一种便于调节角度的通风管道的制作方法

本技术涉及半导体生产，具体为一种便于调节角度的通风管道。

背景技术：

1、在半导体生产行业中，经常要用到四氟化碳气体来作为工作气体，四氟化碳是一种较为常见的等离子蚀刻工作气体，也广泛用作于二氧化硅、氮化硅的等离子蚀刻剂。

2、现有技术的不足：

3、四氟化碳为惰性低毒物质，在空气中不燃烧，所以在日常工作中，经常由于四氟化碳的低毒性而疏于管理，但是在高温时会与可燃气体一同燃烧，并分解出有毒的氟化物，而目前的通风管道一般采用固定结构，不能实现角度的任意调节，在遇到高温情况时不能及时调整角度规避有毒物质产生，所以现在急需一种方便操作且能适应不同角度调节的通风管道。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种便于调节角度的通风管道，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于调节角度的通风管道，包括固定管道，所述固定管道的上端设置有连接环，所述连接环的上端设置有活动管道，所述连接环的内部设置有角度调节机构，所述连接环的内部开设有空腔，所述固定管道的外侧设置有固定组件；

3、所述角度调节机构包括有：

4、若干个压缩弹簧，所述压缩弹簧设置在空腔的下端面上，所述压缩弹簧的上端设置有导向槽；

5、导向块，所述导向块设置在活动管道的下端，所述导向块与导向槽滑动连接；

6、活动齿轮，所述活动齿轮设置在活动管道下端的外侧壁上；

7、锁止环，所述锁止环设置在空腔的内侧壁上，所述活动齿轮与锁止环啮合连接。

8、优选的，所述固定组件包括有：

9、固定框，所述固定框设置在固定管道的外侧，所述固定框的一端通过开设螺纹孔螺纹连接有固定螺栓，所述固定框的两侧均设置有定位槽；

10、定位块，所述定位块设置在固定框的内部，所述定位块的两侧与定位槽滑动连接，所述固定螺栓的一端与定位块连接；

11、定位弹簧，所述定位弹簧设置在定位块的下端，所述定位弹簧的另一端与固定框的内侧壁连接。

12、优选的，所述导向槽的外侧通过设置滑块与连接环侧壁上开设的滑槽滑动连接。

13、优选的，所述活动管道的上端设置有弯管。

14、优选的，所述连接环与固定管道和活动管道的连接处均设置有密封圈。

15、优选的，所述压缩弹簧的数量至少为6个。

16、优选的，所述固定管道和活动管道均为酚醛铝箔复合风管。

17、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

18、1、该一种便于调节角度的通风管道，通过设置有角度调节机构，角度调节机构包括有若干个压缩弹簧、导向块、活动齿轮和锁止环，首先向下推动活动管道，活动管道向下运动的同时带动下端的导向块向下挤压压缩弹簧，压缩弹簧向下移动并带动压缩弹簧上端的导向槽向下位移，由此活动管道外侧的活动齿轮与空腔内侧壁上的锁止环失去啮合，接着转动活动管道，活动管道下端导向块在导向槽内发生旋转，完成活动管道的角度调节，完成角度调节以后，松开活动管道，由于压缩弹簧收到挤压产生相反的力将活动管道向上推动，带动活动管道外侧的活动齿轮向上位移与锁止环啮合卡住，活动管道完成固定；

19、2、该一种便于调节角度的通风管道，通过设置有固定组件，固定组件包括有固定框、定位块和定位弹簧，首先将固定管道放入固定框内，接着拧动固定螺栓带动定位块向固定管道的一侧移动，同时拉伸定位弹簧，定位块的两侧在固定框开设的定位槽内滑动，并将固定管道固定在固定框内，在需要取下固定框时，反向转动固定螺栓，定位弹簧拉伸产生相反的力拉动定位块位移，便于从固定框内取下固定管道。

技术特征：

1.一种便于调节角度的通风管道，包括固定管道（1），其特征在于：所述固定管道（1）的上端设置有连接环（11），所述连接环（11）的上端设置有活动管道（2），所述连接环（11）的内部设置有角度调节机构（3），所述连接环（11）的内部开设有空腔（12），所述固定管道（1）的外侧设置有固定组件（4）；

2.根据权利要求1所述的一种便于调节角度的通风管道，其特征在于：所述固定组件（4）包括有：

3.根据权利要求1所述的一种便于调节角度的通风管道，其特征在于：所述导向槽（311）的外侧通过设置滑块（312）与连接环（11）侧壁上开设的滑槽（111）滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种便于调节角度的通风管道，其特征在于：所述活动管道（2）的上端设置有弯管（21）。

5.根据权利要求2所述的一种便于调节角度的通风管道，其特征在于：所述连接环（11）与固定管道（1）和活动管道（2）的连接处均设置有密封圈。

6.根据权利要求1所述的一种便于调节角度的通风管道，其特征在于：所述压缩弹簧（31）的数量至少为6个。

7.根据权利要求3所述的一种便于调节角度的通风管道，其特征在于：所述固定管道（1）和活动管道（2）均为酚醛铝箔复合风管。

技术总结
本技术公开了一种便于调节角度的通风管道，包括固定管道，所述固定管道的上端设置有连接环，所述连接环的上端设置有活动管道，所述连接环的内部设置有角度调节机构；本技术结构简单，设计合理，向下推动活动管道，同时带动下端的导向块向下挤压压缩弹簧，压缩弹簧向下移动并带动压缩弹簧上端的导向槽向下位移，由此活动管道外侧的活动齿轮与空腔内侧壁上的锁止环失去啮合，接着转动活动管道，活动管道下端导向块在导向槽内发生旋转，完成活动管道的角度调节，然后松开活动管道，由于压缩弹簧收到挤压产生相反的力将活动管道向上推动，带动活动管道外侧的活动齿轮向上位移与锁止环啮合卡住，活动管道完成固定。

技术研发人员：洪协庆
受保护的技术使用者：江苏晨达半导体科技有限公司
技术研发日：20221228
技术公布日：2024/1/13