一种新型真空腔室用狭缝门阀的制作方法

1.本发明涉及狭缝门阀领域，具体为一种新型真空腔室用狭缝门阀。


背景技术：

2.狭缝门阀是阀门行业的一个难题，也是真空连续线不可或缺的，狭缝门 阀的作用是把进/出端锁定室以及进出口端缓冲室与大气之间、彼此之间及工 艺室之间完全隔离开来，狭缝门阀横在玻璃通过的方向上，它的开启和关闭 是根据生产期间允许玻璃进入或离开的要求而决定的。
3.目前在设备上使用的有几种：
4.1、平行式闸阀，闸阀是指关闭件(闸板)沿通路中心线的垂直方向移动 的阀门。在两块平行的门板中间有驱动机构，如波纹管气缸等。门板上有密 封圈。门板下降到封闭口。门板中间的波纹气缸通入压缩空气，波纹管伸长， 波纹管两端的法兰将门板推到封闭口上，门板上的密封圈与箱体压紧，这样 出入口被密封了。这种阀门优点是使用可靠，即使箱体壁发生一定的变形也 能够做到良好的密封，缺点是结构复杂，造价高昂，其中一个焊接波纹管气 缸价格是很高的。
5.2、台阶直压式闸阀，台阶上热熔粘接一圈密封圈。与之相对应的台阶是 密封面，因为热熔粘接密封圈的工艺十分复杂，一般厂家掌握不了。另外此 阀门只能做到2米以下的宽度，同时此阀门价格同样很高，该种狭缝阀结构 与本技术设计的相似，但是气缸不是用的标准气缸，而且是特制气缸，导致 整个阀门价格十分高。以上产品使用性能到达了要求，但是其价格高不适合 用在国产的中低端产品上。


技术实现要素：

6.本发明的目的在于提供一种新型真空腔室用狭缝门阀，以解决上述背景 技术中提出的问题。
7.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种新型真空腔室用狭缝 门阀，包括阀板结构、驱动机构与防护罩，所述驱动机构包括门阀主轴、拐 臂、连接轴与涨紧套，门阀主轴上装有阀板结构，门阀主轴两端通过涨紧套 与拐臂连接；所述阀板结构设有多个且其间隔装于门阀主轴上，每一所述阀 板结构均包括密封阀板、铰链连接板一、铰链连接板二、铰链连接板三、铰 链轴、调节螺丝、隔环、门阀挡圈与o型圈，其中密封阀板上设有用于放置o 型圈的燕尾槽，密封阀板后端通过铰链轴装有铰链连接板一、铰链连接板二、 铰链连接板三；所述铰链连接板一上端通过隔环装于门阀主轴上，铰链连接 板一下端通过铰链轴活动连接铰链连接板二；所述铰链连接板三与密封阀板 上设有调节螺丝、弹簧，且通过调节螺丝、弹簧调节密封阀板，使密封阀板 向外凸，从而抵消密封阀板产生的挠度。
8.优选的，铰链连接板一与门阀主轴通过键槽和螺钉固定在一起，且其之 间无向对运动；所述门阀主轴通过轴座固定在腔体进出口上方位置，门阀主 轴与轴座之间设有无油轴承，门阀主轴能在无油轴承内转动。
9.优选的，驱动机构还包括销轴、销轴挡块、狭缝阀轴密封座、轴用弹性 挡圈、石墨铜套、联轴器、气缸和气缸连接座，拐臂通过销轴与气缸连接， 气缸通过气缸座安装在箱体相应位置。
10.优选的，轴用弹性挡圈设于铰链轴上，轴用弹性挡圈用于轴向限制铰链 轴。
11.优选的，石墨铜套设于门阀主轴外侧，石墨铜套为能使门阀主轴持续润 滑的自润滑轴承石墨铜套。
12.优选的，连接轴连接于涨紧套端部，连接轴上通过联轴器、销轴与驱动 装置连接。
13.优选的，防护罩包括气缸罩壳、翻转门板罩壳，防护罩起到防尘，防护 作用。
14.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
15.1、本发明的狭缝门阀开启采用铰链结构形式，在阀板翻转时通过铰链提 升，减少了旋转半径，节省真空室空间，能够缩短传动辊道之间的间距，不 需要使用托辊，就能解决小片基片的通过。
16.2、本发明的阀板背面设有弹簧配合调整螺丝，来调整阀板在加工、安装 过程中的平面度误差，来保证密封精度，阀板开关时又有缓冲作用，阀板密 封效果更好，维护周期更长。
17.3、本发明的翻板阀的密封板采用的是燕尾密封槽及独特的角度设计，防 止翻板阀在运动过程中o型圈掉出来。
18.4、本发明的气缸连杆与翻转轴连接采用的是涨紧套连接，调整方面、可 靠。
19.5、本发明拐臂的设计在不影响力矩的前提下，缩短了拐臂的长度，使阀 板开启时间更短，开狭缝门阀的效率提高。
20.6、本发明采用标准气缸，用气缸连杆与翻板轴连接在一起。而不是如国 外超宽翻板阀采用特制气缸。这样好处：降低成本。标准气缸价格低，并且 维修方便。
21.7、本发明的旋转轴采用石墨+铜套结构，能够自润滑，避免了真空室不 能使用油类的轴承座。
附图说明
22.图1为本发明的立体结构示意图；
23.图2为本发明的平面状态示意图一；
24.图3为本发明图2中e-e的局部剖视图；
25.图4为本发明的平面状态示意图二；
26.图5为本发明图4中e-e的局部剖视图；
27.图6为本发明的局部结构示意图；
28.图7为本发明图6中a-a处的剖视图；
29.图8为本发明图6中b-b处的剖视图；
30.图9为本发明图6中c的放大结构示意图；
31.图10为本发明实施例中真空传动密封示意图；
32.图11为本发明实施例中气缸的位置示意图。
33.图中：1、门阀主轴；2、阀板；3、拐臂；4、连接轴；5、轴座；6、铰 链连接板一；7、铰链连接板二；8、铰链连接板三；9、铰链轴；10、调 节螺丝；11、隔环；12、弹簧；13、门阀挡圈；14、
销轴；15、销轴挡块； 16、狭缝阀轴密封座；17、o型圈；18、涨紧套；19、轴用弹性挡圈；20、石 墨铜套；21、联轴器。
具体实施方式
34.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行 清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而 不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做 出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
35.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平
”ꢀ
等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于 描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定 的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
36.在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术 语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连 接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连 接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部 的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语 在本发明中的具体含义。
37.请参阅图1-11，本发明提供一种技术方案：一种新型真空腔室用狭缝门 阀，包括阀板结构、驱动机构与防护罩，所述驱动机构包括门阀主轴1、拐臂 3、连接轴4与涨紧套18，门阀主轴1上装有阀板结构，门阀主轴1两端通过 涨紧套18与拐臂3连接；所述阀板结构设有多个且其间隔装于门阀主轴1上， 每一所述阀板结构均包括密封阀板2、铰链连接板一6、铰链连接板二7、铰 链连接板三8、铰链轴9、调节螺丝10、隔环11、门阀挡圈13与o型圈17。
38.在本实施例中，密封阀板2上设有用于放置o型圈17的燕尾槽，燕尾槽 的独特的角度设计，防止翻板阀在运动过程中o型圈17掉出来，密封阀板2 后端通过铰链轴9装有铰链连接板一6、铰链连接板二7、铰链连接板三8。
39.在本实施例中，所述铰链连接板一6上端通过隔环11装于门阀主轴1上， 铰链连接板一6下端通过铰链轴9活动连接铰链连接板二7；所述铰链连接板 三8与密封阀板2上设有调节螺丝10、弹簧12，且通过调节螺丝10、弹簧 12调节密封阀板2，使密封阀板2向外凸，从而抵消密封阀板2产生的挠度， 密封圈的反作用力会使密封阀板2和连接板产生一定的挠度，影响密封效果， 能够修正因加工和装配产生的误差，达到有效的密封效果。
40.在本实施例中，铰链连接板一6与门阀主轴1通过键槽和螺钉固定在一 起，且其之间无向对运动；所述门阀主轴1通过轴座5固定在腔体进出口上 方位置，门阀主轴1与轴座5之间设有无油轴承，门阀主轴1能在无油轴承 内转动。铰链连接板一6、铰链连接板二7、铰链连接板三8采用铰链式连 接，使得阀板翻转时通过铰链提升，减少了旋转半径，节省真空室空间，能 够缩短传动辊道之间的间距，不需要使用托辊，就能解决小片基片的通过。
41.在本实施例中，驱动机构还包括销轴14、销轴挡块15、狭缝阀轴密封座 16、轴用弹性挡圈19、石墨铜套20、联轴器21、气缸和气缸连接座，拐臂3 通过销轴14与气缸连接，气缸通过气缸座安装在箱体相应位置。拐臂3的设 计在不影响力矩的前提下，缩短了拐臂的长度，使阀板开启时间更短，开狭 缝门阀的效率提高。
42.在本实施例中，轴用弹性挡圈19设于铰链轴9上，轴用弹性挡圈19用 于轴向限制铰链轴9。
43.在本实施例中，石墨铜套20设于门阀主轴1外侧，石墨铜套20为能使 门阀主轴1持续润滑的自润滑轴承石墨铜套。
44.在本实施例中，连接轴4连接于涨紧套18端部，连接轴4上通过联轴器 21、销轴14与驱动装置连接。
45.在本实施例中，防护罩包括气缸罩壳、翻转门板罩壳，防护罩起到防尘， 防护作用。
46.在本实施例中，如图10所示，图10中所示为真空传动密封装置，其包 括法兰，o型密封圈，骨架油封，深沟球轴承，轴承座，轴承盖，弹性挡圈等 组成。作用即能旋转运动，还能保证真空密封。
47.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而 言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行 多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限 定。