本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种适用于晶圆清洗装置的供液系统及晶圆清洗装置。
背景技术：
在半导体制造其主要工作是在晶圆上制作电路与电子元件(如电容、晶闸管等)，通常制造一个芯片需要使用几十种加工工艺对晶圆进行处理，在一些加工工艺后(如刻蚀、光刻、化学机械研磨、晶圆边缘切割等)，晶圆上会残留颗粒物质或化学物质，这些残留物会影响后续的加工工艺，对器件引入缺陷，导致生成的器件可靠性低，因此，在上述加工工艺结束后需要对晶圆进行清洗。
现有技术中，通常使用向晶圆喷淋清洗液的方法对晶圆进行清洗，并通过向清洗液输送管道中注入高压气体为清洗液增压，为保证清洗效果，需要对清洗液的流量进行控制，使其维持在一标准水平。现有的晶圆清洗装置中，在清洗液的输送管道上设置有流量计和高压气体输送管道上设置有手动调节阀，清洗液流量产生波动时，通过人工调节手动调节阀来调节流量。目前的流量控制方向需要工作人员到现场工作，使用不便；另外，人工调节时很难把握调节量，需要对手动调节阀进行多次调节才能达到要求，增加手动调节阀的损耗，使手动调节阀使用寿命减短。
技术实现要素：
根据现有技术中存在的上述问题，现提供一种适用于晶圆清洗装置的供液系统及晶圆清洗装置，根据清洗液的实时流量控制电机驱动手动调节阀动作以调节清洗液的流量，旨在解决现有技术中，人工操作调节阀导致的人力资源的浪费，调节阀使用寿命减短的问题。本发明采用如下技术方案：
一种供液系统，应用于晶圆清洗装置中，所述供液系统包括：
供液管道，用于输送清洗液；
增压装置，设置于所述供液管道上，所述增压装置还连接一气体管道并使用气体管道输送的增压气体为所述清洗液增压；
第一检测装置，于所述增压装置的下游设置于所述供液管道上，所述第一检测装置用于检测所述清洗液的流量并输出第一检测结果；
第二检测装置，设置于所述气体管道上，所述第二检测装置用于检测所述增压气体的气压并输出第二检测结果；
调节装置，于所述增压装置和所述第二检测装置之间设置于所述气体管道上；
控制装置，连接所述第一检测装置、第二检测装置和所述调节装置，所述控制装置用于分析所述第一检测结果和所述第二检测结果产生一控制指令至所述调节装置；
所述调节装置用于根据所述控制指令调节所述增压气体的流量。
较佳的，上述供液系统中，所述调节装置包括：
手动调节阀，设置于所述气体管道上，所述手动调节阀具有一调节旋钮；
驱动装置，连接所述控制装置，所述驱动装置包括一输出轴，所述输出轴连接所述调节旋钮；
所述驱动装置用于根据所述控制指令驱动所述调节旋钮转动，以调节所述增压气体的流量。
较佳的，上述供液系统中，所述驱动装置为步进电机。
较佳的，上述供液系统中，所述第一检测装置为液体流量计。
较佳的，上述供液系统中，还包括第一模数转换装置，所述控制装置通过所述第一模数转换装置连接所述液体流量计；
所述第一模数转换装置用于将所述液体流量计输出的所述第一检测结果转换成数字信号。
较佳的，上述供液系统中，所述第二检测装置为气体压力计。
较佳的，上述供液系统中，还包括第二模数转换装置，所述控制装置通过所述第二模数转换装置连接所述气体压力计；
所述第二模数转换装置用于将所述气体压力计输出的所述第二检测结果转换成数字信号。
较佳的，上述供液系统中，所述增压气体为氮气。
较佳的，上述供液系统中，所述清洗液为去离子水。
还包括，一种晶圆清洗装置，其中，包括上述任意一项所述的供液系统。
上述技术方案的有益效果是：根据清洗液的实时流量控制电机驱动手动调节阀动作以调节清洗液的流量，避免了人工操作调节阀导致的人力资源浪费，并且减少调节阀调节次数，延长调节阀的使用寿命。
附图说明
图1是本发明的较佳的实施例中，一种供液系统的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。
本发明的较佳的实施例中，如图1所示，提供一种供液系统，应用于晶圆清洗装置中，供液系统包括：
供液管道1，用于输送清洗液；
增压装置2，设置于供液管道1上，增压装置1还连接一气体管道3并使用气体管道3输送的增压气体为清洗液增压；
第一检测装置4，于增压装置2的下游设置于供液管道1上，第一检测装置4用于检测清洗液的流量并输出第一检测结果；
第二检测装置5，设置于气体管道3上，第二检测装置5用于检测增压气体的气压并输出第二检测结果；
调节装置6，于增压装置2和第二检测装置5之间设置于气体管道3上；
控制装置7，连接第一检测装置4、第二检测装置5和调节装置6，控制装置7用于分析第一检测结果和第二检测结果产生一控制指令至调节装置6；
调节装置6用于根据控制指令调节增压气体的流量。
本实施例中，使用控制装置7获取第一检测装置4和第二检测装置5输出的检测结果，并处理第一检测结果和第二检测结果产生控制指令输出至调节装置6，调节装置6根据控制指令调节增压气体的流量，从而达到调节清洗液流量的目的。
上述技术方案中，不需要工作人员到现场调节清洗液流量，避免了人工操作调节阀导致的人力资源浪费，并且减少调节阀调节次数，延长调节阀的使用寿命。
本发明的较佳的实施例中，调节装置6包括：
手动调节阀61，设置于气体管道3上，手动调节阀61具有一调节旋钮(图中未示出)；
驱动装置62，连接控制装置7，驱动装置62包括一输出轴(图中未示出)，输出轴连接调节旋钮；
驱动装置62用于根据控制指令驱动调节旋钮转动，以调节增压气体的流量。
由于现有技术中，气体管道3上使用的调节阀为手动调节阀61，为避免改动现有的管路结构，本实施例中，使用一驱动装置62来驱动手动调节阀61的调节旋钮转动，以调节增压气体的流量，在实现自动调节清洗液流量的同时减少对现有设备的改造，以降低成本。
本发明的较佳的实施例中，驱动装置62为步进电机。
本发明的较佳的实施例中，第一检测装置4为液体流量计。
本发明的较佳的实施列中，还包括第一模数转换装置8，控制装置7通过第一模数转换装置8连接液体流量计(第一检测装置4)；
第一模数转换装置8用于将液体流量计(第一检测装置4)输出的第一检测结果转换成数字信号。
本实施例中，液体流量计(第一检测装置4)使用的超声波流量计，其输出信号为4-20ma的电流信号，使用第一模数转换装置8将电流信号转换成相应的数字信号以供控制装置处理；超声波流量计其流量与电流输出成线性关系，当输出信号为4ma时，表示流量为0，当输出信号为20ma时，表示流量为超声波流量计的最大量程。
本发明的较佳的实施例中，第二检测装置5为气体压力计。
本发明的较佳的实施例中，还包括第二模数转换装置9，控制装置7通过第二模数转换装置9连接气体压力计(第二检测装置5)；
第二模数转换装置9用于将气体压力计(第二检测装置5)输出的第二检测结果转换成数字信号。
本实施例中，气体压力计(第二检测装置5)的输出信号为1-5v的电压信号，使用第二模数转换装置8将电压信号转换成相应的数字信号以供控制装置处理；气体压力计(第二检测装置5)的电压输出与其所测气体的气压成线性关系，当输出信号为1v时，表示气压为0，当输出信号为5v时，表示气压为气体压力计(第二检测装置5)的最大量程。
本发明的较佳的实施例中，增压气体为氮气。
本发明的较佳的实施例中，清洗液为去离子水。
本实施例中，将控制装置7、第一模数转换装置8、第二模数转换装置9集成在一电路板上，并通过rs232接口连接步进电机(驱动装置62)和控制装置7。
本发明的技术方案中，还包括一种晶圆清洗装置，该晶圆清洗装置使用上述的供液系统。
以上仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本发明说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本发明的保护范围内。