一种气瓶不间断供气用切换控制装置的制作方法

文档序号:24151298发布日期:2021-03-02 20:50阅读:163来源:国知局
一种气瓶不间断供气用切换控制装置的制作方法

[0001]
本申请涉及供气设备的领域,尤其是涉及一种气瓶不间断供气用切换控制装置。


背景技术:

[0002]
目前随着半导体产业的蓬勃发展,气体供应设备越来越多的应用于ic芯片生产、镀层、实验室科研等项目中。
[0003]
现有公告号为cn203927403u的中国实用新型专利公开了一种不间断供气式气瓶柜,包括壳体,壳体内设置瓶组一、瓶组二,瓶组一、瓶组二通过自动切换阀汇集到同一汇流输出管;壳体底部设置称重台一、称重台二,所述称重台一与称重台二可输出电信号至控制器。此气瓶柜具备主、备气体储备,顺序输出,保障气体输出不中断的效能;同时具备远程监控瓶组重量、判断气体储备状态、保障气体补给不中断的效能;且具备远程监控气瓶柜内气体是否存在泄漏故障,并通风稀释泄漏气体,避免危险事故发生的效能。
[0004]
针对上述中的相关技术,发明人认为存在有瓶组一和瓶组二在气体供应切换时,瓶组一和瓶组二中的气体汇集到汇流输出管的流速不同,导致气流混乱,不利于反应系统进行的缺陷。


技术实现要素:

[0005]
为了改善相关问题的缺陷,本申请提供一种气瓶不间断供气用切换控制装置。
[0006]
本申请提供的一种气瓶不间断供气用切换控制装置采用如下的技术方案:
[0007]
一种气瓶不间断供气用切换控制装置,包括供气装置本体,所述供气装置本体包括主供气瓶和次供气瓶,且主供气瓶的一端通过初始主进气管连通设置有管路系统,次供气瓶的一端和管路系统通过初始次进气管连通设置,管路系统远离主供气瓶的一端连通设置有中间主进气管,中间主进气管上靠近管路系统的一端设置有主控制阀,管路系统远离次供气瓶的一端设置有中间次进气管,中间次进气管靠近管路系统的一端设置有次控制阀,中间主进气管和中间次进气管的端部连通设置有汇流管,汇流管远离中间主进气管的一端连通设置有反应系统;所述中间次进气管上连通设置有缓冲箱和缓冲控制阀,缓冲箱位于次控制阀远离管路系统的一端,缓冲控制阀位于缓冲箱远离次控制阀的一端,缓冲箱上设置有排气管,排气管上设置有排气控制阀,缓冲箱上设置有缓冲压力传感器,且汇流管上设置有汇流压力传感器。
[0008]
通过采用上述技术方案,当一种气瓶不间断供气用切换控制装置在使用时,通过打开主控制阀,将主供气瓶中的气体通过初始主进气管进入管路系统,经过管路系统进入中间主进气管,进而由中间主进气管进入汇流管,由汇流管进入反应系统,当汇流压力传感器检测到汇流管内压力减少时,此时主供气瓶中即将用完,打开次控制阀和排气控制阀,将次供气瓶中的气体通过初始次进气管进入管路系统,进而由管路系统进入中间次进气管,由中间次进气管进入缓冲箱,次供气瓶中的气体将缓冲箱中的空气通过排气管排出,待空气排尽,将排气控制阀关闭,缓冲箱中不断通入气体,缓冲箱中的压力不断增大,待缓冲压
力传感器和汇流压力传感器的压力值相同时,将缓冲控制阀打开,气体由缓冲箱通过中间次进气管进入汇流管,进而由汇流管进入反应系统。如此设置,主供气瓶和次供气瓶的气体汇集到汇流管的流速相同,气流大致均匀进入反应系统,有利于保证反应系统的正常进行。
[0009]
优选的,所述主供气瓶远离初始主进气管的一端设置有称重装置。
[0010]
通过采用上述技术方案,当主供气瓶在不断供气时,称重装置有利于准确检测主供气瓶中的气体余量,有利于清楚掌握主供气瓶中的气体输出进度。
[0011]
优选的,所述汇流管上设置有流速传感器。
[0012]
通过采用上述技术方案,当气体通过汇流管时,流速传感器有利于准确检测气体的流速,进而有利于通过主控制阀和次控制阀控制气体的流速。
[0013]
优选的,所述汇流管上靠近反应系统的一端设置有用于控制汇流管中气体温度的温控机构。
[0014]
通过采用上述技术方案,当气体通过汇流管时,温控机构有利于根据反应系统的温度调控汇流管中的气体温度,有利于提高气瓶不间断供气用切换控制装置的应用性。
[0015]
优选的,所述温控机构包括温控表、温控件和用于控制温控件温度的温控器,温控件套设在汇流管靠近反应系统的一端,温控表设置在温控器上。
[0016]
通过采用上述技术方案,当气体通过汇流管时,温控器调节温控件的温度,进而温控件对汇流管中的气体温度进行控制,有利于根据反应系统的温度调控汇流管中的气体温度,有利于提高气瓶不间断供气用切换控制装置的应用性,同时温控件套设在汇流管上,有利于对汇流管中的气体温度调控大致均匀。
[0017]
优选的,所述供气装置本体外部设置有保护壳。
[0018]
通过采用上述技术方案,保护壳有利于防止外界因素对供气装置本体造成损坏,有利于保护气瓶不间断供气用切换控制装置。
[0019]
优选的,所述初始主进气管、初始次进气管、中间主进气管、中间次进气管和汇流管上均套设有保护套。
[0020]
通过采用上述技术方案,保护套有利于防止初始主进气管、初始次进气管、中间主进气管、中间次进气管和汇流管处于潮湿环境中时造成腐蚀磨损,有利于保护初始主进气管、初始次进气管、中间主进气管、中间次进气管和汇流管
[0021]
优选的,所述初始主进气管、初始次进气管、中间主进气管、中间次进气管和汇流管上均设置有气流指向标牌。
[0022]
通过采用上述技术方案,当气瓶不间断供气用切换控制装置在使用时,气流指向标牌有利于清楚的指示出气体在初始主进气管、初始次进气管、中间主进气管、中间次进气管和汇流管中的流向,便于理解和操作。
[0023]
综上所述,本申请包括以下至少一种有益技术效果:
[0024]
1.当一种气瓶不间断供气用切换控制装置在使用时,通过打开主控制阀,将主供气瓶中的气体通过初始主进气管进入管路系统,经过管路系统进入中间主进气管,进而由中间主进气管进入汇流管,由汇流管进入反应系统,当汇流压力传感器检测到汇流管内压力减少时,此时主供气瓶中即将用完,打开次控制阀和排气控制阀,将次供气瓶中的气体通过初始次进气管进入管路系统,进而由管路系统进入中间次进气管,由中间次进气管进入缓冲箱,次供气瓶中的气体将缓冲箱中的空气通过排气管排出,待空气排尽,将排气控制阀
关闭,缓冲箱中不断通入气体,缓冲箱中的压力不断增大,待缓冲压力传感器和汇流压力传感器的压力值大致相同时,将缓冲控制阀打开,气体由缓冲箱通过中间次进气管进入汇流管,进而由汇流管进入反应系统。如此设置,主供气瓶和次供气瓶的气体汇集到汇流管的流速相同,气流大致均匀进入反应系统,有利于保证反应系统的正常进行;
[0025]
2.当主供气瓶在不断供气时,称重装置有利于准确检测主供气瓶中的气体余量,有利于清楚掌握主供气瓶中的气体输出进度;
[0026]
3.当气体通过汇流管时,温控器调节温控件的温度,进而温控件对汇流管中的气体温度进行控制,有利于根据反应系统的温度调控汇流管中的气体温度,有利于提高气瓶不间断供气用切换控制装置的应用性,同时温控件套设在汇流管上,有利于对汇流管中的气体温度调控大致均匀。
附图说明
[0027]
图1是本申请实施例1的整体结构示意图;
[0028]
图2是本申请实施例2的整体结构示意图。
[0029]
附图标记说明:1、供气装置本体;2、主供气瓶;3、次供气瓶;4、初始主进气管;5、管路系统;6、初始次进气管;7、称重装置; 8、中间主进气管;9、主控制阀;10、中间次进气管;11、次控制阀;12、汇流管;13、反应系统;14、缓冲箱;15、缓冲控制阀;16、排气管;17、排气控制阀;18、缓冲压力传感器;19、汇流压力传感器;20、流速传感器;21、保护壳;22、温控机构;221、温控件;222、温控表;223、温控器;23、保护套;24、气流指向标牌。
具体实施方式
[0030]
以下结合附图1-2对本申请作进一步详细说明。
[0031]
本申请实施例公开一种气瓶不间断供气用切换控制装置。
[0032]
实施例1
[0033]
参照图1,一种气瓶不间断供气用切换控制装置,包括供气装置本体1,所述供气装置本体1包括呈圆柱状的主供气瓶2和次供气瓶3,且主供气瓶2的一端通过管道截面为圆形的初始主进气管4连通设置有管路系统5,管路系统5可以是专利公告号为cn208983012u中的实验室气体管路检测闭锁报警系统中的气瓶室气体管路系统。次供气瓶3的一端和管路系统5通过管道截面为圆形的初始次进气管6连通设置。
[0034]
主供气瓶2远离初始主进气管4的一端设置有称重装置7,称重装置7可以是电子秤。当主供气瓶2在不断供气时,称重装置7有利于准确检测主供气瓶2中的气体余量,有利于清楚掌握主供气瓶2中的气体输出进度。
[0035]
管路系统5远离主供气瓶2的一端连通设置有管道截面为圆形的中间主进气管8,中间主进气管8上靠近管路系统5的一端设置有主控制阀9,本实施例主控制阀9可以是电磁阀,且主控制阀9用于控制中间主进气管8的流通。管路系统5远离次供气瓶3的一端设置有管道截面为圆形的中间次进气管10,中间次进气管10靠近管路系统5的一端设置有次控制阀11,本实施例次控制阀11可以是电磁阀,且次控制阀11用于控制中间次进气管10的流通。中间主进气管8和中间次进气管10的端部连通设置有管道截面为圆形的汇流管12,汇流管12远离中间主进气管8的一端连通设置有反应系统13,反应系统13可以是ic芯片生产用反
应设备。
[0036]
中间次进气管10上连通设置有呈长方体状的缓冲箱14和缓冲控制阀15,缓冲控制阀15用于控制缓冲箱14中气体的流通,本实施例缓冲控制阀15可以是电磁阀。缓冲箱14位于次控制阀11远离管路系统5的一端,缓冲控制阀15位于缓冲箱14远离次控制阀11的一端,缓冲箱14上设置有排气截面为圆形的排气管16,排气管16上设置有排气控制阀17,排气控制阀17用于控制排气管16的流通,本实施例排气控制阀17可以是电磁阀。缓冲箱14上设置有缓冲压力传感器18,缓冲压力传感器18用于检测缓冲箱14中的压力。汇流管12上设置有汇流压力传感器19,汇流压力传感器19用于检测汇流管12中的压力。
[0037]
汇流管12上设置有流速传感器20。当气体通过汇流管12时,流速传感器20有利于准确检测气体的流速,进而有利于通过主控制阀9和次控制阀11控制气体的流速。
[0038]
供气装置本体1外部设置有呈柜状的保护壳21,保护壳21有利于防止外界因素对供气装置本体1造成损坏,有利于保护气瓶不间断供气用切换控制装置。
[0039]
实施例1的实施原理:当一种气瓶不间断供气用切换控制装置在使用时,首先通过打开主控制阀9,将主供气瓶2中的气体通过初始主进气管4进入管路系统5,经过管路系统5进入中间主进气管8,进而由中间主进气管8进入汇流管12,由汇流管12进入反应系统13,同时流速传感器20在检测汇流管12中的流速;当汇流压力传感器19检测到汇流管12内压力减少时,此时主供气瓶2中即将用完,打开次控制阀11和排气控制阀17,将次供气瓶中的气体通过初始次进气管6进入管路系统5,进而由管路系统5进入中间次进气管10,由中间次进气管10进入缓冲箱14,次供气瓶3中的气体将缓冲箱14中的空气通过排气管16排出,待空气排尽,将排气控制阀17关闭,缓冲箱14中不断通入气体,缓冲箱14中的压力不断增大,待缓冲压力传感器18和汇流压力传感器19的压力值大致相同时,将缓冲控制阀15打开,气体由缓冲箱14通过中间次进气管10进入汇流管12,进而由汇流管12进入反应系统13。如此设置,主供气瓶和次供气瓶的气体汇集到汇流管12的流速相同,气流大致均匀进入反应系统13,有利于保证反应系统13的正常进行。
[0040]
实施例2
[0041]
参照图2,本实施例与实施例1的不同之处在于:汇流管12上靠近反应系统13的一端设置有用于控制汇流管12中气体温度的温控机构22。温控机构22包括呈螺旋管状的温控件221、温控表222和用于控制温控件221温度的温控器223,温控件221套设在汇流管12靠近反应系统13的一端,且温控件221中的介质可回流进温控器223中;温控器223中包括用于加热的电阻加热器、用于冷却的冷凝器以及用于控制温控件221中的介质回流的循环泵;温控表222设置在温控器223上。当气体通过汇流管12时,温控器223调节温控件221的温度,进而温控件221对汇流管12中的气体温度进行控制,有利于根据反应系统13的温度调控汇流管12中的气体温度,有利于提高气瓶不间断供气用切换控制装置的应用性,同时温控件221套设在汇流管12上,有利于对汇流管12中的气体温度调控大致均匀。
[0042]
初始主进气管4、初始次进气管6、中间主进气管8、中间次进气管10和汇流管12上均套设有呈圆筒状的保护套23,本实施例保护套23的材料可以是硅胶。保护套23有利于防止初始主进气管4、初始次进气管6、中间主进气管8、中间次进气管10和汇流管12处于潮湿环境中时造成腐蚀磨损,有利于保护初始主进气管4、初始次进气管6、中间主进气管8、中间次进气管10和汇流管12。
[0043]
初始主进气管4、初始次进气管6、中间主进气管8、中间次进气管10和汇流管12上均设置有呈箭头状的气流指向标牌24。当气瓶不间断供气用切换控制装置在使用时,气流指向标牌24有利于清楚的指示出气体在初始主进气管4、初始次进气管6、中间主进气管8、中间次进气管10和汇流管12中的流向,便于理解和操作。
[0044]
实施例2的实施原理为:当气体通过汇流管12时,温控器223调节温控件221的温度,进而温控件221对汇流管12中的气体温度进行控制,有利于根据反应系统13的温度调控汇流管12中的气体温度,有利于提高气瓶不间断供气用切换控制装置的应用性,同时温控件221套设在汇流管12上,有利于对汇流管12中的气体温度调控大致均匀。
[0045]
以上均为本申请的较佳实施例,并非依此限制本申请的保护范围,故:凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化,均应涵盖于本申请的保护范围之内。
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