阀门，尤其是真空阀的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一个阀门，尤其是真空阀，具有被阀座包围的阀孔和锁闭机构，其中该锁闭机构在关闭位置顶压在阀座上并且锁闭阀孔，并且在中间位置从阀座上抬起，并且覆盖阀孔地设置，并且在最大打开位置完全或者至少部分地释放阀孔，其中所述阀门具有至少一第一阀驱动装置，用于使锁闭机构在最大打开位置与中间位置之间沿着第一运动轨迹往复运动，并且具有至少一第二阀驱动装置，用于使锁闭机构在中间位置与关闭位置之间沿着第二运动轨迹往复运动，并且第一运动轨迹和第二运动轨迹相互间成角度地设置，其中所述阀门附加地具有至少一止动装置，用于使锁闭机构止动在关闭位置。
【背景技术】
[0002]在现有技术中基本已知第一运动轨迹与第二运动轨迹相应地相互间成角度的设置的阀门。它们经常在真空技术中使用并且也称为L或J形阀。在安置在阀座上和/或锁闭机构上的密封的长久保持性的意义上，实现锁闭机构从最大打开位置到关闭位置或多或少地L或J形运动，反之亦然，用于使密封上的剪切运动尽可能微小或者排除。
[0003]尤其在真空领域作为第一和第二阀驱动装置经常使用气动和/或电动驱动装置。尤其在这些驱动装置中存在问题，只能对于一定的时间可靠地利用第一和第二阀驱动装置保持关闭位置，在关闭位置锁闭机构顶压在阀座上。在断开气体输入或者供电以后驱动装置的顶压力在很长时间以后才消退。
[0004]由同类申请EP I 087 159 Al已知相应的阀门，其中如果锁闭机构位于相应的位置，作为用于止动锁闭机构在关闭位置的止动装置联锁销轴可以定位到第一阀驱动装置活塞的相应孔里面。伴随这个止动装置解决方案的问题是，在其加工时需要，以非常微小的允差加工。如果在阀运行中出现一定的、例如由温度引起的几何形状偏差，则存在危险，止动装置不再发挥功能，因为联锁销轴不再进入到活塞的开孔里面。
【发明内容】
[0005]因此本发明的目的是，使这种阀门配有止动装置，在其实现和/或运行时允许较大的允差，并且尽管如此也还保证止动装置的高度运行可靠性。
[0006]为了实现这个任务本发明从一种类型的阀门出发规定，所述止动装置具有至少一止动体，它与至少一倾斜面共同作用和/或具有至少一倾斜面，其中所述止动体沿着第三运动轨迹在止动位置与释放位置之间相对于锁闭机构运动，在止动位置所述锁闭机构止动在关闭位置，在释放位置所述锁闭机构从关闭位置运动到中间位置。
[0007]按照本发明的具有至少一倾斜面的解决方案的优点是，可以允许在加工和运行这个止动装置时同时具有非常大的允差，并且尽管如此也实现非常运行可靠的系统。利用倾斜面能够容易地补偿在加工和/或在运行中、例如由于温度引起的偏差或几何形状变化，不会对止动装置的运行可靠性产生负面影响。
[0008]在本发明的第一组扩展结构中可以规定，所述倾斜面设置在止动体本身上和/或实现。但是所述止动体也可以正好与至少一倾斜面共同作用，它直接或间接地与锁闭机构连接。也可以规定，不仅在止动体上而且在阀门的零部件(止动体与它直接共同作用)上分别存在倾斜面，其中两个倾斜面相互间共同作用。
[0009]在本发明特别优选的扩展结构中规定，所述第三运动轨迹以锐角相对于倾斜面设置。为了完整性要指出，在止动体的释放位置所述锁闭机构通常不仅可以从其关闭位置运动到中间位置和反之，即沿着第二运动轨迹，而且有利地也沿着第一运动轨迹，即在最大打开位置与中间位置之间往复运动。
[0010]原则上能够，所述止动体与其至少一倾斜面或通过至少一倾斜面直接地作用于锁闭机构上。但是在本发明的意义上正好能够选择，所述止动体与倾斜面和/或通过倾斜面间接地作用于锁闭机构。这种间接作用的优选变化规定，所述锁闭机构通过至少一阀杆与轭梁连接，并且所述止动体与倾斜面和/或通过倾斜面直接作用于轭梁上。为了构成倾斜面例如所述止动体和/或所述轭梁和/或所述锁闭机构和/或另一与锁闭机构连接的阀门的零部件楔形地构成。第三运动轨迹、即运动轨迹，在该运动轨迹上止动体在其止动位置与其释放位置之间往复运动，在优选的扩展结构中平行于第一运动轨迹、即运动轨迹延伸，在该运动轨迹上所述锁闭机构在最大打开位置与中间位置之间往复运动。
[0011]所述中间位置在下面利用实施例再一次详细表示。该位置是，在该位置尽管锁闭机构从阀座上抬起，但是还遮盖阀孔，即位于遮盖阀孔。与此不同，在最大打开位置规定，所述锁闭机构完全或部分地释放阀孔，即不再遮盖，由此流体和/或首先也是要加工或处理的零部件可以穿过阀孔导引。
[0012]本发明的特别优选的变化规定，所述用于止动体沿着第三运动轨迹运动的止动装置附加地对于第一阀驱动装置和附加地对于第二阀驱动装置具有至少一止动驱动装置。也优选是至少一用于止动体的自身驱动装置，该驱动装置能够使止动体沿着第三运动轨迹运动。
[0013]这个止动驱动装置有利地这样设计，如果不通过相应地控制或调节阀门有针对性地给出用于打开和/或保持打开阀门的命令，止动驱动装置总是使止动装置或止动体自动地带到止动位置或者保持在这个止动位置。在这个意义上本发明的优选变化规定，所述止动驱动装置具有第一止动驱动单元，它使具有倾斜面的止动体持久地向着止动位置的方向预紧。这个止动驱动单元优选是纯机械的驱动单元。在这个意义上特别优选地规定，所述第一止动驱动单元是至少一弹性的预紧体、最好是弹簧体，或者具有至少一这样的弹簧体。为了打开阀门在本发明的这个扩展结构中有利地规定，所述止动驱动装置具有第二止动驱动单元，用于使止动体运动到释放位置，其中第二止动驱动单元可以接通和断开。因此第二止动驱动单元反作用于第一止动驱动单元，而且总是当第二止动驱动单元有目的接通的时候。例如可以通过相应地控制或调节阀门实现第二止动驱动单元的接通和断开。
[0014]所述锁闭机构优选是阀盘，即尤其是扁平构成的锁闭机构。利用锁闭机构要锁闭的阀孔在优选的实施例中具有40cm2至1000cm2、最好60cm2至500cm2的横截面积。按照本发明的阀门也可以称为锁闭装置。
[0015]如同公知的那样，不仅在锁闭机构上而且在阀座上设置至少一个或者也分别设置密封。第一运动轨迹和/或第二运动轨迹相互间成角度地设置。所述运动轨迹可以、但是不必直线地延伸。这也适用于第三运动轨迹。但是尤其第一运动轨迹优选直线地构成。成角度意味着，第一与第二运动轨迹形成夹角或者说不是平行的。优选第一与第二运动轨迹相互间形成至少接近正交的角度。所述运动轨迹也可以称为运动路径。第一与第二运动轨迹给出锁闭机构运动的行程。这些运动轨迹例如可以由此展示，跟随在锁闭机构运动时在锁闭机构上事先确定的点的行程。第三运动轨迹相应地通过其倾斜面再给出止动体的运动。每个运动轨迹包括两个彼此相反的方向，它们位于上下或者相互同轴地设置。
[0016]所述锁闭机构优选固定在阀杆上。本发明的特别优选的扩展结构规定，所述锁闭机构固定在阀杆上，并且第一阀驱动装置通过上述的轭梁嵌接在阀杆上。与此相关地要指出，按照本发明的阀门可以具有不只一个用于沿着第一运动轨迹的第一阀驱动装置和/或不只一个用于沿着第二运动轨迹运动的第二阀驱动装置和/或不只一个用于止动体沿着第三运动轨迹运动的止动驱动装置。而是也可以规定，实现两个或多个上述的驱动装置，用于使锁闭机构和/或止动体分别沿着相应的运动轨迹往复运动。在这些扩展结构中，第一阀驱动装置可以在中间接通可能多个传递部件的条件下嵌接在轭梁上，其中最好对每个阀驱动装置附设自身的传递部件，它与阀杆、最好刚性地连接，其中在阀杆上又固定锁闭机构。
[0017]作为第一阀驱动装置和/或作为第二阀驱动装置可以使用不同的驱动形式。可以是液压的、气动的、电动的、电磁的或者其它在现有技术中已知的驱动装置，尤其是直线驱动装置。但是在真空技术中优选使用气动或电动的驱动装置。与此相关优选的变化规定，第一阀驱动装