一种电子气体灌装装置的制作方法

文档序号:26022936发布日期:2021-07-27 13:26阅读:179来源:国知局
一种电子气体灌装装置的制作方法

本实用新型涉及灌装装置技术领域,具体为一种电子气体灌装装置。



背景技术:

半导体工业用的气体统称电子气体,按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类,特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺,高纯气体主要用作稀释气和运载气,电子气体是特种气体的一个重要分支,电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,lsi(大规模集成电路)级,vlsi(超大规模集成电路)级和ulsi(特大规模集成电路)级;

依赖增压泵的方式将待灌装的气体展开灌装,类似压力液体灌装机,常用的气体灌装对象有:天然气、煤气、氮气、二氧化碳等,气体灌装机对工作环境拒绝较低,一般拒绝在:通风、低温、无明火的工作区域展开灌装。

现有的电子气体灌装装置存在的缺陷是:

1、现有的电子气体灌装装置在进行灌装时,因其灌装口较少导致其工作效率较低,且待灌装的罐体无卡接固定结构易发生倾倒;

2、现有的电子气体灌装装置在进行灌装时,因不同的罐体大小不同,无法适应不同的罐体进行灌装,具有一定的局限性;

3、现有的电子气体灌装装置,为一体式架构,在进行在安装维修时比较麻烦。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种电子气体灌装装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种电子气体灌装装置,包括基座、储气罐、气体加压泵和分气箱,所述基座上固定安装有储气罐、气体加压泵、液压伸缩杆和卡接底座,所述储气罐内部设置有隔温层,所述储气罐一侧固定安装有第一出气口,所述第一出气口另一端固定安装有第一连接块,所述气体加压泵顶部设置有第二进气口,所述第二进气口一端设置有第二连接块,且第二连接块另一端与第三连接块连接固定,所述第三连接块另一端设置有第一出气管,所述第一出气管另一端固定安装有第四连接块,且第四连接块与第一连接块连接固定,所述气体加压泵正面设置有第二出气口,所述第二出气口上设置有进气管,且第二出气口通过进气管与分气箱连接固定,所述分气箱底部固定安装有灌装口和液压伸缩杆。

优选的,所述储气罐另一侧设置有第一进气口。

优选的,所述储气罐、第一出气管和第二出气口上皆设有压强检测传感器,所述第一出气口上设置有开关阀门。

优选的,所述第一出气管转角处设置有保护套。

优选的,所述分气箱正面设置有显示屏。

优选的,所述第二连接块与第三连接块接口处设置有密封橡胶板。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

1、本实用新型通过在储气罐一侧固定安装有第一出气口,第一出气口另一端固定安装有第一连接块,气体加压泵顶部设置有第二进气口,第二进气口一端设置有第二连接块,且第二连接块另一端与第三连接块连接固定,第三连接块另一端设置有第一出气管,第一出气管另一端固定安装有第四连接块,且第四连接块与第一连接块连接固定,将该装置分为若干个独立结构,安装拆卸方便,便于后续维修。

2、本实用新型通过在分气箱底部固定安装有若干个灌装口,基座顶部固定安装有卡接底座,在进行灌装时,将需要灌装的罐体放置在卡接底座上尽心固定,分气箱底部的灌装口对罐体进行灌装,使其工作效率进一步提升,减少工人上下搬运罐体次数。

3、本实用新型通过在储气罐内部设置有隔温层,使内部的气体不受外接因素的干扰,保证其稳定性,减少危险产生,通过在基座上安装有液压伸缩杆,液压伸缩杆顶部与分气箱连接固定,在对不同大小的罐体进行安装时,通过液压伸缩杆可调节分气箱到指定高度进行灌装,使该装置应用更加广泛。

附图说明

图1为本实用新型的主视剖面图;

图2为本实用新型的主视结构图;

图3为本实用新型的灌装组件局部结构示意图;

图4为本实用新型的顶视结构示意图。

图中:1、基座;2、储气罐;201、隔温层;202、第一进气口;203、压强检测传感器;204、第一出气口;205、开关阀门;206、第一连接块;3、气体加压泵;301、第二进气口;302、第二连接块;303、密封橡胶板;304、第三连接块;305、保护套;306、第一出气管;307、第四连接块;308、第二出气口;4、分气箱;401、进气管;402、显示屏;403、灌装口;404、卡接底座;405、液压伸缩杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置有”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1-4,本实用新型提供的一种实施例:一种电子气体灌装装置,包括基座1、储气罐2、气体加压泵3和分气箱4,基座1上固定安装有储气罐2、气体加压泵3、液压伸缩杆405和卡接底座404,储气罐2另一侧设置有第一进气口202,储气罐2内部设置有隔温层201;

进一步,通过在储气罐2内部设置有隔温层201,使内部的气体不受外接因素的干扰,保证其稳定性,减少危险产生,通过在基座1上安装有液压伸缩杆405,液压伸缩杆405顶部与分气箱4连接固定,在对不同大小的罐体进行安装时,通过液压伸缩杆405可调节分气箱4到指定高度进行灌装,使该装置应用更加广泛;

储气罐2一侧固定安装有第一出气口204,第一出气口204另一端固定安装有第一连接块206,气体加压泵3顶部设置有第二进气口301,第二进气口301一端设置有第二连接块302,且第二连接块302另一端与第三连接块304连接固定,第二连接块302与第三连接块304接口处设置有密封橡胶板303,第三连接块304另一端设置有第一出气管306,第一出气管306转角处设置有保护套305,第一出气管306另一端固定安装有第四连接块307,且第四连接块307与第一连接块206连接固定;

进一步,通过在储气罐2一侧固定安装有第一出气口204,第一出气口204另一端固定安装有第一连接块206,气体加压泵3顶部设置有第二进气口301,第二进气口301一端设置有第二连接块302,且第二连接块302另一端与第三连接块304连接固定,第三连接块304另一端设置有第一出气管306,第一出气管306另一端固定安装有第四连接块307,且第四连接块307与第一连接块206连接固定,将该装置分为若干个独立结构,安装拆卸方便,便于后续维修;

气体加压泵3正面设置有第二出气口308,第二出气口308上设置有进气管401,且第二出气口308通过进气管401与分气箱4连接固定;

进一步,通过在分气箱4底部固定安装有若干个灌装口403,基座1顶部固定安装有卡接底座404,在进行灌装时,将需要灌装的罐体放置在卡接底座404上尽心固定,分气箱4底部的灌装口403对罐体进行灌装,使其工作效率进一步提升,减少工人上下搬运罐体次数;

分气箱4正面设置有显示屏402,分气箱4底部固定安装有灌装口403和液压伸缩杆405,储气罐2、第一出气管306和第二出气口308上皆设有压强检测传感器203,第一出气口204上设置有开关阀门205。

工作原理:使用人员先对装置进行检测,确认没有问题后使用,首先将罐体放置在卡接底座404上,调节液压伸缩杆405将分气箱4到达指定高度,打开开关阀门205,将储气罐2内部的气体通过第一出气口204进入第一出气管306内部后,通过第二进气口301进入气体加压泵3内部进行加压后,通过第二出气口308进入进气管401后,进入分气箱4内部,通过分气箱4底部的灌装口403进行灌装。

对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

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