一种垂直伞形高真空插板阀的制作方法

本实用新型涉及高真空插板阀技术领域，具体为一种垂直伞形高真空插板阀。

背景技术：

大型的高温高真空插板阀一直都是大型真空连续腔体真空隔离的难点和重点所在。目前连续装饰镀膜、连续工具镀膜、高温连续真空处理炉和光学镀膜行业广泛存在不能有效隔离的问题。对于这样一个广泛的应用领域，隔离主要存在以下问题：

1、阀板跨度大，在玻璃和装饰镀膜领域，装载盘(或者装载架)跨度已经需要2-4米跨度，对插板阀的设计提出了很高的要求；

2、阀板的高度大，在装饰镀膜和高温退火连续炉领域，由于产能的要求，对工件箱(或装载架)高度需要达到1.5米的通过性；

3、工作环境温度高，在工具镀膜和高温退火连续炉领域需要炉体的温度到达300摄氏度，高温退火连续炉甚至需要到1100摄氏度；

4、节拍块，由于工业化的生产，需要快节拍生产，一般连续运行节拍最快在60-90秒。

5、高真空隔离有效性和稳定性，插板阀要进行空气与真空隔离、真空压差隔离、真空工艺气氛隔离和温差隔离，对不同工艺需要进行不同的工艺设计。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种垂直伞形高真空插板阀，有效的解决了大跨度大高度的基片装载架或者托盘的真空阀门通过性，对工件箱的高度需要可达到1.5米的通过性，允许的隔离温度可到达300摄氏度，优化设计后可以达到高温退火连续至需要的1100摄氏度，具有良好的高真空隔离有效性和稳定性，插板阀可进行空气与真空隔离、真空压差隔离、真空工艺气氛隔离和温差隔离，对不同工艺需要可进行不同的工艺优化设计，经过调校后，机械节拍达到了60-90秒，可实现电气的全自动化控制，可以和全自动化生产线配合使用，减少了人员的参与状态，提高了产品的成品率，可以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种垂直伞形高真空插板阀，包括阀体真空腔，所述阀体真空腔的下端设置有阀体安装门，所述阀体真空腔的内侧设置有阀体导杆，所述阀体导杆的两端分别通过导杆上安装座和导杆下安装座固定在阀体真空腔的内壁上，所述阀体导杆上安装有支撑块，所述支撑块通过联轴器与插板阀气缸连接，所述插板阀气缸通过气缸轴密封连接在气缸安装门上，所述气缸安装门上通过冷却水进出轴密封连接有冷却水进出管，所述冷却水进出管通过冷却水进出分水器与外部进出水法兰连接，所述冷却水进出管远离冷却水进出分水器的一端连接有冷却水进出分水头，所述支撑块的一侧设置有阀板导向轮，所述阀板导向轮的下方设置有阀板导向座，所述阀板导向轮的一侧设置有伞形撑杆，所述伞形撑杆安装在导向座上，所述伞形撑杆的一侧设置有支撑板，所述支撑板的一侧设置有限位块，所述伞形撑杆的另一侧设置有密封板。

优选的，所述支撑板和密封板的内侧面分别焊接有支撑板冷却水道和密封板冷却水道，所述支撑板冷却水道和密封板冷却水道均通过软管与冷却水进出分水头密封连接。

优选的，所述支撑块通过插板阀气缸在阀体导杆上运动。

优选的，所述支撑板和密封板通过伞形撑杆撑开。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型垂直伞形高真空插板阀，有效的解决了大跨度大高度的基片装载架或者托盘的真空阀门通过性，对工件箱的高度需要可达到1.5米的通过性，允许的隔离温度可到达300摄氏度，优化设计后可以达到高温退火连续至需要的1100摄氏度，具有良好的高真空隔离有效性和稳定性，插板阀可进行空气与真空隔离、真空压差隔离、真空工艺气氛隔离和温差隔离，对不同工艺需要可进行不同的工艺优化设计，经过调校后，机械节拍达到了60-90秒，可实现电气的全自动化控制，可以和全自动化生产线配合使用，减少了人员的参与状态，提高了产品的成品率。

附图说明

图1为本实用新型的垂直伞形高真空插板阀的示意图；

图2为本实用新型的垂直伞形高真空插板阀的正视图；

图3为本实用新型的垂直伞形高真空插板阀的侧视图；

图4为本实用新型的垂直伞形高真空插板阀的俯视图。

图中：1、阀体真空腔；2、阀体安装门；3、气缸安装门；4、阀体导杆；5、气缸轴密封；6、冷却水进出分水器；7、插板阀气缸；8、冷却水进出轴密封；9、冷却水进出管；10、冷却水进出分水头；11、伞形撑杆；12、导向座；13、限位块；14、阀板导向轮；15、阀板导向座；16、导杆下安装座；17、支撑块；18、支撑板；181、支撑板冷却水道；19、密封板；191、密封板冷却水道；20、导杆上安装座。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，一种垂直伞形高真空插板阀，包括阀体真空腔1，阀体真空腔1的下端设置有阀体安装门2，阀体真空腔1的内侧设置有阀体导杆4，阀体导杆4的两端分别通过导杆上安装座20和导杆下安装座16固定在阀体真空腔1的内壁上，阀体导杆4上安装有支撑块17，支撑块17通过联轴器与插板阀气缸7连接，支撑块17通过插板阀气缸7在阀体导杆4上运动，当高温真空插板隔离阀关闭时，两个插板阀气缸7由上往下充气，插板阀气缸7通过气缸轴密封5连接在气缸安装门3上，插板阀气缸7推着支撑块17沿着阀体导杆4运动至阀体真空腔1的底部，直到阀板导向轮14与阀板导向座15接触，并继续由插板阀气缸7加压推动，通过伞形撑杆11将支撑板18和密封板19撑开，将支撑板18推到与限位块13接触并顶住，将密封板19的密封圈推向与阀体真空腔1的内密封面紧密接触达到真空密封，支撑板18和密封板19的内侧面分别焊接的支撑板冷却水道181和密封板冷却水道191均通过软管与冷却水进出分水头10法兰密封紧固连接，由冷却水进出管9通过冷却水进出分水器6与外部进出水法兰连接，冷却水进出管9通过冷却水进出轴密封8紧密安装在气缸安装门3上，由伞形撑杆11将支撑板18和密封板19连接在一起形成主阀体，在阀体真空腔1外面安装好后，由阀体安装门2推入阀体真空腔1，并由阀板导向座15沿两侧的阀体导杆4摩擦导向，阀体导杆4通过导杆下安装座16和导杆上安装座20紧固在阀体真空腔1内壁，插板阀气缸7通过气缸轴密封5连接在气缸安装门3上，气缸安装门3上通过冷却水进出轴密封8连接有冷却水进出管9，冷却水进出管9通过冷却水进出分水器6与外部进出水法兰连接，冷却水进出管9远离冷却水进出分水器6的一端连接有冷却水进出分水头10，支撑块17的一侧设置有阀板导向轮14，阀板导向轮14的下方设置有阀板导向座15，阀板导向轮14的一侧设置有伞形撑杆11，伞形撑杆11安装在导向座12上，伞形撑杆11的一侧设置有支撑板18，支撑板18的一侧设置有限位块13，伞形撑杆11的另一侧设置有密封板19，支撑板18和密封板19的内侧面分别焊接有支撑板冷却水道181和密封板冷却水道191，支撑板冷却水道181和密封板冷却水道191均通过软管与冷却水进出分水头10密封连接，支撑板18和密封板19通过伞形撑杆11撑开，当高温真空插板隔离阀开启时，两个插板阀气缸7由下往上充气，插板阀气缸7通过气缸轴密封5连接在气缸安装门3上，插板阀气缸7推着支撑块17沿着阀体导杆4运动至阀体真空腔1的顶部，由于重力作用伞形撑杆11将支撑板18和密封板19自动收缩，并由支撑块17将支撑板18和密封板19限位保持最小间距。

当高温真空插板隔离阀关闭时，两个插板阀气缸7由上往下充气，插板阀气缸7通过气缸轴密封5连接在气缸安装门3上，插板阀气缸7推着支撑块17沿着阀体导杆4运动至阀体真空腔1的底部，直到阀板导向轮14与阀板导向座15接触，并继续由插板阀气缸7加压推动，通过伞形撑杆11将支撑板18和密封板19撑开，将支撑板18推到与限位块13接触并顶住，将密封板19的密封圈推向与阀体真空腔1的内密封面紧密接触达到真空密封，支撑板18和密封板19的内侧面分别焊接的支撑板冷却水道181和密封板冷却水道191均通过软管与冷却水进出分水头10法兰密封紧固连接，由冷却水进出管9通过冷却水进出分水器6与外部进出水法兰连接，冷却水进出管9通过冷却水进出轴密封8紧密安装在气缸安装门3上，由伞形撑杆11将支撑板18和密封板19连接在一起形成主阀体，在阀体真空腔1外面安装好后，由阀体安装门2推入阀体真空腔1，并由阀板导向座15沿两侧的阀体导杆4摩擦导向，阀体导杆4通过导杆下安装座16和导杆上安装座20紧固在阀体真空腔1内壁，当高温真空插板隔离阀开启时，两个插板阀气缸7由下往上充气，插板阀气缸7通过气缸轴密封5连接在气缸安装门3上，插板阀气缸7推着支撑块17沿着阀体导杆4运动至阀体真空腔1的顶部，由于重力作用伞形撑杆11将支撑板18和密封板19自动收缩，并由支撑块17将支撑板18和密封板19限位保持最小间距，该垂直伞形高真空插板阀，有效的解决了大跨度大高度的基片装载架或者托盘的真空阀门通过性，对工件箱的高度需要可达到1.5米的通过性，允许的隔离温度可到达300摄氏度，优化设计后可以达到高温退火连续至需要的1100摄氏度，具有良好的高真空隔离有效性和稳定性，插板阀可进行空气与真空隔离、真空压差隔离、真空工艺气氛隔离和温差隔离，对不同工艺需要可进行不同的工艺优化设计，经过调校后，机械节拍达到了60-90秒，可实现电气的全自动化控制，可以和全自动化生产线配合使用，减少了人员的参与状态，提高了产品的成品率。

综上所述：本实用新型垂直伞形高真空插板阀，有效的解决了大跨度大高度的基片装载架或者托盘的真空阀门通过性，对工件箱的高度需要可达到1.5米的通过性，允许的隔离温度可到达300摄氏度，优化设计后可以达到高温退火连续至需要的1100摄氏度，具有良好的高真空隔离有效性和稳定性，插板阀可进行空气与真空隔离、真空压差隔离、真空工艺气氛隔离和温差隔离，对不同工艺需要可进行不同的工艺优化设计，经过调校后，机械节拍达到了60-90秒，可实现电气的全自动化控制，可以和全自动化生产线配合使用，减少了人员的参与状态，提高了产品的成品率。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。