光刻机防微振基座的制作方法

1.本实用新型涉及设备基座技术领域，具体为光刻机防微振基座。


背景技术：

2.基座是一种用于精密仪器支撑和安装的平台，通过将精密仪器固定安装在基座上，保证了精密仪器的工作精度以及工作效率；目前现有的光刻机在使用时会出现轻微振动，需要对光刻机底部安装基座，由于基座的大小不可进行调节，不适用于不同大小的光刻机使用，降低了基座的实用性。


技术实现要素：

3.本方案解决的技术问题为：
4.如何通过设置夹持机构，通过两个推板对光刻机的外壁夹持，保证光刻机的稳定性，同时由于两个推板可通过光刻机重力来调节相对距离，便于该防微振基座适应不同尺寸的光刻机。
5.本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：光刻机防微振基座，包括缓振底座，所述缓振底座的顶部固定安装有固定座，所述固定座的顶部开设有安装槽，所述安装槽的内部设置有用于存放光刻机的支撑板，所述安装槽的内部对称设置有两个用于固定光刻机的夹持机构；
6.所述夹持机构包括两个平行设置在固定座顶部的导轨，两个所述导轨共同滑动连接有滑块，所述滑块的顶部固定安装有推板，所述推板朝向光刻机的侧面固定安装有橡胶垫，所述推板的正面和背面均固定连接有第一拨杆，所述支撑板的正面和背面均设置有用于驱动推板的传动单元。
7.本实用新型的进一步技术改进在于：所述传动单元包括与安装槽槽底转动连接的l形杆，所述l形杆的一端开设有第一滑槽，所述第一滑槽与对应的第一拨杆活动连接，所述l形杆的另一端固定安装有第二拨杆，所述支撑板上开设有第二滑槽，所述第二拨杆与第二滑槽活动连接；将光刻机放置到支撑板上，由于光刻机本身的重力影响，使得支撑板向下滑动，此时，l形杆在第二拨杆的作用下发生转动，使得推板朝向光刻机方向移动，配合两个导轨对滑块限位，防止推板发生偏移，通过两个推板对光刻机的外壁夹持，保证光刻机的稳定性，同时由于两个推板可通过光刻机重力来调节相对距离，便于该防微振基座适应不同尺寸的光刻机。
8.本实用新型的进一步技术改进在于：所述支撑板的底部固定连接有若干个导向杆，所述导向杆的底端活动插设在安装槽的槽底，所述安装槽的槽底与支撑板之间弹性设置有推力弹簧；通过推力弹簧配合缓振底座对支撑板上的光刻机提供缓振，通过两种方式缓振，提高了对光刻机的缓振效果。
9.本实用新型的进一步技术改进在于：所述固定座的顶部正面和背面均固定安装有限位板，所述限位板朝向光刻机的侧面设置有缓振块；通过缓振块和橡胶垫相互配合，对光
刻机提供保护，避免其与固定座脱离。
10.本实用新型的进一步技术改进在于：两个所述导轨分别位于安装槽的两侧。
11.本实用新型的进一步技术改进在于：所述支撑板的两端均通过导轨与安装槽的内壁滑动连接。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.本实用新型在使用时，由于光刻机本身的重力影响，使得支撑板向下滑动，此时，l形杆在第二拨杆的作用下发生转动，使得推板朝向光刻机方向移动，配合两个导轨对滑块限位，防止推板发生偏移，通过两个推板对光刻机的外壁夹持，保证光刻机的稳定性，同时由于两个推板可通过光刻机重力来调节相对距离，便于该防微振基座适应不同尺寸的光刻机。
附图说明
14.为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
15.图1为本实用新型整体结构剖面图；
16.图2为本实用新型夹持机构结构示意图；
17.图3为本实用新型夹持机构结构立体示意图。
18.图中：1、缓振块；2、限位板；3、支撑板；4、安装槽；5、导向杆；6、缓振底座；7、固定座；8、夹持机构；801、橡胶垫；802、导轨；803、第二拨杆；804、l形杆；805、滑块；806、推板；807、第一拨杆。
具体实施方式
19.下面将结合实施例对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.请参阅图1-图3所示，光刻机防微振基座，包括缓振底座6，缓振底座6的顶部固定安装有固定座7，固定座7的顶部开设有安装槽4，安装槽4的内部设置有用于存放光刻机的支撑板3，支撑板3的两端均通过导轨802与安装槽4的内壁滑动连接，安装槽4的内部对称设置有两个用于固定光刻机的夹持机构8。
21.请参阅图2和图3所示，上述的夹持机构8包括两个平行设置在固定座7顶部的导轨802，两个导轨802分别位于安装槽4的两侧，两个导轨802共同滑动连接有滑块805，滑块805的顶部固定安装有推板806，推板806朝向光刻机的侧面固定安装有橡胶垫801，推板806的正面和背面均固定连接有第一拨杆807，支撑板3的正面和背面均设置有用于驱动推板806的传动单元。
22.请参阅图2所示，上述的传动单元包括与安装槽4槽底转动连接的l形杆804，l形杆804的一端开设有第一滑槽，第一滑槽与对应的第一拨杆807活动连接，l形杆804的另一端固定安装有第二拨杆803，支撑板3上开设有第二滑槽，第二拨杆803与第二滑槽活动连接；将光刻机放置到支撑板3上，由于光刻机本身的重力影响，使得支撑板3向下滑动，此时，l形杆804在第二拨杆803的作用下发生转动，使得推板806朝向光刻机方向移动，配合两个导轨
802对滑块805限位，防止推板806发生偏移，通过两个推板806对光刻机的外壁夹持，保证光刻机的稳定性，同时由于两个推板806可通过光刻机重力来调节相对距离，便于该防微振基座适应不同尺寸的光刻机。
23.请参阅图1所示，上述的支撑板3的底部固定连接有若干个导向杆5，导向杆5的底端活动插设在安装槽4的槽底，安装槽4的槽底与支撑板3之间弹性设置有推力弹簧；通过推力弹簧配合缓振底座6对支撑板3上的光刻机提供缓振，通过两种方式缓振，提高了对光刻机的缓振效果。
24.请参阅图1所示，上述的固定座7的顶部正面和背面均固定安装有限位板2，限位板2朝向光刻机的侧面设置有缓振块1；通过缓振块1和橡胶垫801相互配合，对光刻机提供保护，避免其与固定座7脱离。
25.工作原理：本实用新型在使用时，首先，将光刻机放置到支撑板3上，由于光刻机本身的重力影响，使得支撑板3向下滑动，此时，l形杆804在第二拨杆803的作用下发生转动，使得推板806朝向光刻机方向移动，配合两个导轨802对滑块805限位，防止推板806发生偏移，通过两个推板806对光刻机的外壁夹持，保证光刻机的稳定性，同时由于两个推板806可通过光刻机重力来调节相对距离，便于该防微振基座适应不同尺寸的光刻机。
26.为更进一步阐述本实用新型为实现预定实用新型目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。
27.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本实用新型，任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简介修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。