一种真空蝶阀的制作方法

1.本实用新型涉及超高真空领域中的真空阀门，尤其涉及一种真空蝶阀。


背景技术：

2.真空技术与自然科学紧密相关，目前已经是表面科学、半导体产业、高能粒子加速器以及宇宙开发等领域不可缺少的技术。真空技术的研究离不开真空系统，真空阀门作为真空系统的重要部件被许多研究者重视。蝶阀又叫翻板阀，是一种结构简单的调节阀，可用于真空系统的开关控制的蝶阀是指关闭件(阀板或蝶板)为圆盘，围绕阀轴旋转90
°
来达到开启与关闭的一种阀。阀门可用于控制气体、水、蒸汽、各种腐蚀性介质、泥浆、油品、液态金属和放射性介质等各种类型流体的流动。在管道上主要起切断和节流作用。蝶阀启闭件是一个圆盘形的蝶板，在阀体内绕其自身的轴线旋转，从而达到启闭或调节的目的。
3.蝶阀在使用时，转动阀板，可以调整阀板与阀体之间的间隙，从而改变介质通道的流通截面积，以达到改变流量大小的目的。但现有的阀门结构复杂，流量调节非线性，使用起来比较麻烦。


技术实现要素：

4.根据上述提出的技术问题，而提供一种真空蝶阀。本实用新型采用的技术手段如下：
5.一种真空蝶阀，包括驱动机构、驱动腔体、主体法兰和蝶板，所述驱动机构包括法兰、波纹管、驱动中心轴、螺母、螺杆、外筒、压盖法兰、导向环和把手，所述波纹管一端焊接在法兰上，一端焊接驱动中心轴，驱动中心轴与螺母连接，螺杆安装在所述螺母上，所述螺杆的端部和把手相连，所述螺杆的外部通过轴承与外筒相连，所述外筒通过压盖法兰安装在法兰上，所述导向环用于为驱动中心轴导向，所述驱动腔体包括中心轴、转接板、齿条、平键和齿条限位柱，驱动中心轴通过转接板与齿条连接，通过平键驱动齿条旋转，齿条存在用于放置齿条限位柱的预设长度的缺口，所述齿条与中心轴相连，所述主体法兰为双面法兰，蝶板固定在中心轴上，蝶板与主体法兰内部通过o圈密封，所述主体法兰内部设有预设的倾角。
6.进一步地，所述驱动机构包括后盖和垫板，后盖通过垫板与螺杆固定。
7.进一步地，所述外筒上有长孔，所述驱动中心轴上连接有指针，所述指针设置于所述长孔中，从而便于断定蝶板的位置。
8.进一步地，所述驱动腔体包括壳体，驱动机构的法兰与驱动腔体法兰连接，所述驱动腔体法兰安装在所述壳体上，所述壳体的顶端还连接有轴承块，所述中心轴与轴承块相连。
9.进一步地，所述壳体的底端相对于轴承块的位置设有连接法兰，所述连接法兰上开设供中心轴的底端通孔的孔。
10.进一步地，所述齿条限位柱的上下端分别连接在所述轴承块和连接法兰上。
11.本实用新型主体法兰内部设有预设的倾角，蝶板与主体法兰内部通过o圈密封，实现真空密封的目的。实用新型通过驱动机构可实现蝶体转动，还设有带有预设缺口齿条，通过设置于其中的齿条限位柱，通过指针可以直观的观察蝶板转动角度，中心轴带动蝶板在90
°
旋转，可实现流量线性调节。
附图说明
12.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做以简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
13.图1为本实用新型外部结构示意图。
14.图2为本实用新型驱动机构剖面图。
15.图3为本实用新型驱动机构外部结构示意图。
16.图4为图1的主视图。
17.图5为驱动腔体的内部剖视图。
18.图中：1、驱动机构；2、驱动腔体；3、主体法兰；4、蝶板；5、法兰；6、波纹管；7、驱动中心轴；8、螺母；9、螺杆；10、后盖；11、垫板；12、轴承；13、指针；14、外筒；15、压盖法兰；16、导向环；17、把手；18、把手轴；19、o圈；20、中心轴；21、连接管；22、齿条限位柱；23、轴承块；24、转接板；25、齿条。
具体实施方式
19.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.如图1～5所示，本实用新型实施例公开了一种真空蝶阀，包括驱动机构1、驱动腔体2、主体法兰3和蝶板4，所述驱动机构包括法兰5、波纹管6、驱动中心轴7、螺母8、螺杆9、外筒14、压盖法兰15、导向环16和把手17，所述波纹管一端焊接在法兰上，一端焊接驱动中心轴，驱动中心轴与螺母连接，螺杆安装在所述螺母上，驱动中心轴7通过螺母8推动前后移动，螺母8则通过螺杆9转动移动，所述螺杆的端部和把手相连，所述螺杆的外部通过轴承12与外筒相连，所述外筒通过压盖法兰安装在法兰上，所述导向环用于为驱动中心轴导向，所述驱动腔体包括中心轴20、转接板24、齿条结构25、平键和齿条限位柱22，驱动中心轴通过转接板与齿条结构连接，通过设置于中心轴上的平键驱动齿条旋转，齿条存在用于放置齿条限位柱的预设长度的缺口，中心轴20带动蝶板4在90
°
旋转。所述齿条与中心轴相连，所述主体法兰为双面法兰，蝶板固定在中心轴上，蝶板与主体法兰内部通过o圈19密封，所述主体法兰内部设有预设的倾角。
21.所述驱动机构包括后盖10和垫板11，后盖通过垫板与螺杆固定，所述把手通过穿过后盖的把手轴18和外筒相连。
22.所述外筒上有长孔，所述驱动中心轴上连接有指针13，所述指针设置于所述长孔中，从而便于断定蝶板的位置。
23.所述驱动腔体包括壳体，驱动机构的法兰与驱动腔体法兰连接，所述驱动腔体法兰安装在所述壳体上，所述壳体的顶端还连接有轴承块，所述中心轴与轴承块相连。
24.所述壳体的底端相对于轴承块23的位置设有连接法兰，所述连接法兰上开设供中心轴的底端通孔的孔，所述连接泛滥和主体法兰之间设有连接管21.
25.所述齿条限位柱的上下端分别连接在所述轴承块和连接法兰上。
26.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。


技术特征：
1.一种真空蝶阀，其特征在于，包括驱动机构、驱动腔体、主体法兰和蝶板，所述驱动机构包括法兰、波纹管、驱动中心轴、螺母、螺杆、外筒、压盖法兰、导向环和把手，所述波纹管一端焊接在法兰上，一端焊接驱动中心轴，驱动中心轴与螺母连接，螺杆安装在所述螺母上，所述螺杆的端部和把手相连，所述螺杆的外部通过轴承与外筒相连，所述外筒通过压盖法兰安装在法兰上，所述导向环用于为驱动中心轴导向，所述驱动腔体包括中心轴、转接板、齿条、平键和齿条限位柱，驱动中心轴通过转接板与齿条连接，通过平键驱动齿条旋转，齿条存在用于放置齿条限位柱的预设长度的缺口，所述齿条与中心轴相连，所述主体法兰为双面法兰，蝶板固定在中心轴上，蝶板与主体法兰内部通过o圈密封，所述主体法兰内部设有预设的倾角。2.根据权利要求1所述的真空蝶阀，其特征在于，所述驱动机构包括后盖和垫板，后盖通过垫板与螺杆固定。3.根据权利要求1所述的真空蝶阀，其特征在于，所述外筒上有长孔，所述驱动中心轴上连接有指针，所述指针设置于所述长孔中，从而便于断定蝶板的位置。4.根据权利要求1所述的真空蝶阀，其特征在于，所述驱动腔体包括壳体，驱动机构的法兰与驱动腔体法兰连接，所述驱动腔体法兰安装在所述壳体上，所述壳体的顶端还连接有轴承块，所述中心轴与轴承块相连。5.根据权利要求4所述的真空蝶阀，其特征在于，所述壳体的底端相对于轴承块的位置设有连接法兰，所述连接法兰上开设供中心轴的底端通孔的孔。6.根据权利要求5所述的真空蝶阀，其特征在于，所述齿条限位柱的上下端分别连接在所述轴承块和连接法兰上。

技术总结
本实用新型提供一种真空蝶阀。本实用新型包括驱动机构、驱动腔体、主体法兰和蝶板，驱动机构包括法兰、波纹管、驱动中心轴、螺母、螺杆等，波纹管一端焊接在法兰上，一端焊接驱动中心轴，驱动中心轴与螺母连接，螺杆安装在所述螺母上，螺杆的端部和把手相连，螺杆的外部通过轴承与外筒相连，外筒通过压盖法兰安装在法兰上，导向环用于为驱动中心轴导向，驱动腔体包括中心轴、转接板、齿条、平键和齿条限位柱，驱动中心轴通过转接板与齿条连接，通过平键驱动齿条旋转，齿条存在用于放置齿条限位柱的预设长度的缺口，齿条与中心轴相连，主体法兰为双面法兰，蝶板固定在中心轴上，蝶板与主体法兰内部通过O圈密封，主体法兰内部设有预设的倾角。倾角。倾角。


技术研发人员：郭方准 石晓倩
受保护的技术使用者：大连齐维科技发展有限公司
技术研发日：2022.03.01
技术公布日：2022/8/2