本发明涉及减振基座，具体为一种集成电路生产用复合吸能减震台座。
背景技术：
1、载重基座能承重基座的重量，同时进行隔离震动减少外界环境对机台的影响，尤其是进行集成电路等精加工时，为了保证加工的精度必须进行隔离震动，同时加工的机器
2、较重时能分担重量，避免地板下陷。
3、中国专利cn210319096u提供了一种集成电路无尘车间 机台载重基座，包括横梁式支撑脚，横梁式支撑脚上设有钢构地板，钢构地板和横梁式支撑脚通过固定螺栓连接，钢构地板上设有螺纹孔，螺纹孔两排为一组，螺纹孔横向设有如干组，每组螺纹孔之间设有间距，钢构地板上设有支撑板，支撑板上设有水泥板，上述技术方案通过多层减震结构，能够有效的减少外界对机台的影响，同时也能保 证机台稳定的运行。但是上述技术方案还还存在着减震形式单一，对横向摇摆震动减震效果不好，从而影响了减振吸能的效果。
技术实现思路
1、为解决上述问题，本发明采用如下的技术方案。
2、一种集成电路生产用复合吸能减震台座，包括，基座和安装基板，基座中部设置有放置槽，放置槽内设置有圆弧形支撑板，支撑板底面设置有若干固定脚，固定脚与基座固定连接，支撑板的上表面设置有阻尼贴片层，安装基板包括，地板，地板地面通过连接架连接有弧形接触板，接触板与支撑板轮廓贴合，通过若干弹性连接件贯穿阻尼贴片层与支撑板相连接，所述安装基板底面侧部设置有若干第一减震弹簧，第一减震弹簧的下端设置于基座上设置的第一安装孔内。
3、优选的，所述放置槽侧部设置有台阶面，所述台阶面四角位置设置有支撑柱，支撑柱上端设置有阻尼块，接触板的边缘朝向支撑柱横向设置有压板，位于支撑柱正上方的下底面转动设置有套筒，套筒套设置于阻尼块上。
4、优选的，所述阻尼贴片层，包括外环片、内圆片和若干中间环片，内圆片设置于支撑板中心位置，内圆片外侧嵌套分布设置有若干直径不同的中间环片，外环片嵌套设置于最外层中间环片的外侧。
5、优选的，所述外环片内圈设置有插接槽一，中间环片的外侧壁设置有插片一，中间环片的内侧壁设置有插接槽二，所述内圆片外侧设置有插片二，所述最外侧的中间环片的插片一设置于插接槽一内，各中间环片之间通过插片一插设于插接槽二内相连接，插片二与最内侧的中间环片的插接槽二插接连接。
6、优选的，所述外环片、内圆片和若干中间环片之间相互接触的侧边为相互适配的齿形边。
7、优选的，所述安装基板底面侧部均布竖直设置有若干压杆，压杆在基座上设置的第二安装孔内滑动，压杆外侧设置有外螺纹，基座侧部设置有安装槽，安装槽内设置有驱动齿轮，驱动齿轮中部设置有转轴，转轴的两端转动设置在安装槽的内顶面与内底面之间，转轴为空心轴，压杆穿设在转轴内与转轴螺纹连接，安装槽内滑动设置有齿板，齿板与驱动齿轮相啮合，齿板的一端连接设置有第二减震弹簧，第二减震弹簧的另一端设置于安装槽内第二安装孔内。
8、优选的，压杆设置于，靠近角落的位置，齿板背面设置有连接座，连接座的一侧设置有第一油缸，连接座与活塞杆端部接触，活塞杆滑动设置于第一油缸内，第一油缸的另一端通过管路与第二油缸相连接，第二油缸的输出端设置有推杆，推杆的另一侧设置有第三减震弹簧，齿板的另一端与第二减震弹簧相接触。
9、优选的，所述安装槽外侧可拆卸设置有端盖。
10、优选的，所述驱动齿轮的两侧分别啮合设置有被动齿轮一和被动齿轮二，被动齿轮一和被动齿轮二分别与两块齿板相啮合。两块齿板之间设置有第四减震弹簧，两个齿板外侧设置有第二减震弹簧，第二减震弹簧和第四减震弹簧与齿板接触。
11、与现有技术相比，本发明的有益效果是：
12、1、本发明通过安装基座底部设置的接触板在支撑板上的扭转位移，利用阻尼贴片与弹性连接件的形变，起到对横向振动能量的吸收作用。同时本实施例还设置有第一减震弹簧和阻尼块可对纵向振动起到减振作用，利用不同的减震结构，多种复合的方式，对横向和纵向振动起到减振作用，提高了减振的效果。
13、2、本发明当集成电路生产设备在生产过程中产生纵向振动时，压杆随之上下移动，在移动时带动驱动齿轮旋转，从而带动齿板做横向的往复运动，通过第二减震弹簧的压缩和拉伸起到缓振吸收振动能量的作用。
14、3、本发明当集成电路生产设备在生产过程中产生纵向振动时，压杆随之上下移动，在移动时带动驱动齿轮旋转，驱动齿轮带动被动齿轮一和被动齿轮二旋转，从而带动两个齿板做横向的相向或者相背运动，从而分别压缩第四弹簧和第二弹簧，起到缓振吸收振动能量的作用。本实施例利用驱动齿轮与被动齿轮一和被动齿轮二的啮合传动，利用两个齿板的运动，加长了总的位移量，提高了能量吸收的效率，提高了减振效果。本实施例利用第二减震弹簧和第四减震弹簧，非对称的振动特性，有利于扩大系统的适用范围，提高隔振性能。
15、4、本发明当集成电路生产设备在生产过程中产生纵向振动时，压杆随之上下移动，在移动时带动驱动齿轮旋转，从而带动齿板做横向的往复运动，当朝向第二减震弹簧运动时，通过第二减震弹簧的压缩起到缓振吸收振动能量的作用。当齿板朝向第一油缸移动时，带动活塞杆运动，从而通过液压油的液压和传动，驱动第二油缸的输出端设置的推杆伸出压缩第三减震弹簧的压缩起到缓振吸收振动能量的作用。本发明利用第二减震弹簧和第三减震弹簧，以及液压油的传动特性，起到非对称的振动特性，有利于扩大系统的适用范围，提高隔振性能。
1.一种集成电路生产用复合吸能减震台座，其特征在于，包括，基座（1）和安装基板（2），基座（1）中部设置有放置槽（3），放置槽（3）内设置有圆弧形支撑板（4），支撑板（4）底面设置有若干固定脚（5），固定脚（5）与基座（1）固定连接，支撑板（4）的上表面设置有阻尼贴片层（6），安装基板（2）包括，地板（2-1），地板（2-1）底面通过连接架（2-2）连接有弧形接触板（2-3），接触板（2-3）与支撑板（4）轮廓贴合，通过若干弹性连接件（2-4）贯穿阻尼贴片层（6）与支撑板（4）相连接，所述安装基板（2）底面侧部设置有若干第一减震弹簧（7），第一减震弹簧（7）的下端设置于基座（1）上设置的第一安装孔（8）内。
2.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用复合吸能减震台座，其特征在于，所述放置槽（3）侧部设置有台阶面（9），所述台阶面（9）四角位置设置有支撑柱（10），支撑柱（10）上端设置有阻尼块（11），接触板（2-3）的边缘朝向支撑柱（10）横向设置有压板（12），位于支撑柱（10）正上方的下底面转动设置有套筒（13），套筒（13）套设置于阻尼块（11）上。
3.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用复合吸能减震台座，其特征在于，所述阻尼贴片层（6），包括外环片（6-1）、内圆片（6-2）和若干中间环片（6-3），内圆片（6-2）设置于支撑板（4）中心位置，内圆片（6-2）外侧嵌套分布设置有若干直径不同的中间环片（6-3），外环片（6-1）嵌套设置于最外层中间环片（6-3）的外侧。
4.根据权利要求3所述的一种集成电路生产用复合吸能减震台座，其特征在于，所述外环片（6-1）内圈设置有插接槽一（6-4），中间环片（6-3）的外侧壁设置有插片一（6-5），中间环片（6-3）的内侧壁设置有插接槽二（6-6），所述内圆片（6-2）外侧设置有插片二(6-8)，所述最外侧的中间环片（6-3）的插片一（6-5）设置于插接槽一（6-4）内，各中间环片（6-3）之间通过插片一（6-5）插设于插接槽二（6-6）内相连接，插片二(6-8)与最内侧的中间环片（6-3）的插接槽二（6-6）插接连接。
5.根据权利要求4所述的一种集成电路生产用复合吸能减震台座，其特征在于，所述外环片（6-1）、内圆片（6-2）和若干中间环片（6-3）之间相互接触的侧边为相互适配的齿形边（6-7）。
6.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用复合吸能减震台座，其特征在于，所述安装基板（2）底面侧部均布竖直设置有若干压杆（14），压杆（14）在基座（1）上设置的第二安装孔（15）内滑动，压杆（14）外侧设置有外螺纹，基座（1）侧部设置有安装槽（16），安装槽（16）内设置有驱动齿轮（17），驱动齿轮（17）中部设置有转轴（18），转轴（18）的两端转动设置在安装槽（16）的内顶面与内底面之间，转轴（18）为空心轴，压杆（14）穿设在转轴（18）内与转轴（18）螺纹连接，安装槽（16）内滑动设置有齿板（19），齿板（19）与驱动齿轮（17）相啮合，齿板（19）的一端连接设置有第二减震弹簧（20），第二减震弹簧（20）的另一端设置于安装槽（16）内第二安装孔（15）内。
7.根据权利要求6所述的一种集成电路生产用复合吸能减震台座，其特征在于，压杆（14）设置于，靠近角落的位置，齿板（19）背面设置有连接座（25），连接座（25）的一侧设置有第一油缸（26），连接座（25）与活塞杆（27）端部接触，活塞杆（27）滑动设置于第一油缸（26）内，第一油缸（26）的另一端通过管路与第二油缸（28）相连接，第二油缸（28）的输出端设置有推杆（29），推杆（29）的另一侧设置有第三减震弹簧（30），齿板（19）的另一端与第二减震弹簧（20）相接触。
8.根据权利要求6所述的一种集成电路生产用复合吸能减震台座，其特征在于，所述安装槽（16）外侧可拆卸设置有端盖（21）。
9.根据权利要求6所述的一种集成电路生产用复合吸能减震台座，其特征在于，所述驱动齿轮（17）的两侧分别啮合设置有被动齿轮一（22）和被动齿轮二（23），被动齿轮一（22）和被动齿轮二（23）分别与两块齿板（19）相啮合。两块齿板（19）之间设置有第四减震弹簧（24），两个齿板（19）外侧设置有第二减震弹簧（20），第二减震弹簧（20）和第四减震弹簧（24）与齿板（19）接触。