连接可靠且防泄漏的气体质量流量控制器的制作方法

1.本实用新型主要涉及气体质量流量控制器的技术领域，具体为连接可靠且防泄漏的气体质量流量控制器。


背景技术：

2.质量流量控制器主要用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
3.一般的气体质量流量控制器，连接不够稳定，连接不够密闭容易泄漏。
4.针对上述中的相关技术，发明人认为市面上大部分现有技术安装连接与防泄漏不够好，在实际使用中，存在一定的局限性。


技术实现要素：

5.为了改善安装连接和防泄漏问题，本实用新型提供连接可靠且防泄漏的气体质量流量控制器。
6.采用如下的技术方案：
7.连接可靠且防泄漏的气体质量流量控制器，包括气体质量流量控制器本体、控制器、进气管、出气管；
8.所述气体质量流量控制器本体内设有内腔，所述控制器安装在所述气体质量流量控制器本体的上端面，所述进气管与所述出气管分别安装在所述气体质量流量控制器本体的左右两端，所述进气管与所述出气管的一端伸入到所述内腔内，所述进气管与所述出气管伸入到所述内腔的一端均设有安装槽，所述安装槽内安装有防漏组件，所述进气管与所述出气管的另一端均安装有安装组件。
9.采用上述技术方案，通过安装组合配合防漏组件，能稳定的安装气体质量流量控制器，并能防止气体质量流量控制器漏气。
10.优选的：所述防漏组件包括安装在所述安装槽内的气囊，所述进气管与所述出气管内对称设有进气槽，所述进气槽内安装有充气管，所述充气管的一端伸入到所述进气管与所述出气管内，另一端与所述气囊连通。
11.采用上述技术方案，通过设置气囊，能在气体质量流量控制器工作时将进气管、出气管与气体质量流量控制器的连接处堵住，防止气体泄漏。
12.优选的：所述安装组件包括对称安装在所述进气管与所述出气管远离所述气体质量流量控制器本体一端的安装块，所述安装块靠近所述进气管与所述出气管的一端设有通孔，所述通孔内对称设有多个安装孔，所述安装孔内滑动连接有固定销，所述固定销。
13.采用上述技术方案，通过设置固定销，能稳固地将气体质量流量控制器安装连接。
14.优选的：对称设置的多个所述固定销相互靠近的一端设有圆弧。
15.采用上述技术方案，通过设置圆弧，利于卡主连接的管道，从而稳固地将气体质量
流量控制器安装连接。
16.优选的：所述固定销靠近所述安装孔的一端安装有弹簧，所述弹簧的另一端与所述安装孔固定连接。
17.采用上述技术方案，通过设置弹簧，能通过弹簧将固定销顶出安装孔，并能通过弹簧配合固定销将连接的管道卡紧。
18.优选的：所述安装孔内左右对称设有滑槽，所述固定销的左右两端对称设有与所述滑槽相互配合的滑块。
19.采用上述技术方案，通过滑块配合滑槽，利于固定销滑动。
20.优选的：对称设置的多个所述固定销设有斜面。
21.采用上述技术方案，通过设置斜面，能在将连接管道卡入到通孔内时，能通过斜面的引导将固定销挤回到安装孔内，从而能顺利地将连接管道卡入。
22.优选的：所述通孔内安装有密封环。
23.采用上述技术方案，通过密封环，能防止安装组件内漏气。
24.与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：
25.1.通过安装组合配合防漏组件，能稳定的安装气体质量流量控制器，并能防止气体质量流量控制器漏气；
26.2.通过设置气囊，能在气体质量流量控制器工作时将进气管、出气管与气体质量流量控制器的连接处堵住，防止气体泄漏；
27.3.通过设置固定销，能稳固地将气体质量流量控制器安装连接；
28.4.通过设置圆弧，利于卡主连接的管道，从而稳固地将气体质量流量控制器安装连接；
29.5.通过设置弹簧，能通过弹簧将固定销顶出安装孔，并能通过弹簧配合固定销将连接的管道卡紧；
30.6.通过滑块配合滑槽，利于固定销滑动；
31.7.通过设置斜面，能在将连接管道卡入到通孔内时，能通过斜面的引导将固定销挤回到安装孔内，从而能顺利地将连接管道卡入；
32.8.通过密封环，能防止安装组件内漏气。
33.以下将结合附图与具体的实施例对本实用新型进行详细的解释说明。
附图说明
34.通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图，重点在于示出本实用新型的主旨。
35.图1为本实用新型的结构示意图；
36.图2为本实用新型的截面图；
37.图3为本实用新型的安装块侧视截面图；
38.图4为本实用新型的a区放大图；
39.图5为本实用新型的b区放大图。
40.图中：1、气体质量流量控制器本体；11、内腔；2、控制器；3、进气管；31、安装槽；
311、进气槽；312、充气管；32、防漏组件；321、气囊；4、出气管；41、安装组件；411、安装块；412、通孔；4121、密封环；413、安装孔；4131、滑槽；414、固定销；4141、滑块；415、弹簧。
具体实施方式
41.需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。需要注意的是，本实用新型所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本技术的示例性实施方式。
42.应当理解的是，当在本说明书中如使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
43.如出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等，其所指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
44.如出现术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
45.除非另有明确的规定和限定，如出现术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
46.下面结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行说明，显然所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。因此，以下对附图中提供的本实用新型实施例中的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。
47.实施例一：
48.本实用新型实施例一公开连接可靠且防泄漏的气体质量流量控制器2，请着重参照附图1
‑
5，包括气体质量流量控制器本体1、控制器2、进气管3、出气管4；
49.所述气体质量流量控制器本体1内设有内腔11，所述控制器2安装在所述气体质量流量控制器本体1的上端面，所述进气管3与所述出气管4分别安装在所述气体质量流量控制器本体1的左右两端，所述进气管3与所述出气管4的一端伸入到所述内腔11内，所述进气管3与所述出气管4伸入到所述内腔11的一端均设有安装槽31，所述安装槽31内安装有防漏组件32，所述进气管3与所述出气管4的另一端均安装有安装组件41。
50.请着重参照附图2、附图4：所述防漏组件32包括安装在所述安装槽31内的气囊321，所述进气管3与所述出气管4内对称设有进气槽311，所述进气槽311内安装有充气管312，所述充气管312的一端伸入到所述进气管3与所述出气管4内，另一端与所述气囊321连通。
51.请着重参照附图1、附图2、附图3、附图5：所述安装组件41包括对称安装在所述进气管3与所述出气管4远离所述气体质量流量控制器本体1一端的安装块411，所述安装块
411靠近所述进气管3与所述出气管4的一端设有通孔412，所述通孔412内对称设有多个安装孔413，所述安装孔413内滑动连接有固定销414，所述固定销414，对称设置的多个所述固定销414相互靠近的一端设有圆弧，所述固定销414靠近所述安装孔413的一端安装有弹簧415，所述弹簧415的另一端与所述安装孔413固定连接，所述安装孔413内左右对称设有滑槽4131，所述固定销414的左右两端对称设有与所述滑槽4131相互配合的滑块4141，对称设置的多个所述固定销414设有斜面，所述通孔412内安装有密封环4121。
52.本实用新型实施例一的连接可靠且防泄漏的气体质量流量控制器2的实施原理为：
53.将进气管3与出气管4分别连接上管道，将管道插入通孔412内，通过插入使施加的外力，通过斜面的导向将固定销414顶入到安装孔413内，固定销414将弹簧415挤压，与此同时，滑块4141在滑槽4131内滑动，当管道接触到密封环4121后，通过弹簧415力将固定销414顶住，由于固定销414均设有圆弧，因此能使固定销414配合弹簧415将管道卡紧，当管道被卡紧后，完成安装。
54.实施例二：
55.本实用新型实施例一的连接可靠且防泄漏的气体质量流量控制器2的实施原理为：
56.当气体质量流量控制器本体1启动时，启动从进气管3进入，由于安装组合内安装有密封环4121，因此不会从安装组件41内泄漏，气体继续向进气管3内进入，当接触到充气管312时，一部分气体通过充气管312将气囊321充气，使气囊321将进气管3与气体质量流量控制器本体1的连接处堵住，防止气体漏出，当气体到达出气管4时，将出气管4内的气囊321充气，将出气管4与气体质量流量控制器本体1的连接处堵住，防止气体泄漏。
57.以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。