381778发布日期:2019-04-12 23:54阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种流体与真空分配阀,其特征在于,包括气接头(1)、分配阀体(2)、压力传感器(3)、真空总管组件(4)、气缸(5)、第一O型密封圈(6)、阀盖板(7)、第二O型密封圈(8)、第一限位座(9)、限位套(10)、真空密封垫(11)、第二限位座(12)、锁紧螺栓(13)、电磁阀组件(14),分配阀体(2)上安装有气接头(1),分配阀体(2)的一端螺纹连接有真空总管组件(4),分配阀体(2)的另一端安装有电磁阀组件(14),分配阀体(2)一侧安装有阀盖板(7),分配阀体(2)与阀盖板(7)之间密封连接有第二O型密封圈(8),阀盖板(7)外侧安装有气缸(5),气缸(5)与电磁阀组件(14)连接,阀盖板(7)与气缸(5)的连接处密封设置有第一O型密封圈(6),阀盖板(7)内的流体通道安装有压力传感器(3),所述气缸(5)的轴端通过锁紧螺栓(13)依次串联有第一限位座(9)、限位套(10)、真空密封垫(11)、第二限位座(12)。

2.根据权利要求1所述的一种流体与真空分配阀,其特征在于,所述的分配阀体(2)上配有五个点,气接头(1)安装在分配阀体(2)每个气嘴对应的一个真空需求点上,每个真空需求点配有一个气缸(5)。

3.根据权利要求1所述的一种流体与真空分配阀,其特征在于,所述的真空密封垫(11)通过气缸(5)的伸缩密封真空通道和流体通道口。

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