一种用于光学干涉测量设备的减振框架的制作方法

本申请涉及精密测量仪器减振的领域，尤其是涉及一种用于光学干涉测量设备的减振框架。

背景技术：

1、随着市场的发展和扩大，光学干涉仪产品的使用环境也逐渐变得更加复杂和多样化，由单一的实验室环境拓展到工厂流水线环境，对干涉仪设备的集成程度和对振动环境的适应性要求也越来越高。

2、目前，大多光学干涉仪对使用环境的防震等级要求需达到vc-c级及以上。因此，如果想在工厂环境中使用光学干涉测量设备，一般都要增加减振机构。现有的减振方式，多是在地面上直接构造一个减振平台，先将光学干涉测量设备抬起并使光学干涉测量设备高于减振平台，再将光学干涉测量设备运输并放置在减振平台上。

3、然而，光学干涉测量设备的体积往往较大，尤其是当光学干涉测量设备本身较高时，光学干涉测量设备不易搬运放置在减振平台上。同时，当测量设备的高度比较高时，测量设备底部放置在减振平台上，会存在较大的晃动幅度。

技术实现思路

1、为了便于光学干涉测量设备放置在减振平台上并降低光学干涉测量设备在减振平台上的晃动幅度，本申请提供一种用于光学干涉测量设备的减振框架。

2、本申请提供的一种用于光学干涉测量设备的减振框架采用如下的技术方案：

3、一种用于光学干涉测量设备的减振框架，包括框架主体，所述框架主体的顶部设置有多个用于放置光学干涉测量设备的减振弹性件，多个所述减振弹性件沿框架主体中线左右对称设置，且多个所述减振弹性件位于同一水平面内，所述框架主体的一侧形成有供光学干涉测量设备进入框架主体内的安装敞口。

4、通过采用上述技术方案，在将光学干涉测量设备搬运放置在减振平台上时，将光学干涉测量设备轻微抬起，从安装敞口处将光学干涉测量设备运输至框架主体内，再将光学干涉测量设备放落在多个减振弹性件上，即可完成光学干涉测量设备的搬运放置，且多个减振弹性件对光学干涉测量设备的中部进行抵接减振，使得光学干涉测量设备在减振平台上晃动的幅度更小。如此设置，先将光学干涉测量设备轻微抬起使得光学干涉测量设备可进行运输，再将光学干涉测量设备从安装敞口处运送至框架主体内，从而无需将光学干涉测量设备抬起至超过减振平台的高度，使得光学干涉测量设备搬运放置在减振平台上更加方便快捷，且光学干涉测量设备在减振平台上晃动幅度更小。

5、优选的，所述框架主体包括横架、两个第一立柱、第二立柱以及多个第三立柱，两个所述第一立柱与第二立柱均沿竖直方向设置，所述横架沿水平方向设置在两个第二立柱上，所述横架的两端分别与两个第一立柱的侧壁中部固定连接，所述安装敞口形成在两个第一立柱之间，多个所述第三立柱均沿竖直方向设置在横架上，多个所述减振弹性件设置在第一立柱和第三立柱的顶端。

6、通过采用上述技术方案，光学干涉测量设备从两个第一立柱之间的安装敞口运送至框架主体内，当光学干涉测量设备放置在多个减振弹性件时，第一立柱和第三立柱通过减振弹性件对光学干涉测量设备进行支撑，同时，第二立柱通过横架对第三立柱进行支撑，使得框架主体的整体结构更加牢固。

7、优选的，所述第三立柱设置有两个，两个所述第三立柱之间的距离小于两个第一立柱之间的距离。

8、通过采用上述技术方案，两个第三立柱与两个第一立柱对光学干涉测量设备进行支撑，且两个第三立柱之间的距离小于两个第一立柱之间的距离，使得框架主体在使用最少个数第三立柱的情况下，仍旧能够稳定的对光学干涉测量设备进行稳定支撑，从而降低了框架主体的生产成本。

9、优选的，所述横架包括第一横梁和两个第二横梁，所述第一横梁设置在两个第二立柱的顶部，两个所述第二横梁设置在第一横梁的两端，两个所述第二横梁远离第一横梁的端部分别与两个第一立柱的侧壁中部固定连接，且两个所述第三立柱设置在第一横梁上。

10、通过采用上述技术方案，两个第一立柱通过两个第二横梁安装在第一横梁上，两个第三立柱通过第一横梁稳定地安装在两个第二立柱上，从而进一步提高框架主体的稳固性。

11、优选的，所述第一横梁、第二横梁、第一立柱、第二立柱和第三立柱均为方钢管。

12、通过采用上述技术方案，第一横梁、第二横梁、第一立柱、第二立柱和第三立柱均可采用方钢管切割成不同长度制成，使得框架主体所需使用的原料统一，从而能够进一步降低框架主体的生产成本。

13、优选的，所述第一立柱和第三立柱的顶端均固定设置有安装板，所述减振弹性件设置在安装板上。

14、通过采用上述技术方案，减振弹性件安装在安装板上，安装板安装在第一立柱和第三立柱上，通过使用安装板使得减振弹性件在第一立柱和第三立柱上安装得更加稳定，从而进一步提高减振框架的减振效果。

15、优选的，所述第一立柱和第二立柱的底端均设置有支座，且所述支座螺纹设置在第一立柱和第二立柱的底端。

16、通过采用上述技术方案，在第一立柱和第二立柱的底部转动支座，即可对框架主体的水平度进行调节，从而便于减振框架适用于不同的工作环境。

17、优选的，所述减振弹性件为空气弹簧。

18、通过采用上述技术方案，空气弹簧具有优良的隔离减振能力，可以隔离绝大部分高频震动和大部分的低频震动，从而保证干涉仪工作环境的稳定性。

19、综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

20、1.通过采用框架主体，先将光学干涉测量设备轻微抬起使得光学干涉测量设备可进行运输，再将光学干涉测量设备从安装敞口处运送至框架主体内，即可将光学干涉测量设备放置在减振弹性件上，从而无需将光学干涉测量设备抬起至超过减振平台的高度，使得光学干涉测量设备搬运放置在减振平台上更加方便快捷，且多个减振弹性件对光学干涉测量设备的中部进行抵接减振，使得光学干涉测量设备在减振平台上晃动的幅度更小；

21、2.通过采用安装板，使用安装板使得减振弹性件在第一立柱和第三立柱上安装得更加稳定，从而进一步提高减振框架的减振效果；

22、3.通过采用支座，转动支座即可对框架主体的水平度进行调节，从而便于减振框架适用于不同的工作环境。

技术特征：

1.一种用于光学干涉测量设备的减振框架，其特征在于：包括框架主体(1)，所述框架主体(1)的顶部设置有多个用于放置光学干涉测量设备的减振弹性件(2)，多个所述减振弹性件(2)沿框架主体(1)中线左右对称设置，且多个所述减振弹性件(2)位于同一水平面内，所述框架主体(1)的一侧形成有供光学干涉测量设备进入框架主体(1)内的安装敞口(3)。

2.根据权利要求1所述的一种用于光学干涉测量设备的减振框架，其特征在于：所述框架主体(1)包括横架(11)、两个第一立柱(12)、第二立柱(13)以及多个第三立柱(14)，两个所述第一立柱(12)与第二立柱(13)均沿竖直方向设置，所述横架(11)沿水平方向设置在两个第二立柱(13)上，所述横架(11)的两端分别与两个第一立柱(12)的侧壁中部固定连接，所述安装敞口(3)形成在两个第一立柱(12)之间，多个所述第三立柱(14)均沿竖直方向设置在横架(11)上，多个所述减振弹性件(2)设置在第一立柱(12)和第三立柱(14)的顶端。

3.根据权利要求2所述的一种用于光学干涉测量设备的减振框架，其特征在于：所述第三立柱(14)设置有两个，两个所述第三立柱(14)之间的距离小于两个第一立柱(12)之间的距离。

4.根据权利要求3所述的一种用于光学干涉测量设备的减振框架，其特征在于：所述横架(11)包括第一横梁(111)和两个第二横梁(112)，所述第一横梁(111)设置在两个第二立柱(13)的顶部，两个所述第二横梁(112)设置在第一横梁(111)的两端，两个所述第二横梁(112)远离第一横梁(111)的端部分别与两个第一立柱(12)的侧壁中部固定连接，且两个所述第三立柱(14)设置在第一横梁(111)上。

5.根据权利要求4所述的一种用于光学干涉测量设备的减振框架，其特征在于：所述第一横梁(111)、第二横梁(112)、第一立柱(12)、第二立柱(13)和第三立柱(14)均为方钢管。

6.根据权利要求2所述的一种用于光学干涉测量设备的减振框架，其特征在于：所述第一立柱(12)和第三立柱(14)的顶端均固定设置有安装板(4)，所述减振弹性件(2)设置在安装板(4)上。

7.根据权利要求2所述的一种用于光学干涉测量设备的减振框架，其特征在于：所述第一立柱(12)和第二立柱(13)的底端均设置有支座(5)，且所述支座(5)螺纹设置在第一立柱(12)和第二立柱(13)的底端。

8.根据权利要求1所述的一种用于光学干涉测量设备的减振框架，其特征在于：所述减振弹性件(2)为空气弹簧。

技术总结
本申请涉及精密测量仪器减振领域，公开了一种用于光学干涉测量设备的减振框架，包括框架主体，框架主体的顶部设置有多个减振弹性件，多个减振弹性件沿框架主体中线左右对称设置，且多个减振弹性件位于同一水平面内，框架主体的一侧形成有供光学干涉测量设备进入框架主体内的安装敞口。本申请具有能够通过采用框架主体，先将光学干涉测量设备轻微抬起使得光学干涉测量设备可进行运输，再将光学干涉测量设备从安装敞口处运送至框架主体内，即可将光学干涉测量设备放置在减振弹性件上，从而无需将光学干涉测量设备抬起至超过减振平台的高度，使得光学干涉测量设备搬运放置在减振平台上更加方便快捷，且光学干涉测量设备在减振平台上晃动幅度更小。

技术研发人员：刘云超
受保护的技术使用者：上海乾曜光学科技有限公司
技术研发日：20230223
技术公布日：2024/1/13