一种集成电路厂的氩气分配器的制作方法

1.本实用新型涉及集成电路技术领域，尤其涉及一种集成电路厂的氩气分配器。


背景技术：

2.随着我国集成电路芯片制造行业的大力发展，有大量新厂正在建设之中。由于集成电路的制造过程中需要使用大量高纯度的气体和液体化学品，所以建厂初期必须架设大量不锈钢管道，焊接工作量非常大。
3.为保证正常工程进度，通常会有十几个焊接班组以分散作业方式同时进行不锈钢管道焊接。由于这类不锈钢管道的表面光洁度要求非常高，必须采用氩弧焊接方式，因此每个焊接班组都分配有一个高纯氩气小钢瓶，用于焊接的时候吹出氩气保护焊接高温区域以及相应的管道内壁。这种作业的特点是人员分散，工作面大，安全管理和焊接品质方面存在一定隐患。
4.因此，针对以上缺陷，需要设置一种施工安全性高、便于集中管理且作业效率高的氩气分配器，以解决现有技术的不足。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种集成电路厂的氩气分配器，通过设置氩气分配器对施工所需的氩气进行集中供气分配，并通过各分路流量计的调节控制各个分路氩气的通断及流量，相比于每个小组各自携带小钢瓶施工，对气源的使用更为便捷，同时可以对气源实施集中管理，可安排专人定时进行高纯度大容量氩气瓶的更换和管理，减少以往多次、多人进行氩气瓶的使用和更换而造成的安全事故发生。
6.为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
7.一种集成电路厂的氩气分配器，至少包括一组供气分配单元，所述供气分配单元包括储气罐、截断阀和纯化器，于所述储气罐的进气口连接进气管，于所述进气管的管路上依照进气输送路径依次设置截断阀和纯化器，通过截断阀开启和关闭供气气路，通过纯化器去除氩气中的杂质，对氩气进行提纯，确保氩气的纯度符合要求，于所述储气罐上设置多个供气口，于每个所述供气口连接设置供气管；
8.相应的，所述截断阀为隔膜阀；
9.相应的，于所述截断阀和所述纯化器间的进气管上设置过滤器，过滤器针对氩气中的不同粒径的粉尘粒子进行捕捉和吸附，初步对氩气中的杂质进行过滤，提高氩气质量；
10.相应的，所述储气罐上间隔设置三十个供气口，每两个供气口作为一个供气单元，一个用于焊机，另一个用于内吹管路，在焊接时保护不锈钢管路的内壁不受高温氧化，可同时供十五个焊接班组进行施工，极大地提高了作业效率；
11.相应的，于所述供气管的供气端设置流量计，所述流量计的出气端设置有管道连接口，通过流量计独立调节供气管的供气流量；
12.相应的，所述流量计的出气端朝上设置，便于管道连接的规范化。
13.相应的，所述储气罐上设置扩充口，所述扩充口连接扩充管道，所述扩充管道连接另一组供气分配单元，所述另一组供气分配单元包括通过所述扩充管道依次连接的扩充隔膜阀、扩充纯化器和扩充储气罐，于所述扩充储气罐设置多个扩充供气口，于每个所述扩充供气口连接设置扩充供气管，于所述扩充供气管的供气端设置扩充流量计，所述扩充流量计的出气端设置管道连接口。
14.本实用新型的有益效果为：
15.1)通过设置氩气分配器对作业中所需的氩气进行集中供气分配，并通过各分路流量计的调节控制各个分路氩气的通断及流量，相比于每个小组各自携带小钢瓶施工，对气源的使用更为便捷，同时可以对气源实施集中管理，可安排专人定时进行高纯度大容量氩气瓶的更换和管理，减少以往多次、多人进行氩气瓶的使用和更换而造成的安全事故发生；
16.2)氩气分配器可同时供多个班组作业，提高施工效率；
17.3)通过过滤器和纯化器对氩气进行过滤提纯后输送到储气罐中集中分配，降低了对储气罐本身的技术要求，在提高普通储气罐的适用性的同时降低了经济成本，并保证氩气达到集成电路制造行业中对不锈钢管道的焊接和吹扫要求。
附图说明
18.图1是本实用新型一实施例所述的集成电路厂的氩气分配器的立体结构示意图；
19.图2是图1中结构的俯视图；
20.图中：
21.1、储气罐；2、进气管；3、隔膜阀；4、过滤器；5、纯化器；6、供气管；7、流量计；8、扩充管道；9、扩充隔膜阀。
具体实施方式
22.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“朝上”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
23.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“设置”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
24.以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
25.如图1和2所示，集成电路厂的氩气分配器至少包括一组供气分配单元，供气分配单元包括储气罐1、截断阀、过滤器4和纯化器5，本实施例中，截断阀设置为隔膜阀3，并且按照集成电路行业的semi规范，材料全部选用 sus316l/ep不锈钢材质(即：含钼奥氏体不锈
钢/电解抛光处理)，储气罐1 尺寸为φ100mm*l500mm，适合人体力学，施工搬运方便，于储气罐1的进气口连接进气管2，于进气管2的管路上依照进气输送路径依次设置隔膜阀3、过滤器4和纯化器5，于储气罐1上设置多个供气口，通常，一个焊接班组需要两个用气口，其中一个是焊机使用，另一个用于内吹管路，以便在焊接进行时保护不锈钢管路的内壁不受高温氧化，因此，本实施例中，储气罐1上间隔设置三十个供气口，10个为一排，设置有三排，这样可同时供十五个焊接班组进行施工，于每个供气口上连接设置供气管6，供气管6的供气端设置流量计7，流量计7的出气端设置有管道连接口，且流量计7的出气端朝上设置，通过流量计7独立调节供气管6的供气流量；
26.进一步的，储气罐1上设置扩充口，在需要进行大规模的焊接施工时，通过扩充口连接扩充管道8，扩充管道8连接另一组供气分配单元，另一组供气分配单元包括通过扩充管道8依次连接的扩充隔膜阀9、扩充纯化器和扩充储气罐，于扩充储气罐设置多个扩充供气口，于每个扩充供气口连接设置扩充供气管，于扩充供气管的供气端设置扩充流量计，扩充流量计的出气端设置管道连接口。需要注意的是，“扩充隔膜阀9”、“扩充纯化器”、“扩充储气罐”、“扩充供气口”、“扩充供气管”和“扩充流量计”上的“扩充”不具有实际意义，仅仅是为了将“扩充隔膜阀9”、“扩充纯化器”、“扩充储气罐”、“扩充供气口”、“扩充供气管”、“扩充流量计”和前述的“隔膜阀3”、“过滤器4”、“储气罐1”、“供气口”、“供气管6”、“流量计7”区别开来，用于表述另一组中的结构，“扩充隔膜阀9”的作用和“隔膜阀3”相同，“扩充纯化器”的作用和“纯化器5”相同，“扩充储气罐”的作用和“储气罐1”相同，“扩充供气口”的作用和“供气口”相同，“扩充供气管”的作用和“供气管6”相同，“扩充流量计”的作用和“流量计7”相同；
27.同理，在需要更为大规模的焊接施工时，可对扩充储气罐进一步扩充。
28.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。