技术特征：
1.一种新型真空腔室用狭缝门阀，其特征在于，包括阀板结构、驱动机构与防护罩，所述驱动机构包括门阀主轴(1)、拐臂(3)、连接轴(4)与涨紧套(18)，门阀主轴(1)上装有阀板结构，门阀主轴(1)两端通过涨紧套(18)与拐臂(3)连接；所述阀板结构设有多个且其间隔装于门阀主轴(1)上，每一所述阀板结构均包括密封阀板(2)、铰链连接板一(6)、铰链连接板二(7)、铰链连接板三(8)、铰链轴(9)、调节螺丝(10)、隔环(11)、门阀挡圈(13)与o型圈(17)，其中密封阀板(2)上设有用于放置o型圈(17)的燕尾槽，密封阀板(2)后端通过铰链轴(9)装有铰链连接板一(6)、铰链连接板二(7)、铰链连接板三(8)；所述铰链连接板一(6)上端通过隔环(11)装于门阀主轴(1)上，铰链连接板一(6)下端通过铰链轴(9)活动连接铰链连接板二(7)；所述铰链连接板三(8)与密封阀板(2)上设有调节螺丝(10)、弹簧(12)，且通过调节螺丝(10)、弹簧(12)调节密封阀板(2)，使密封阀板(2)向外凸，从而抵消密封阀板(2)产生的挠度。2.根据权利要求1所述的一种新型真空腔室用狭缝门阀，其特征在于：所述铰链连接板一(6)与门阀主轴(1)通过键槽和螺钉固定在一起，且其之间无向对运动；所述门阀主轴(1)通过轴座(5)固定在腔体进出口上方位置，门阀主轴(1)与轴座(5)之间设有无油轴承，门阀主轴(1)能在无油轴承内转动。3.根据权利要求1所述的一种新型真空腔室用狭缝门阀，其特征在于：所述驱动机构还包括销轴(14)、销轴挡块(15)、狭缝阀轴密封座(16)、轴用弹性挡圈(19)、石墨铜套(20)、联轴器(21)、气缸和气缸连接座，拐臂(3)通过销轴(14)与气缸连接，气缸通过气缸座安装在箱体相应位置。4.根据权利要求3所述的一种新型真空腔室用狭缝门阀，其特征在于：所述轴用弹性挡圈(19)设于铰链轴(9)上，轴用弹性挡圈(19)用于轴向限制铰链轴(9)。5.根据权利要求3所述的一种新型真空腔室用狭缝门阀，其特征在于：所述石墨铜套(20)设于门阀主轴(1)外侧，石墨铜套(20)为能使门阀主轴(1)持续润滑的自润滑轴承石墨铜套。6.根据权利要求1所述的一种新型真空腔室用狭缝门阀，其特征在于：所述连接轴(4)连接于涨紧套(18)端部，连接轴(4)上通过联轴器(21)、销轴(14)与驱动装置连接。
技术总结
本发明公开了一种新型真空腔室用狭缝门阀，包括阀板结构、驱动机构与防护罩，所述驱动机构包括门阀主轴、拐臂、连接轴与涨紧套，门阀主轴上装有阀板结构，门阀主轴两端通过涨紧套与拐臂连接；所述阀板结构设有多个且其间隔装于门阀主轴上，每一所述阀板结构均包括密封阀板、铰链连接板一、铰链连接板二、铰链连接板三、铰链轴、调节螺丝、隔环、门阀挡圈与O型圈，其中密封阀板上设有用于放置O型圈的燕尾槽，密封阀板后端通过铰链轴装有铰链连接板一、铰链连接板二、铰链连接板三。本发明的狭缝门阀开启采用铰链结构形式，在阀板翻转时通过铰链提升，减少了旋转半径，节省真空室空间。节省真空室空间。节省真空室空间。
技术研发人员：张俊峰 赵子东 李青山 魏庆瑄
受保护的技术使用者：上海子创镀膜技术有限公司
技术研发日：2022.01.19
技术公布日：2022/6/4