一种驱动装置的制作方法

文档序号:32287711发布日期:2022-11-23 00:54阅读:51来源:国知局
一种驱动装置的制作方法

1.本实用新型涉及机械设备技术领域,尤其涉及一种驱动装置。


背景技术:

2.在机械制造及电子设备生产行业中,常用到驱动装置,例如在基板搬送设备中,基板通常是采用腔室内多个传送轴进行传送,驱动传送轴转动通常采用电机驱动,即电机通过某种形式将输出的扭矩传递给驱动轴,驱动轴通过齿轮或者同步带再将扭矩传递给所有的传送轴,这样就可以实现传送轴同步转动,从而将基板按照设定的速度向前传送。
3.目前电机通过同步带或者链传动将扭矩传递给驱动轴,一般情况下是在腔室的侧面开一个方口,将电机固定在腔室的外部,然后将同步带或者链条一头穿过侧面的方口和电机轴进行连接,另一头和腔室内部的驱动轴连接,这样当电机转动的时候,就可以将扭矩传递给驱动轴了。但是上述解决方案存在以下缺点:
4.(1)同步带运转一段时间后,需要定期张紧,张紧时间不好掌握。
5.(2)链传动磨损比较严重,磨损的碎屑会有污染基板的风险。
6.(3)由于在腔室侧面开口,当腔室内部具有水蒸气时,很容易导致腔室内部的水蒸气侵蚀电机轴。


技术实现要素:

7.为了解决现有技术中存在的问题,本技术提出了一种驱动装置,该驱动装置不存在同步带或者链传动所存在的问题,其还能够提高传动精度,以及具有很好的密封性,能够尽可能的避免腔室内部的水蒸气侵蚀电机轴。
8.为了实现上述目的,本技术提出了一种驱动装置,包括装配在第一安装板上的电机,所述电机输出轴穿过所述第一安装板上的通孔,该输出轴经联轴器与连接轴相连接,所述连接轴经至少两个轴承与套管相连接,在所述套管上设有用于限制轴承移动的限位机构,所述套管固定在第二安装板上的安装孔处,所述第一安装板与第二安装板经连板进行固定连接,在所述连接轴上还设有防护罩,所述防护罩随着连接轴的转动而转动,所述防护罩罩住所述套管,在所述连接轴上还设有齿轮,所述齿轮用于与待驱动的驱动轴上的齿轮相啮合。
9.在一些实施例中,所述防护罩经第一密封圈与所述连接轴过盈配合。
10.在一些实施例中,所述限位机构包括设置在所述套管两端的挡板。
11.在一些实施例中,在所述连接轴上或者在所述防护罩内设有第二密封圈,所述第二密封圈随着连接轴的转动而转动,所述第二密封圈与其中一个挡板相接触,所述第二密封圈用于对所述挡板与连接轴或者防护罩之间的间隙进行密封;在所述连接轴上设有第三密封圈,所述第三密封圈随着连接轴的转动而转动,所述第三密封圈与另一个挡板相接触,所述第三密封圈用于对所述挡板与连接轴之间的间隙进行密封。
12.在一些实施例中,所述挡板采用耐摩擦材料制成。
13.在一些实施例中,所述套管的侧壁上设有通气孔,所述通气孔处设有气管接头,所述气管接头用于与气源相连接。
14.在一些实施例中,所述连接轴呈阶梯式,所述齿轮处的连接轴的直径最小。
15.在一些实施例中,在所述防护罩与齿轮之间的连接轴上还设有支撑用轴承,所述支撑用轴承与轴承座相连接,所述轴承座用于固定在相关位置处。
16.在一些实施例中,在所述防护罩与支撑用轴承之间的连接轴上设有第一垫块,所述第一垫块随着连接轴的转动而转动,所述第一垫块用于防止液体进入防护罩内,且还用于使所述防护罩与支撑用轴承的位置相对固定;在所述支撑用轴承与齿轮之间的连接轴上还设有第二垫块,所述第二垫块随着连接轴的转动而转动,所述第二垫块用于使所述支撑用轴承与齿轮的位置相对固定。
17.在一些实施例中,在所述第一安装板和第二安装板之间还可拆卸的设有透明板,所述第一安装板、第二安装板、连板以及透明板围成一个区域,所述电机的输出轴、联轴器以及部分连接轴处在该区域内。
18.本技术的该方案的有益效果在于上述驱动装置不存在同步带或者链传动所存在的问题,其还能够提高传动精度、以及具有很好的密封性,能够尽可能的避免腔室内部的水蒸气侵蚀电机轴。
附图说明
19.图1示出了实施例中驱动装置的立体结构示意图。
20.图2示出了实施例中驱动装置的剖面结构示意图。
21.附图标记:1-电机,2-联轴器,3-连接轴,4-第一安装板,5-连板,6-第二安装板,7-长圆孔,8-透明板,9-套管,10-轴承,11-挡板,12-第一密封圈,13-防护罩,14-第二密封圈,15-第三密封圈,16-支撑用轴承,17-轴承座,18-齿轮,19-挡块,20-第一垫块,21-第二垫块,22-通气孔。
具体实施方式
22.下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步的说明。
23.在本技术的描述中,需要理解的是,术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象,而不是用于描述或表示特定的顺序或先后次序,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。
24.如图1~2所示,本技术所涉及的驱动装置包括装配在第一安装板4上的电机1,所述电机1输出轴穿过所述第一安装板4上的通孔,该输出轴经联轴器2与连接轴3相连接,所述连接轴3经至少两个轴承10与套管9相连接,所述套管9固定在第二安装板6上的安装孔处,所述套管9的设置能够防止所述连接轴3发生抖动;所述第一安装板4与第二安装板6经连板5进行固定连接,使所述第一安装板4、连板5以及第二安装板6形成稳固的结构,所述第二安装板6用于装配在预设位置处,例如装配在腔室的外壁处,为了能够微调驱动装置的安装位置,在所述第二安装板6上设有长圆孔7;另外,为了适配某些应用场景,例如环境较差
的场所,在所述第一安装板4和第二安装板6之间还可拆卸的设有透明板8,所述第一安装板4、第二安装板6、连板5以及透明板8围成一个区域,所述电机1的输出轴、联轴器2以及部分连接轴3处在该区域内,通过透明板8能够随时观察,以便能够随时了解设备的使用情况,通过所述透明板8的设置,还能够防止其他东西伸入该区域内,能够避免危险的发生。
25.在所述套管9上设有用于限制轴承10移动的限位机构,在本实施例中,为了使所述驱动装置具有良好的密封性,所述限位机构包括设置在所述套管9左右两端的挡板11。在所述连接轴3上还设有防护罩13,所述防护罩13随着连接轴3的转动而转动,为了提高装置的密封性,在本实施例中,所述防护罩13经第一密封圈12与所述连接轴3过盈配合,所述防护罩13罩住所述套管9,当所述防护罩13随着连接轴3转动时,能够将来自腔室的水汽甩开,以避免水汽进入套管9内。在所述连接轴3上还设有齿轮18,所述齿轮18用于与待驱动的驱动轴上的齿轮相啮合。在本实施例中,所述连接轴3的末端还设有挡块19,为了进一步防止齿轮18移动。
26.为了进一步增强装置的密封性,在所述连接轴3上或者在所述防护罩13内设有第二密封圈14,所述第二密封圈14随着连接轴3的转动而转动,所述第二密封圈14与其中一个挡板11相接触,所述第二密封圈14用于对所述挡板11与连接轴3或者防护罩13之间的间隙进行密封;在所述连接轴3上设有第三密封圈15,所述第三密封圈15随着连接轴3的转动而转动,所述第三密封圈15与另一个挡板11相接触,所述第三密封圈15用于对所述挡板11与连接轴3之间的间隙进行密封。
27.由于所述第二密封圈14以及第三密封圈15转动时,均会与挡板11发生摩擦,因此所述挡板11采用耐摩擦材料制成,例如peek(聚醚醚酮)材质。所述套管9的侧壁上设有通气孔22,所述通气孔22处设有气管接头,所述气管接头用于与气源相连接,使用时,通过通气孔22向所述驱动装置内输送气体,使所述驱动装置一直处于正压状态,以便使外界的气体、液体不易进入。另外,所述连接轴3可呈阶梯式,所述齿轮18处的连接轴3的直径最小,这样的设计方式能够防止液体倒灌,还能够方便其他零件(例如轴承)的安装固定。
28.当所述连接轴3较长时,在所述防护罩13与齿轮18之间的连接轴3上还设有支撑用轴承16,所述支撑用轴承16与轴承座17相连接,所述轴承座17用于固定在相关位置处。
29.在本实施例中,在所述防护罩13与支撑用轴承16之间的连接轴3上设有第一垫块20,所述第一垫块20随着连接轴3的转动而转动,所述第一垫块20用于进一步防止液体进入防护罩13内,且还用于使所述防护罩13与支撑用轴承16的位置相对固定,防止二者沿着连接轴3移动。
30.在所述支撑用轴承16与齿轮18之间的连接轴3上还设有第二垫块21,所述第二垫块21随着连接轴3的转动而转动,所述第二垫块21用于使所述支撑用轴承16与齿轮18的位置相对固定。另外,通过选用合适尺寸的第二垫块21,能够调节所述支撑用轴承16与齿轮18之间的间距,进而适配待驱动的驱动轴的位置。
31.在具体的使用过程中,将所述第二安装板6安装至腔室的外壁处,使得所述驱动装置的前半部分处于腔室内,将所述轴承座17固定在腔室的内部底板处,至此完成所述驱动装置的安装工作,所述驱动装置的连接轴处于水平状态,此时所述齿轮18正好与待驱动的驱动轴上的齿轮相啮合。当电机1动作时,能够带动连接轴3转动,进而带动齿轮18转动,通过齿轮间的啮合,可以带动驱动轴转动。由于所述套管9、支撑用轴承16以及轴承座17的设
置,能够防止所述连接轴3抖动。由于所述防护罩13、第一密封圈12、第二密封圈14、第三密封圈15、通气孔22以及挡板11等的设置,能够使所述驱动装置具有良好的密封性,能够防止腔室内的水汽通过零部件之间的间隙进入所述驱动装置内,避免水汽侵蚀电机轴。
32.本技术所涉及的驱动装置不存在同步带或者链传动所存在的问题,其还能够提高传动精度、以及具有很好的密封性,能够尽可能的避免腔室内部的水蒸气侵蚀电机轴。
33.以上所述,仅为本技术较佳的具体实施方式,但本技术的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内,根据本技术的技术方案及其构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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