一种硅烷气体分配供给系统的制作方法

[0001]
本实用新型涉及工艺制备技术领域，尤其涉及一种硅烷气体分配供给系统。


背景技术：

[0002]
半导体、光伏、led、光纤等行业在工艺制程中会普遍使用到硅烷，由于硅烷是非常危险的气体，所以硅烷系统配置在一个密闭的特气柜里面是必不可少的。有以下两点需要特别注意：1、换瓶前钢瓶阀门未关死或者管路中残留有危害气体；2、换瓶后钢瓶接头(猪尾巴管接头)未连接好，导致开瓶时气体溢出。


技术实现要素：

[0003]
鉴于目前存在的上述不足，本实用新型提供一种硅烷气体分配供给系统，操作方便，结构简单，安全性高，且便于更换钢瓶。
[0004]
为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：
[0005]
一种硅烷气体分配供给系统，所述硅烷气体分配供给系统包括供气柜，所述供气柜内设有至少2个气瓶，所述供气柜上设有plc控制柜，供气柜内设有风阀、气体泄漏探测器、火焰探测器和消防喷淋接头，所述气瓶分别各连接一路由气体差压表、调压阀和其他管阀件组成的气路系统，每路气路系统可通过plc控制柜进行切换。
[0006]
依照本实用新型的一个方面，所述气路系统包括连接气瓶的瓶阀、分别通过管路连接瓶阀的第一路管道和第二路管道，所述第一路管道依次连接有第一阀门、第一单向阀、第一气体差压表及第一应用管道，所述第二路管道依次连接有第二气体差压表和过滤阀，过滤阀后分两路分别连接第二阀门和第三阀门，所述第三阀门后连接有调压阀，所述调压阀处设有第三气体差压表，所述调压阀后分两路分别连接有第四阀门和第五阀门，第四阀门之后连接第二单向阀并与第二阀门后的管路汇合后连接到第二应用管道，所述第五阀门之后连接到第三应用管道。
[0007]
依照本实用新型的一个方面，所述第一应用管道为高压氮气和低压氮气管路，所述第二应用管道为废气排放管路，所述第三应用管道为硅烷出气管路。
[0008]
依照本实用新型的一个方面，所述气瓶并列竖向设置在供气柜中。
[0009]
依照本实用新型的一个方面，所述供气柜前侧设有柜门，所述柜门关闭时使得供气柜密封。
[0010]
依照本实用新型的一个方面，所述消防喷淋接头设置在供气柜上方。
[0011]
依照本实用新型的一个方面，所述供气柜内部的后壁下部设有气瓶支架。
[0012]
依照本实用新型的一个方面，所述plc控制柜设置在供气柜上方且plc控制柜的控制面板斜向下方设置，所述控制面板上设有触摸屏。
[0013]
依照本实用新型的一个方面，所述供气柜内部的后壁上部设有安装板，所述气路系统安装在所述安装板上。
[0014]
依照本实用新型的一个方面，所述柜门上设有玻璃视窗，所述玻璃视窗上设有防
爆钢丝网。
[0015]
依照本实用新型的一个方面，所述供气柜底部设有气瓶传送台。
[0016]
本实用新型实施的优点：本实用新型所述的硅烷气体分配供给系统，包括供气柜，所述供气柜内设有至少2个气瓶，所述供气柜上设有plc控制柜，供气柜内设有气体泄漏探测器、火焰探测器和消防喷淋接头，所述气瓶分别各连接一路由风阀、气体差压表、调压阀和其他管阀件组成的气路系统，每路气路系统可通过plc控制柜进行切换；能够实现全自动化切换供气，配合气体泄漏探测器，火焰探测器，消防喷淋接头，气体管阀件，仪表等组成一套完整的系统。操作方便，结构简单，安全性高，且便于更换钢瓶，所以具有广泛的应用前景。
附图说明
[0017]
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]
图1为本实用新型所述的一种硅烷气体分配供给系统示意图；
[0019]
图2为本实用新型所述的供气柜结构示意图；
[0020]
图3为本实用新型所述的供气柜侧视结构示意图。
具体实施方式
[0021]
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0022]
如图1、图2和图3所示，一种硅烷气体分配供给系统，所述硅烷气体分配供给系统包括供气柜1，所述供气柜内设有至少2个气瓶2，所述供气柜上设有plc控制柜3，供气柜内设有风阀7、气体泄漏探测器4、火焰探测器5和消防喷淋接头6，所述气瓶分别各连接一路由气体差压表、调压阀和其他管阀件组成的气路系统200，每路气路系统可通过plc控制柜进行切换。
[0023]
在实际应用中，所述气路系统包括连接气瓶的瓶阀201、分别通过管路连接瓶阀的第一路管道和第二路管道，所述第一路管道依次连接有第一阀门202、第一单向阀203、第一气体差压表204及第一应用管道205，所述第二路管道依次连接有第二气体差压表206和过滤阀207，过滤阀后分两路分别连接第二阀门208和第三阀门209，所述第三阀门后连接有调压阀210，所述调压阀处设有第三气体差压表211，所述调压阀后分两路分别连接有第四阀门212和第五阀门213，第四阀门之后连接第二单向阀214并与第二阀门后的管路汇合后连接到第二应用管道215，所述第五阀门之后连接到第三应用管道216。所述第一应用管道为高压氮气和低压氮气管路，所述第二应用管道为废气排放管路，所述第三应用管道为硅烷出气管路。
[0024]
在实际应用中，所述气瓶并列竖向设置在供气柜中。
[0025]
在实际应用中，所述供气柜前侧设有柜门12，所述柜门关闭时使得供气柜密封。
[0026]
在实际应用中，所述消防喷淋接头6设置在供气柜上方。
[0027]
在实际应用中，所述供气柜内部的后壁下部设有气瓶支架13。
[0028]
在实际应用中，所述plc控制柜3设置在供气柜上方且plc控制柜的控制面板斜向下方设置，所述控制面板上设有触摸屏31。
[0029]
在实际应用中，所述供气柜内部的后壁上部设有安装板11，所述气路系统安装在所述安装板上。
[0030]
在实际应用中，所述柜门上设有玻璃视窗，所述玻璃视窗上设有防爆钢丝网。
[0031]
在实际应用中，所述供气柜底部设有气瓶传送台。
[0032]
(一)供气操作
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1，首先确保整个镜面板上的所有管路都处于真空状态，所有阀门都处于关闭状态；
[0034]
2，以单边钢瓶供气为例，缓慢打开钢瓶阀，观察pt2r压力是否是缓慢上升状态，等pt2r压力稳定后，再打开av6r，然后缓慢打开调压阀reg1r，并观察压力变送器pt3r的压力是否是缓慢上升状态，当压力调节到设备所需压力并稳定后，打开阀门av8r，硅烷气柜开始供气；
[0035]
(二)更换钢瓶操作说明
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当两个之中的一个钢瓶压力不满足要求时，需要更换钢瓶，气路切换至另一路的钢瓶上。此时需要，按照以下流程完成钢瓶更换的操作。
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1，将气路切换到另外一个气路上，关闭当面钢瓶上的瓶阀。
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2，在确保氮气管路正常运行的前提下，打开氮气管路上的吹扫阀门；
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3，对钢瓶以及镜面板上的管路进行反复抽和真空和冲氮气两个过程，建议操作步数大于10次以上，该步骤的目的是抽出管路内残余气体。
[0040]
本实用新型实施的优点：本实用新型所述的硅烷气体分配供给系统，包括供气柜，所述供气柜内设有至少2个气瓶，所述供气柜上设有plc控制柜，供气柜内设有气体泄漏探测器、火焰探测器和消防喷淋接头，所述气瓶分别各连接一路由风阀、气体差压表、调压阀和其他管阀件组成的气路系统，每路气路系统可通过plc控制柜进行切换；能够实现全自动化切换供气，配合气体泄漏探测器，火焰探测器，消防喷淋接头，气体管阀件，仪表等组成一套完整的系统。操作方便，结构简单，安全性高，且便于更换钢瓶，所以具有广泛的应用前景。
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以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本领域技术的技术人员在本实用新型公开的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。