一种防止真空腔体漏气的装置的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜领域，具体的说，是涉及一种防止真空腔体漏气的装置。


背景技术：

2.真空镀膜技术是指在真空条件下对薄膜等基材进行镀膜，主要机理为，将金属镀料熔融或气化成金属原子或原子团，使其层积在真空腔体内的基材表面上，从而使得该基材表面形成一层致密的金属层。
3.真空蒸镀系统均设有一真空腔体，该真空腔体内部设置镀膜用的辊，真空腔体外则连接多种设备，包括普冷制冷设备、深冷制冷设备和真空气泵等，普冷制冷主要用于给腔体内的辊降温，深冷制冷设备负责将真空腔体内的水汽等降温凝结成冰粒，真空气泵则将真空腔体内抽真空的同时将冰粒除去，达到去除水份的目的。
4.可见，深冷制冷设备分布在真空腔体外，两个设备之间不可避免的会存在连接口，现有技术常常采用焊接的方式进行连接，但是由于真空腔体为不锈钢，深冷制冷设备与真空腔体接触连接的部分为铜，导致焊接难度大，若焊接效果不佳，则存在漏气的风险，当出现漏气时，会影响成品金属薄膜的物理或化学性质；且焊接的成本高，不够经济实用。
5.以上问题，值得解决。


技术实现要素：

6.为了克服现有技术中真空腔体与深冷制冷设备的连接口部分容易漏气的问题，本实用新型提供一种防止真空腔体漏气的装置。
7.本实用新型技术方案如下所述：
8.一种防止真空腔体漏气的装置，其特征在于，包括可拆卸连接在真空腔体上的底板，所述底板设有若干通孔，所述通孔连接有螺栓，所述螺栓的头端部为圆盘状，该头端部的下表面设有一圈或多圈凹槽，所述螺栓的螺杆部内部中空，用于连接深冷制冷设备的连接管，所述螺栓的外侧面设有螺纹，在所述螺栓的头端部和所述底板之间设有垫片。
9.根据上述方案的本实用新型，其特征在于，当所述螺栓的头端部下表面设有多圈凹槽时，相邻两圈所述凹槽的间隔相等。
10.根据上述方案的本实用新型，其特征在于，所述底板上对称设有两个所述通孔，且所述底板的中心位于两个通孔的中心连接线上。
11.根据上述方案的本实用新型，其特征在于，所述螺栓的外螺纹与所述通孔之间填充有密封胶。
12.根据上述方案的本实用新型，其特征在于，所述螺栓的材质为铜，所述底板的材质为不锈钢。
13.根据上述方案的本实用新型，其特征在于，所述垫片的材质为紫铜。
14.根据上述方案的本实用新型，其特征在于，所述螺栓的圆盘状头端部的直径为3-5cm，厚度为1-2cm。
15.根据上述方案的本实用新型，其特征在于，所述螺栓的螺杆部的外径为1-2cm。
16.根据上述方案的本实用新型，其特征在于，所述凹槽的槽深为0.1-0.3um。
17.根据上述方案的本实用新型，其特征在于，所述底板的外周边均匀设有若干第一连接螺孔，所述真空腔体上设有对应的第二连接螺孔，所述第一连接螺孔和所述第二连接螺孔通过螺杆连接。
18.根据上述方案的本实用新型，其特征在于，所述底板为圆形底板。
19.根据上述方案的本实用新型，其有益效果在于：
20.本实用新型的螺栓头端部的下表面设有若干凹槽，使得螺栓头端部下表面与垫片接触面积小，在相同的作用力下，受力面积越小压强越大，使得该处密封效果更好；
21.进一步的，螺栓的外螺纹与通孔之间填充有密封胶，提升了连接处的密封性。
附图说明
22.图1为本实用新型的结构示意图；
23.图2为本实用新型中底板的结构示意图；
24.图3为本实用新型中螺栓的结构示意图；
25.图4为本实用新型中螺栓的剖视图。
26.在图中，1、底板；2、通孔；3、第一连接螺孔；4、螺栓；5、凹槽；6、垫片；7、连接管。
具体实施方式
27.为了更好地理解本实用新型的目的、技术方案以及技术效果，以下结合附图和实施例对本实用新型进行进一步的讲解说明。同时声明，以下所描述的实施例仅用于解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
28.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件，当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
29.术语“上”、“下”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置为基于附图所示的方位或位置，仅是为了便于描述，不能理解为对本技术方案的限制。
[0030]“若干”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体地限定。术语“第一”、“第二”仅用于便于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明技术特征的数量。
[0031]
如图1～图4所示，一种防止真空腔体漏气的装置，包括可拆卸连接在真空腔体上的底板1，在本实施例中，底板1为圆形底板1，底板1的外周边均匀设有六个第一连接螺孔3，而真空腔体上对应地设有第二连接螺孔，第一连接螺孔3和第二连接螺孔通过螺杆连接，从而将底板1连接在真空腔体上。
[0032]
在本实用新型中，底板1设有若干通孔2，通孔2连接有螺栓4，所述螺栓4的头端部为圆盘状，该头端部的下表面设有一圈或多圈凹槽5，在螺栓4的头端部和底板1之间设有垫片6，当拧紧螺栓4后，垫片6被紧密压在螺栓4和底板1之间。当螺栓4头端部下表面设有多圈凹槽5时，凹槽5均匀间隔分布，即相邻两圈凹槽5的间隔相等。
[0033]
相比于头端部下表面为平面设计的传统螺栓，本实用新型的螺栓头端部的下表面
设有若干凹槽，使得螺栓头端部下表面与垫片接触面积小，根据压强公式p=f/s（即压强等于压力除以接触面积），在相同的作用力下，受力面积越小压强越大，因此，密封效果更好。
[0034]
在本实用新型中，螺栓4的螺杆部内部中空，用于插接深冷制冷设备的连接管7；螺栓的4外侧面设有螺纹，螺栓4的外螺纹与通孔2之间填充有密封胶，进一步提升连接处的密封性。
[0035]
在一个优选实施例中，底板1上对称设有两个通孔2，且底板1的中心位于两个通孔2的中心连接线上。两个对称分布的通孔2使得底板1与真空腔体之间贴合的更加紧密，确保密封性。
[0036]
在一个可选实施例中，螺栓4的圆盘状头端部的直径为3-5cm，厚度为1-2cm，螺栓4的螺杆部的外径为1-2cm。
[0037]
在一个可选实施例中，凹槽5的槽深为0.1-0.3um。
[0038]
在本实施例中，螺栓的材质为铜，底板的材质为不锈钢，垫片的材质为紫铜，紫铜质地较软，可以使得垫片更好地压合在螺栓与底板之间，保证其连接牢固度。
[0039]
以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
[0040]
以上实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。