1.一种高纯度二氯硅烷分装储存容器的残气回收及填充方法，其特征在于，方法步骤为：
a、残气回收步骤：回收的钢瓶进行外观检查，确认该钢瓶的阀口清洁与无异常，该钢瓶秤重得知内部的二氯硅烷残气量，再由第一管路连接该钢瓶的阀口与残气回收装置，在该钢瓶的阀口关闭状态下，由该残气回收装置对该第一管路进行气密测试，确认第一管路与该阀口连接处的气密性符合要求，再以该残气回收装置对该钢瓶填充不会与二氯硅烷产生反应的安定气体，使该钢瓶的内部压力大于该残气回收装置的压力，利用压力差将二氯硅烷残气排放至该残气回收装置进行回收，重复循环填充与排放动作至该钢瓶完全清除二氯硅烷残气后，先抽取该钢瓶形成真空状态，再次填充安定气体至该钢瓶内而形成正压状态后，关闭该钢瓶的阀口，将该第一管路内的全部气体排至洗涤塔形成气液两相接触，并借由洗涤液吸收有害气体，确认该第一管路在安全状态下进行拆管，最后将残气回收后的该钢瓶移至待填充区静置存放；以及
b、二氯硅烷填充步骤：由待填充区取得该钢瓶并检查该阀口是否清洁与无异常，对该钢瓶秤重得知空瓶重量，再由第二管路连接该钢瓶的阀口、原物料桶与填充控制装置，使该钢瓶与该原物料桶隔离于不同环境空间，该填充控制装置在该钢瓶与该原物料桶皆封闭状态下对该第二管路进行气密测试，开启该钢瓶的阀口抽取安定气体而形成真空状态，控制该钢瓶的环境温度低于该原物料桶的环境温度，又该第二管路隔离包覆有冷却水管路，且该冷却水管路循环流通有3℃至8℃的冷却水，开启该原物料桶利用冷却水将流至该第二管路的二氯硅烷液化，且通过该钢瓶与该原物料桶两端的温度差，让二氯硅烷液体以稳定流速自动填充至该钢瓶内，并在填充至额定重量后关闭该钢瓶的阀口，将该第二管路内的全部气体排至洗涤塔形成气液两相接触，并借由洗涤液吸收有害气体，确认该第二管路在安全状态下进行拆管。
2.根据权利要求1所述的高纯度二氯硅烷分装储存容器的残气回收及填充方法，其特征在于，该安定气体为氦气或氮气，使用的氮气为大于等于4.5n的纯度等级。
3.根据权利要求1所述的高纯度二氯硅烷分装储存容器的残气回收及填充方法，其特征在于，气密测试是在该第一管路与该第二管路内封闭形成介于0.3mpa至0.35mpa之间的内压力，保持2min至5min未产生压力下降，为气密性符合要求。
4.根据权利要求1所述的高纯度二氯硅烷分装储存容器的残气回收及填充方法，其特征在于，该钢瓶的内部压力大于该残气回收装置的压力值介于0.2mpa至0.3mpa之间，该钢瓶填充封闭的正压值介于0.07mpa至0.15mpa之间。
5.根据权利要求1所述的高纯度二氯硅烷分装储存容器的残气回收及填充方法，其特征在于，该钢瓶形成真空状态的内部压力为-0.1mpa。
6.根据权利要求1所述的高纯度二氯硅烷分装储存容器的残气回收及填充方法，其特征在于，该第一管路与该第二管路在洗涤有害气体后进行泄漏测试保持2min至5min，再对该第一管路与该第二管路以安定气体重复置换数次后，以安定气体填封该第一管路与该第二管路。
7.根据权利要求1所述的高纯度二氯硅烷分装储存容器的残气回收及填充方法，其特征在于，在残气回收步骤的该钢瓶是以倒立方式连接该残气回收装置，且在二氯硅烷填充步骤的该钢瓶是以正立方式连接该原物料桶。
8.根据权利要求1所述的高纯度二氯硅烷分装储存容器的残气回收及填充方法，其特征在于，该钢瓶的环境温度为8℃至18℃，且该原物料桶的环境温度为25℃至35℃。
9.根据权利要求1所述的高纯度二氯硅烷分装储存容器的残气回收及填充方法，其特征在于，残气回收步骤在连接该第一管路与二氯硅烷填充步骤在连接该第二管路前，先以接地线连接该钢瓶，借此防止静电引发作业危险。
10.根据权利要求1所述的高纯度二氯硅烷分装储存容器的残气回收及填充方法，其特征在于，在二氯硅烷填充至该钢瓶且密封后，以异丙醇清洁该钢瓶的阀口，并在干燥后将石蕊试纸静置该阀口确认有无泄漏，二氯硅烷为介于3.5n至5n的纯度等级。
11.根据权利要求10所述的高纯度二氯硅烷分装储存容器的残气回收及填充方法，其特征在于，二氯硅烷的纯度等级为4n。