一种前置吹扫装置及特气输送供应系统的制作方法

本发明涉及半导体生产，尤其涉及一种前置吹扫装置、特气输送供应系统、特气输送供应方法及半导体工艺系统。

背景技术：

1、超高流量气体供应设备bsgs主要应用于半导体等产业中，为工艺机台输送工艺气体。一般地，需要在超高流量气体供应设备bsgs设置前置吹扫箱，用于在装载特殊气体的钢瓶或槽车消耗殆尽时，更换钢瓶或槽车时，将原来管路中的残余特殊气体吹扫干净的设备。

2、然而，槽车是一种具有超高容量装载特殊气体能力的容器，但其同时又具有体积巨大，占地空间大，气源不稳定等问题，目前并没有大规模使用。

3、为了解决无法使用槽车进行特殊气体供应的问题，中国实用新型专利cn214369312u公开了一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱。通过设计增设深度吹扫箱工艺气体供应单元，实现满足特殊气体超高流量运输的需求。然而，该技术方案仍存在如下缺陷：

4、1）没有设置主动泄压的结构，只适用于大容量钢瓶的特殊气体输送，无法适用于槽车系统的特殊气体输送；

5、2）工艺气体和吹扫气体采用同一出口排放，导致尾气处理工序的压力较大；

6、3）测试系统设计不合理，对气源气体进行测试，而不是对特殊气体超高流量输送设备进行调压后的供应气体进行测试，对实际生产的帮助意义不大；

7、4）没有对吹扫气体和保压气体进行区分，导致吹扫保压效果较差。

8、目前针对相关技术中存在的吹扫长度长、气体排放多、尾气处理工序压力大、没有没有对吹扫气体和保压气体进行区分等问题，尚未提出有效的解决方案。

技术实现思路

1、本发明的目的是针对现有技术中的不足，提供一种前置吹扫装置、特气输送供应系统、特气输送供应方法及半导体工艺系统，以解决相关技术中存在的吹扫长度长、气体排放多、尾气处理工序压力大、没有没有对吹扫气体和保压气体进行区分等问题。

2、为实现上述目的，本发明采取的技术方案是：

3、第一方面，提供一种前置吹扫装置，用于槽车输送特殊气体，包括：

4、特殊气体输入单元，所述特殊气体输入单元与至少一槽车装置连通，用于获取槽车装置传输的特殊气体；

5、特殊气体输出单元，所述特殊气体输出单元分别与所述特殊气体输入单元、特气输送供应装置连通，用于传输特殊气体至特气输送供应装置；

6、低压吹扫单元，所述低压吹扫单元分别与所述特殊气体输入单元、所述特殊气体输出单元连通，用于低压吹扫；

7、高压保压单元，所述高压保压单元分别与所述特殊气体输入单元、所述特殊气体输出单元连通，用于高压保压；

8、真空单元，所述真空单元分别与所述特殊气体输入单元、所述特殊气体输出单元连通；

9、泄压单元，所述泄压单元分别与所述特殊气体输入单元、所述特殊气体输出单元连通；

10、特殊气体排放单元，所述特殊气体排放单元分别与所述真空单元、所述泄压单元连通，用于排放特殊气体；

11、一般气体排放单元，所述一般气体排放单元分别与所述真空单元、所述泄压单元连通，用于排放一般气体。

12、在其中的一些实施例中，所述特殊气体输入单元包括：

13、特殊气体输入元件，所述特殊气体输入元件分别与槽车装置、所述特殊气体输出单元、所述低压吹扫单元、所述高压保压单元、所述真空单元、所述泄压单元连通。

14、在其中的一些实施例中，所述特殊气体输入单元还包括：

15、第一开关阀元件，所述第一开关阀元件设置于分别与所述特殊气体输入元件、所述特殊气体输出单元连通的管路，用于控制管路的开闭。

16、在其中的一些实施例中，所述特殊气体输出单元包括：

17、特殊气体输出元件，所述特殊气体输出元件分别与所述特殊气体输入单元、特气输送供应装置、所述低压吹扫单元、所述高压保压单元、所述真空单元、所述泄压单元连通。

18、在其中的一些实施例中，所述特殊气体输出单元还包括：

19、第二开关阀元件，所述第二开关阀元件设置于分别与所述特殊气体输出元件、所述特殊气体输入单元连通的管路，用于控制管路的开闭。

20、在其中的一些实施例中，所述低压吹扫单元包括：

21、吹扫气体输入元件，所述吹扫气体输入元件分别与所述特殊气体输入单元、所述特殊气体输出单元连通，用于供应低压吹扫气体。

22、在其中的一些实施例中，所述低压吹扫单元还包括：

23、微漏阀元件，所述微漏阀元件设置于分别与所述吹扫气体输入元件、所述特殊气体输入单元、所述特殊气体输出单元连通的管路；

24、第一单向阀元件，所述第一单向阀元件设置于分别与所述吹扫气体输入元件、所述特殊气体输入单元、所述特殊气体输出单元连通的管路，并位于所述微漏阀元件的下游；

25、第三开关阀元件，所述第三开关阀元件设置于分别与所述吹扫气体输入元件、所述特殊气体输入单元、所述特殊气体输出单元连通的管路，并位于所述第一单向阀元件的下游，用于控制管路的开闭。

26、在其中的一些实施例中，所述低压吹扫单元还包括：

27、第一压力检测元件，所述第一压力检测元件设置于分别与所述吹扫气体输入元件、所述特殊气体输入单元、所述特殊气体输出单元连通的管路，用于检测管路的压力。

28、在其中的一些实施例中，所述高压保压单元包括：

29、保压气体输入元件，所述保压气体输入元件分别与所述特殊气体输入单元、所述特殊气体输出单元连通，用于供应高压保压气体。

30、在其中的一些实施例中，所述高压保压单元还包括：

31、第四开关阀元件，所述第四开关阀元件设置于分别与所述保压气体输入元件、所述特殊气体输入单元、所述特殊气体输出单元连通的管路，用于控制管路的开闭；

32、第二单向阀元件，所述第二单向阀设置于分别与所述保压气体输入元件、所述特殊气体输入单元、所述特殊气体输出单元连通的管路，并位于所述第四开关阀元件的下游。

33、在其中的一些实施例中，所述真空单元包括：

34、真空元件，所述真空元件分别与所述特殊气体输入单元、所述特殊气体输出单元、所述特殊气体排放单元、所述一般气体排放单元连通。

35、在其中的一些实施例中，所述真空单元还包括：

36、第五开关阀元件，所述第五开关阀元件设置于分别与所述真空元件、所述特殊气体输入单元、所述特殊气体输出单元连通的管路，用于控制管路的开闭；

37、第三单向阀元件，所述第三单向阀元件设置于分别与所述真空元件、所述特殊气体输入单元、所述特殊气体输出单元连通的管路，并位于所述第五开关阀元件的上游；

38、第六开关阀元件，所述第六开关阀元件设置于分别与所述真空元件、所述特殊气体输入单元、所述特殊气体输出单元连通的管路，并位于所述第三单向阀元件的上游，用于控制管路的开闭。

39、在其中的一些实施例中，所述真空单元还包括：

40、第二压力检测元件，所述第二压力检测元件设置于分别与所述真空元件、所述特殊气体输入单元、所述特殊气体输出单元连通的管路，并位于所述真空元件的上游，用于检测管路的压力。

41、在其中的一些实施例中，所述泄压单元包括：

42、泄压元件，所述泄压元件分别与所述特殊气体输入单元、所述特殊气体输出单元、所述特殊气体排放单元、所述一般气体排放单元连通。

43、在其中的一些实施例中，所述泄压单元还包括：

44、第七开关阀元件，所述第七开关阀元件设置于分别与所述泄压元件、所述特殊气体输入单元、所述特殊气体输出单元、所述特殊气体排放单元、所述一般气体排放单元连通的管路，用于控制管路的开闭；

45、第四单向阀元件，所述第四单向阀元件设置于分别与所述泄压元件、所述特殊气体输入单元、所述特殊气体输出单元、所述特殊气体排放单元、所述一般气体排放单元连通的管路，并位于所述第七开关阀元件的下游。

46、在其中的一些实施例中，所述特殊气体排放单元包括：

47、特殊气体排放元件，所述特殊气体排放元件分别与所述真空单元、所述泄压单元连通，用于排放特殊气体。

48、在其中的一些实施例中，所述特殊气体排放单元还包括：

49、第八开关阀元件，所述第八开关阀元件设置于分别与所述特殊气体排放元件、所述真空单元、所述泄压单元连通的管路，用于控制管路的开闭。

50、在其中的一些实施例中，所述特殊气体排放单元还包括：

51、第十开关阀元件，所述第十开关阀元件设置于分别与所述特殊气体排放元件、所述真空单元、所述泄压单元连通的管路，并位于所述第八开关阀元件的上游，用于控制管路的开闭。

52、在其中的一些实施例中，所述一般气体排放单元包括：

53、一般气体排放元件，所述一般气体排放元件分别与所述真空单元、所述泄压单元连通，用于排放一般气体。

54、在其中的一些实施例中，所述一般气体排放单元还包括：

55、第九开关阀元件，所述第九开关阀元件设置于分别与所述一般气体排放元件、所述真空单元、所述泄压单元连通的管路，用于控制管路的开闭。

56、在其中的一些实施例中，所述一般气体排放单元还包括：

57、第十一开关阀元件，所述第十一开关阀元件设置于分别与所述一般气体排放元件、所述真空单元、所述泄压单元连通的管路，并位于所述第九开关阀元件的上游，用于控制管路的开闭。

58、在其中的一些实施例中，还包括：

59、安全保障单元，所述安全保障单元设置于所述前置吹扫装置所处环境的顶部，用于监测环境信息。

60、在其中的一些实施例中，所述安全保障单元包括：

61、烟雾监测元件，所述烟雾监测元件设置于所述前置吹扫装置所述环境的顶部，用于监测环境的烟雾信息；

62、液体喷淋元件，所述液体喷淋元件设置于所述前置吹扫装置所述环境的顶部，用于向环境喷淋液体；

63、鼓风元件，鼓风元件设置于所述前置吹扫装置所处环境的顶部，用于将环境的气体排出

64、紫外红外开关元件，所述紫外红外开关元件设置于所述前置吹扫装置所处环境的顶部，用于监测环境中是否存在明火；

65、温度监测元件，所述温度监测元件设置于所述前置吹扫装置所处环境的顶部，用于监测环境的温度。

66、第二方面，提供一种特气输送供应系统，包括：

67、如第一方面所述的前置吹扫装置；

68、特气输送供应装置，所述特气输送供应装置与所述前置吹扫装置连通，用于获取所述前置吹扫装置传输的特殊气体以及供应特殊气体至工艺腔室。

69、在其中的一些实施例中，还包括：

70、至少一重量检测装置，所述重量检测装置用于对槽车装置进行检测。

71、第三方面，提供一种特气输送供应方法，应用于如第一方面所述的前置吹扫装置。

72、第四方面，提供一种特气输送供应方法，应用于如第二方面所述的特气输送供应系统。

73、第五方面，提供一种半导体工艺系统，包括：

74、如第一方面所述的前置吹扫装置。

75、第六方面，提供一种半导体工艺系统，包括：

76、如第二方面所述的特气输送供应系统。

77、本发明采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：

78、本发明的一种前置吹扫装置、特气输送供应系统、特气输送供应方法及半导体工艺系统，设置特殊气体排放单元和一般气体排放单元，对特殊气体、吹扫气体、保压气体进行区分，使得被排放的特殊气体输送至气体处理装置、吹扫气体和保压气体直接排放，对气体排放进行分区控制，降低后续气体处理的成本，减少环境污染；设置泄压单元对前置吹扫装置进行物理泄压，对槽车系统进行保护；设置低压吹扫单元和高压保压单元，以使低压吹扫管路与高压保压管路分离，保护管路，提高生产效率；无须设置气体检测分析结构，降低不必要的成本。