一种微调阀门及应用其的材料升华提纯装置的制作方法

1.本申请涉及材料升华提纯技术领域，特别涉及一种微调阀门及应用其的材料升华提纯装置。


背景技术：

2.在材料升华提纯过程中，在料装程序后需要对腔体进行抽真空，现有技术抽真空一般包括一个小阀门和一个大阀门，在抽真空过程中，先用小阀门进行抽真空，真空度下降到一定程度后，开启大阀门抽气。
3.但当材料很轻时，因为两个阀的开口及气流量存在较大的梯度，轻质的材料容易在气流突然变化的状态下飘起；造成腔体污染和材料损失。


技术实现要素：

4.为解决上述技术问题，本申请实施例公开了一种微调阀门，包括调节部、驱动部和阀门组件；所述调节部与所述驱动部连接，所述驱动部与所述阀门组件连接；
5.所述阀门组件包括阀片固定盘、阀片拨盘和多个阀片，所述阀片拨盘设于所述阀片固定盘上，所述多个阀片安装于所述阀片拨盘上；
6.所述驱动部能够驱动所述阀片拨盘转动，所述阀片拨盘转动能够带动阀片转动，实现阀门的开启与关闭。
7.进一步地，所述驱动部包括第一齿轮和第二齿轮，所述第一齿轮和所述第二齿轮啮合连接；所述第一齿轮与所述调节部连接，所述第二齿轮与所述阀片拨盘连接。
8.进一步地，所述第一齿轮的齿数小于所述第二齿轮的齿数。
9.进一步地，所述第一齿轮与所述第二齿轮垂直咬合设置。
10.进一步地，所述阀片固定盘上设置有环形凹槽，所述阀片拨盘设于安装于所述环形凹槽内。
11.进一步地，所述第二齿轮上设有第一销轴；阀片拨盘上设有第一直线槽，所述第一销轴位于所述第一直线槽内。
12.进一步地，所述阀片拨盘上设有第二销轴，所述阀片固定盘上设有第三销轴；所述阀片上设有第二直线槽；
13.所述第二销轴位于第二直线槽内，所述阀片拨盘可以驱动阀片绕所述第二销轴和所述第三销轴转动，实现阀门的开启与关闭。
14.进一步地，所述调节部包括连杆，所述连杆的一端与所述第一齿轮连接，所述连杆转动能够带动所述第一齿轮转动。
15.进一步地，所述调节部还包括旋钮，所述旋钮与所述连杆的另一端连接。
16.本申请第二方面一种材料升华提纯装置，包括所述微调阀门。
17.采用上述技术方案，本申请具有如下有益效果：
18.本申请提供的微调阀门包括调节部、驱动部和阀门组件；所述阀门组件包括阀片
固定盘、阀片拨盘和多个阀片；调节部能够带动驱动部转动，所述驱动部转动能够驱动所述阀片拨盘转动，所述阀片拨盘转动能够带动阀片转动；在抽真空过程中，可以通过控制调节部的旋转精确调整阀门的开启角度，避免抽气过快导致的材料飘起问题。
附图说明
19.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
20.图1为本申请实施例一种微调阀门关闭状态下的结构示意图。
21.图2为本申请实施例一种微调阀门开启状态下的结构示意图。
22.以下对附图作补充说明：
23.100
‑
调节部；101
‑
连杆；102
‑
旋钮；200
‑
驱动部；201
‑
第一齿轮；202
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第二齿轮；2021
‑
第一销轴；300
‑
阀门组件；301
‑
阀片固定盘；3011
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第三销轴；302
‑
阀片拨盘；3021
‑
第一直线槽；3022
‑
第二销轴；303
‑
阀片；3031
‑
第二直线槽。
具体实施方式
24.下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
25.此处所称的“一个实施例”或“实施例”是指可包含于本申请至少一个实现方式中的特定特征、结构或特性。在本申请实施例的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含的包括一个或者更多个该特征。而且，术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。
26.请参见图1并结合图2，图1和图2分别为本申请实施例一种微调阀门关闭和开启状态下的结构示意图，如图1和图2所示，该微调阀门包括调节部100、驱动部200和阀门组件300；所述调节部100与所述驱动部200连接，所述驱动部200与所述阀门组件300连接；
27.所述阀门组件300包括阀片固定盘301、阀片拨盘302和多个阀片303，所述阀片拨盘302设于所述阀片固定盘301上，所述多个阀片303安装于所述阀片拨盘302上；
28.所述驱动部200能够驱动所述阀片拨盘302转动，所述阀片拨盘302转动能够带动阀片303转动，实现阀门的开启与关闭。
29.所述驱动部200包括第一齿轮201和第二齿轮202，所述第一齿轮201和所述第二齿
轮202啮合连接；所述第一齿轮201与所述调节部100连接，所述第二齿轮202与所述阀片拨盘302连接。
30.本申请实施例中，所述第一齿轮201与所述第二齿轮202的齿轮数可以相等。在另一实施例中，所述第一齿轮201的齿数小于所述第二齿轮202的齿数；所述第一齿轮201和所述第二齿轮202能够构成用于减慢所述阀片303旋转的变速齿轮组。所述第一齿轮201和所述第二齿轮202啮合连接，通过所述第一齿轮201与所述第二齿轮202的变速,通过控制所述第一齿轮201和所述第二齿轮202的齿数比，能够将所述调节部100的大角度旋转变为所述阀片303的小角度旋转,从而实现精确地控制阀门开启或关闭角度，以及阀门的渐变式调节。
31.另一实施例中，所述第一齿轮201可以与所述第二齿轮202垂直咬合设置，可实现旋拧方向与阀门方向的灵活设置。
32.本申请实施例中，所述阀片固定盘301上设置有环形凹槽，所述阀片拨盘302设于安装于所述环形凹槽内。
33.所述第二齿轮202上设有第一销轴2021；阀片拨盘302上设有第一直线槽3021，所述第一销轴2021位于所述第一直线槽3021内。
34.所述阀片拨盘302上设有第二销轴3022，所述阀片固定盘302上设有第三销轴3011；所述阀片303上设有第二直线槽3031；
35.所述第二销轴3022位于所述第二直线槽3031内，所述阀片拨盘302可以驱动所述阀片303绕所述第二销轴3022和所述第三销轴3011转动，实现阀门的开启与关闭。
36.所述调节部100包括连杆101，所述连杆101的一端与所述第一齿轮201连接，所述连杆101转动能够带动所述第一齿轮201转动。
37.所述调节部100还包括旋钮102，所述旋钮102与所述连杆101的另一端连接。
38.本申请实施例中微调阀门的工作原理如下：通过转动所述旋钮102，所述旋钮102带动所述连杆101转动，所述连杆101带动所述第一齿轮201和所述第二齿轮202啮合联动，所述第二齿轮202转动后，由于所述第二齿轮202上的所述第一销轴2021设于所述阀片拨盘302上的所述第一直线槽3021内；所述阀片拨盘302能够在所述第二齿轮202的驱动下转动，所述阀片拨盘302转动能够带动所述阀片303转动，实现阀门的开启与关闭。进而在抽真空过程中，可以通过控制所述旋钮102的旋转精确调整所述阀片303的开启角度，避免抽气过快导致的材料飘起问题。
39.本申请另一方面提供一种材料升华提纯装置，包括上述微调阀门。
40.以上仅为本申请的较佳实施例，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。