一种可组装式气垫导轨的制作方法

本发明涉及超精密加工技术领域，尤其涉及一种可组装式气垫导轨。

背景技术：

现如今，微电子学、航天技术、信息技术、激光及生物工程等科学蓬勃向上发展，对加工机器和检测仪器等的精度要求越来越高，从毫米到微米再到亚微米，对于精度等级现阶段已经发展到纳米水平，并进一步向着亚纳米水平发展，使得超精密加工及超精密检测技术诞生。

在微细加工技术领域，不管是用于精密加工的机械，还是测量仪器，都对其机械部分提出了高精度、高速度、高运动分辨率、热稳定性、低震动、爬行小、污染少甚至无污染以及降低设备成本等方面的苛刻要求。

现有的气浮导轨多是将节流孔设置在溜板上，这样给制造加工造成不便，增加了制造成本。加工出带有节流孔的溜板都是拥有固定的形状，只能适用固定形状的导轨，无法再与其他形状的导轨配合使用，降低了资源的可配置性。

技术实现要素：

为解决现有的技术问题，本发明提供了一种可组装式气垫导轨，通过使用气浮垫组装成不同形式的导轨，以减小溜板的尺寸、提高溜板刚性，气浮垫可实现模块化设计，组装方式更加灵活，也提高资源的综合利用。

本发明的具体内容如下：一种可组装式气垫导轨，包括导轨、设置在导轨上的溜板和实现气体节流的气浮垫，溜板与导轨之间通过气浮垫连接，气浮垫设置在导轨的上端面和两侧端面；气浮垫上开设有出气孔和进气孔，气浮垫开有出气孔的一面靠近导轨的外表面，气浮垫开有进气孔的一面靠近溜板。

由于气浮垫实现气体节流，在其与导轨接触的一面底部形成空气薄层，使溜板与导轨之间形成不产生接触摩擦，由于无需在溜板上设置节流孔，可使得溜板尺寸减小、钢性提高，使装置整体具有更高的灵活性。另外，将气浮垫设置在导轨的上端面和两侧端面，保证溜板与导轨之间至少上部和侧部之间无摩擦，从而实现无摩擦的导轨使用效果。

进一步的，所述溜板为开放式结构。具体的，本申请的溜板的结构并不是完全闭合的，实际应用中溜板的结构可结合导轨的形状进行设置，可将溜板的结构设置为某一面具有开口的结构。

进一步的，所述气浮垫节流包括但不限于小孔节流、环面节流、多孔质节流、狭缝节流和表面节流。根据需要选择合适的气浮垫的种类。

进一步的，所述溜板内侧上表面与导轨的上表面平行设置，溜板内侧面分别与导轨的外侧表面平行。溜板由于需要在导轨上移动，因此设置溜板的内表面与导轨对应平行；实际应用中，溜板与导轨的对应面均设置为互相平行。

进一步的，所述气浮垫均匀分布在导轨外表面上，并使用塞尺调整气浮垫表面与导轨外表面之间的距离。为保证气浮垫与导轨之间的距离的一致，使用塞尺可测量调整气浮垫开有出气孔的一面与导轨外表面的间隙。

进一步的，所述气浮垫通过溜板和螺钉进行预紧，所述螺钉贯穿溜板。气浮垫通过溜板和螺钉进行预紧，使得各气浮垫与导轨的表面之间的距离相同，保证装置的稳定性。

进一步的，所述溜板的下表面与导轨的上表面之间设有四个气浮垫，溜板的侧面与导轨侧面之间各设有两个气浮垫。

进一步的，所述溜板底部为开放式结构，所述导轨形状包括但不限于t型和燕尾型。设置溜板的底部为开放式的结构，方便安装。

本发明的有益效果：采用这样的结构后，气浮垫可以以不同的布局方式安置导轨上，从而组装成不同布局形式的气垫导轨，应用在不同的领域。

附图说明

下面结合附图对本发明的具体实施方式做进一步阐明。

图1为本发明的实施例1的结构示意图；

图2为本发明的实施例2的结构示意图。

具体实施方式

实施例1

结合图1，一种可组装式气垫导轨1，包括导轨1、设置在导轨1上的溜板4和实现气体节流的气浮垫2，溜板4与导轨1之间通过气浮垫2连接，气浮垫2设置在导轨1的上端面和两侧端面；气浮垫2上开设有出气孔和进气孔，气浮垫2开有出气孔的一面靠近导轨1的外表面，气浮垫2开有进气孔的一面靠近溜板4。

由于气浮垫2实现气体节流，在其与导轨1接触的一面底部形成空气薄层，使溜板4与导轨1之间形成不产生接触摩擦，由于无需在溜板4上设置节流孔，可使得溜板4尺寸减小、钢性提高，使装置整体具有更高的灵活性。另外，将气浮垫2设置在导轨1的上端面和两侧端面，保证溜板4与导轨1之间至少上部和侧部之间无摩擦，从而实现无摩擦的导轨1使用效果。

本实施例优选的，溜板4为开放式结构。具体的，本申请的溜板4的结构并不是完全闭合的，实际应用中溜板4的结构可结合导轨1的形状进行设置，可将溜板4的结构设置为某一面具有开口的结构。

本实施例优选的，气浮垫2节流包括但不限于小孔节流、环面节流、多孔质节流、狭缝节流和表面节流。根据需要选择合适的气浮垫2的种类。

本实施例优选的，溜板4内侧上表面与导轨1的上表面平行设置，溜板4内侧面分别与导轨1的外侧表面平行。溜板4由于需要在导轨1上移动，因此设置溜板4的内表面与导轨1对应平行；实际应用中，溜板4与导轨1的对应面均设置为互相平行。

本实施例优选的，气浮垫2均匀分布在导轨1外表面上，并使用塞尺调整气浮垫2表面与导轨1外表面之间的距离。为保证气浮垫2与导轨1之间的距离的一致，使用塞尺可测量调整气浮垫2开有出气孔的一面与导轨1外表面的间隙。

本实施例优选的，气浮垫2通过溜板4和螺钉3进行预紧，螺钉3贯穿溜板4。气浮垫2通过溜板4和螺钉3进行预紧，使得各气浮垫2与导轨1的表面之间的距离相同，保证装置的稳定性。

本实施例优选的，溜板4的下表面与导轨1的上表面之间设有四个气浮垫2，溜板4的侧面与导轨1侧面之间各设有两个气浮垫2。

本实施例优选的，溜板4底部为开放式结构，导轨1形状为燕尾型，气浮垫2设置在导轨1的上表面和两个侧面，共3个面上。设置溜板4的底部为开放式的结构，方便安装。即导轨1的截面为燕尾型，具体的包括上下两个长方形和位于长方形中央的梯形；溜板4的截面形状与导轨1相适应，为上半部分为长方形，下半部分为上底大于下底的梯形，且溜板的底部为开口；当然实际的应用中并不限定于此。

实施例2

结合图2，本实施例中的，导轨1形状为t型，即导轨1的横截面为t型。相应的，气浮垫2分别设置在导轨1的四个面上，即气浮垫2分别设置在导轨1的上表面，两侧面以及t字水平部分的下表面。本实施例中溜板4的形状与导轨1相适合，横截面为底部设有开口的长方形，但是实际应用中并不限定于此。

其余技术特征与实施例1相同，在此不作赘述。

在以上的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是以上描述仅是本发明的较佳实施例而已，本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，因此本发明不受上面公开的具体实施的限制。同时任何熟悉本领域技术人员在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。