一种减振机构和晶圆检测设备的制作方法

本发明涉及半导体检测用精密驱控的减振领域，具体涉及一种减振机构和晶圆检测设备。

背景技术：

1、晶圆检测设备，特别是明/暗场的晶圆图像缺陷检测设备，主要基于图像的差分计算获取缺陷的类型和位置。因此，获得高质量的图像对整机提升检测能力至关重要。光机结构的动力学特性影响相关镜片及物镜的位置稳定性，从而影响成像质量。但是在设备内部存在各种振动源，如风机过滤单元、相机风扇、运动模组伺服抖动、线缆折弯扰动等，这些都可能会激励光机结构，引发图像的抖动，从而降低整机的性能。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种减振机构和晶圆检测设备，其能解决上述问题。

2、一种减振机构，减振机构包括振动组件和阻尼层，所述阻尼层设置在所述振动组件上。

3、振动组件为拖链模组，拖链模组包括无尘拖链和拖链底板，阻尼层安装在所述拖链底板上。

4、本发明还提供了一种晶圆检测设备，晶圆检测设备包括照明系统、成像系统、晶圆载台和图像处理系统，成像系统或晶圆载台中的驱动装置采用前述的减振机构。

5、相比现有技术，本发明的有益效果在于：本申请通过在振动组件处设置阻尼层，阻尼层将振动的能量耗散掉，达到减弱振动的效果，可以有效解决晶圆检测设备集成后局部振动超标的问题，且方案做操简单，易于实施。

技术特征：

1.一种减振机构，其特征在于：减振机构包括振动组件和阻尼层(3)，所述阻尼层(3)设置在所述振动组件上。

2.根据权利要求1所述的减振机构，其特征在于：所述振动组件为拖链模组，拖链模组包括无尘拖链(1)和拖链底板(2)，阻尼层(3)安装在所述拖链底板(2)上。

3.一种晶圆检测设备，晶圆检测设备包括照明系统、成像系统、晶圆载台和图像处理系统，其特征在于：

技术总结
本发明提供了一种减振机构和晶圆检测设备，属于半导体检测用精密驱控的减振领域，减振机构包括振动组件和阻尼层，所述阻尼层设置在所述振动组件上；晶圆检测设备的驱动装置中采用前述的减振机构。本申请通过在振动组件处设置阻尼层，将振动的能量耗散掉，达到减弱振动的效果，可以有效解决晶圆检测设备集成后局部振动超标的问题，且方案做操简单，易于实施。

技术研发人员：陶大帅,王少卿,王超新,蔡雄飞
受保护的技术使用者：苏州矽行半导体技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/17