流量控制阀及质量流量控制器的制作方法

本发明涉及新能源，具体地，涉及一种流量控制阀及质量流量控制器。

背景技术：

1、新能源技术的发展对质量流量测量和控制提出了更高的要求。氢燃料新能源技术的发展需要高达5000slm(standard liter per minute，标准升/分钟)以上流量的质量流量计(mass flow meter，mfm)和质量流量控制器(mass flow controller，mfc)，这就设计需要较大的阀口通径，相应地其他零件的尺寸和重量也会增加，当机械结构的尺寸很大时，毛细管等层流分流结构的制造和安装、阀的流量控制稳定性等问题将会变得很突出。另外还要设计尺寸很大的电磁线圈产生电磁力来配合使用，因此电磁阀的控制性能较差。对于直动式电磁调节阀，其阀口通径不可能无限制的增大，来满足流量的需求，因此限制了其使用范围。

技术实现思路

1、本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种流量控制阀及质量流量控制器，其可以在满足超大流量需求的基础上，避免机械结构尺寸过大，从而可以降低阀的制造和安装难度，提高流量控制稳定性。

2、为实现本发明的目的而提供一种流量控制阀，包括：

3、阀座，设置有入流通道、至少两个出流通道和至少两个阀口；所述入流通道通过至少两个所述阀口一一对应地与至少两个所述出流通道连通；

4、阀芯组件，具有用于一一对应地密封至少两个所述阀口的至少两个密封面；

5、驱动装置，与所述阀芯组件连接，用于驱动所述阀芯组件移动，以使至少两个所述密封面同步地分别与至少两个所述阀口密封接触或分离。

6、可选地，至少两个所述出流通道包括第一出流通道和第二出流通道；至少两个所述阀口包括第一阀口和第二阀口；至少两个所述密封面包括用于密封所述第一阀口的第一密封面，和用于密封所述第二阀口的第二密封面；

7、所述阀芯组件包括第一阀芯、第二阀芯和芯轴，其中，所述第一阀芯和所述第二阀芯间隔设置，所述芯轴连接于所述第一阀芯和所述第二阀芯之间；所述驱动装置与所述第一阀芯或所述第二阀芯连接；

8、所述第一阀芯具有所述第一密封面；所述第二阀芯具有所述第二密封面。

9、可选地，所述第一阀芯和所述第二阀芯均包括阀芯主体和设置于所述阀芯主体上的阀口密封件，所述阀口密封件用于与所述第一阀口或第二阀口密封接触。

10、可选地，所述入流通道包括主流通道和支流通道，所述主流通道具有入口端，且所述主流通道与所述入口端相对的一端为盲端；所述支流通道沿第一方向延伸设置，且所述支流通道的第一端与所述主流通道连通，所述支流通道远离所述主流通道的第二端用作所述第一阀口；所述第一方向与所述主流通道的入口端的进流方向相互垂直；

11、所述第二阀口与所述支流通道的第一端在所述第一方向上相对设置，且与所述主流通道连通。

12、可选地，所述第二出流通道包括第一出流子通道和第二出流子通道，其中，所述第一出流子通道沿所述第一方向延伸设置，且所述第一出流子通道的第一端用作所述第二阀口；所述第一出流子通道的第二端与所述第二出流子通道连通；

13、所述第一出流子通道的横截面积与所述支流通道的横截面积相等。

14、可选地，所述阀座包括阀座主体、第一阀座分体和第二阀座分体，其中，所述主流通道、所述第一出流通道和第二出流子通道均设置于所述阀座主体中，且所述第一出流通道和所述第二出流子通道间隔地位于所述主流通道在所述第一方向上的两侧；

15、所述阀座主体中还设置有第一安装孔和第二安装孔，其中，所述第一安装孔贯通设置于所述主流通道与所述第一出流通道之间，所述第一阀座分体的至少一部分设置于所述第一安装孔中，且所述支流通道设置于所述第一阀座分体中；所述第二安装孔贯通设置于所述主流通道与所述第二出流子通道之间，所述第二阀座分体的至少一部分设置于所述第二安装孔中，且所述第一出流子通道设置于所述第二阀座分体中。

16、可选地，在所述第二阀座分体上还设置有环形保护件，所述环形保护件环绕设置于所述第二阀芯周围，且所述环形保护件的朝向所述第一安装孔的一端与所述主流通道的内壁之间具有间隔。

17、可选地，所述阀座主体中还设置有第三安装孔，所述第三安装孔的两端沿所述第一方向分别贯通延伸至所述第一出流通道的内壁和所述阀座主体的外表面；

18、所述第一阀座分体的所述第一阀口所在一端沿所述第一方向，且朝远离所述主流通道的方向凸出于所述第一安装孔之外，且延伸至所述第三安装孔中；

19、所述驱动装置通过所述第三安装孔与所述第一阀芯连接。

20、可选地，所述流量控制阀还包括阀体，所述阀体的一部分设置于所述第三安装孔中，且所述阀体的外周设置有第一外螺纹，所述第三安装孔的孔壁设置有第一内螺纹，所述第一外螺纹与所述第一内螺纹相配合，用以将所述阀体与所述阀座主体固定连接；

21、所述阀体中设置有沿所述第一方向贯通所述阀体的第四安装孔，所述第一阀座分体设置有环形安装部，所述环形安装部环绕设置于所述第一阀芯的周围，且所述环形安装部的至少一部分设置于所述第四安装孔中，且与所述阀体可拆卸地连接；

22、所述驱动装置通过所述第四安装孔与所述第一阀芯连接。

23、可选地，所述环形安装部与所述第四安装孔之间形成有定位结构，用于限定所述环形安装部与所述第四安装孔在所述第一方向上的相对位置；所述环形安装部的外周设置有安装凸部；

24、所述流量控制阀还包括环形锁紧件，所述环形锁紧件环绕设置于所述第四安装孔的孔壁与所述环形安装部的外周面之间，且位于所述安装凸部靠近所述第一出流通道一侧，并与所述安装凸部相抵；

25、所述环形锁紧件的外周设置有第二外螺纹，所述第四安装孔的孔壁设置有第二内螺纹，所述第二外螺纹与所述第二内螺纹相配合，用以将所述环形锁紧件与所述阀体固定连接。

26、可选地，所述定位结构包括形成于所述第四安装孔的孔壁上的台阶面，所述台阶面与所述环形安装部的端面相配合，用以限定所述环形安装部与所述第四安装孔在所述第一方向上的相对位置。

27、可选地，所述驱动装置包括驱动部件和弹性部件，其中，所述驱动部件的驱动轴与通过所述第四安装孔与所述第一阀芯连接；

28、所述弹性部件的内周边缘与所述第一阀芯相对固定，所述弹性部件的边缘部分设置于所述台阶面与所述环形安装部的端面之间；所述弹性部件用于向所述第一阀芯施加将所述第一阀芯压紧于所述第一阀口的弹力，以在所述驱动轴停止施加驱动力的情况下，使所述第一阀芯复位至所述第一密封面和所述第二密封面分别与所述第一阀口和所述第二阀口密封接触的位置。

29、可选地，所述流量控制阀还包括环形调整件，所述环形调整件设置于所述弹性部件与所述环形安装部的端面之间，用于调节所述弹力的大小。

30、作为另一个技术方案，本发明还提供一种质量流量控制器，包括：

31、本发明提供的上述流量控制阀。

32、可选地，还包括：

33、喉口部件，所述喉口部件与所述阀座固定连接，且所述喉口部件中设置有流体通道，所述流体通道包括喉口、喉口前端通道和喉口后端通道，所述喉口前端通道与至少两个所述出流通道连通；

34、第一压力传感器和第二压力传感器，分别用于检测所述喉口前端通道的压力和所述喉口后端通道的压力。

35、本发明具有以下有益效果：

36、本发明提供的流量控制阀，其在阀座中设置有至少两个阀口，结合使用具有至少两个密封面的阀芯组件，以及驱动阀芯组件移动的驱动组件，可以实现使至少两个密封面同步地分别与至少两个阀口密封接触或分离，从而实现流量控制，在此基础上，至少两个阀口的通径总和可以满足超大流量需求，同时每个阀口的通径相比于满足超大流量需求的单个阀口通径可以减小n分之一(n即为阀口的数量)，从而可以避免机械结构尺寸过大，降低阀的制造和安装难度。此外，上述至少两个阀口的设计在满足超大流量需求的前提下，无需增大驱动装置的驱动力，也无需增大驱动装置的结构尺寸，从而可以提高控制稳定性。

37、本发明提供的质量流量控制器，其通过采用本发明提供的上述流量控制阀，可以在满足超大流量需求的基础上，避免机械结构尺寸过大，从而可以降低阀的制造和安装难度，提高控制稳定性。