一种半导体排放管道的自动压差维持装置的制作方法

本发明涉及在装有多个半导体制造设备(例如：气体供应设备)的半导体制造设施中，从每个半导体制造设备产生的排放气体通过半导体排放管道排放到外部的过程中，自动维持半导体排放管道的压差的设备的技术。更具体地说，本发明涉及当由于大气压和从半导体制造设备到半导体排放管道的排放压力之间的差异导致的当前压差低于设定范围时，通过阀门将压差增加到设定范围；当当前压差超过设定范围时，通过阀门将压差降低到设定范围。这项技术是为了自动维持半导体排放管道的压差。

背景技术：

1、图1是一个示例图，表示在半导体制造设备中安装了半导体制造设备的例子。参考图1，在半导体制造设备中，配备了多个作为半导体制造设备的气体供应设备。并且，在制造半导体元件的过程中，从每个气体供应设备供应的气体在制造过程中使用后，必须通过半导体排放管道排放到外部。在此，半导体排放管道与主排放管道21和子排气管道22相连，并且从每个子排气管道22分别连接到辅助的子排气管道23，而每个辅助的子排气管道23都与多个气体供应设备11至19相连。这样，从相互连接的多个气体供应设备11至19产生的排放气体通过各个子排气管道22,23经过主排放管道21排放到外部。但是，与主排放管道21相对较远的子排气管道23如果其内部的排放压力较低，那么从该位置的气体供应设备产生的排放气体移动到主排放管道21的过程可能不会很顺畅。在这里，排放压力可以基于大气压来表示，表示比大气压低或高多少，这也称为压差。因此，通过在与子排气管道23相连的每个气体供应设备11至19的上部分别安装阀门，并监控这些阀门的当前压差，根据监控到的当前压差增加或减少，可以在该阀门中保持用户所需的当前排放压力。

2、但是传统技术中，当调整阀门的当前压差时，工人需要手动旋转放置在阀门内的旋转板来调整阀门的当前压差。这样，手动操作安装在众多气体供应设备11至19上的每一个阀门是非常低效的。尽管已经开发了自动调整阀门压差的技术，但根据自动操作旋转板的驱动装置例如：驱动电机)在排放气体通过的阀门环境中可能存在爆炸的风险。因此，为了在排放气体通过的阀门环境中排除爆炸的风险并安装驱动装置，需要投入大量成本来配备特殊的安全设施。因此，需要一种技术，不仅可以通过气压自动调整半导体排放管道的当前压差，而且还可以防止爆炸的风险，从而解决上述传统技术的问题。

技术实现思路

1、本发明是考虑到上述问题而提出的。本发明的目的是提供一种半导体排放管道的自动压差维持装置，该装置可以自动地在用户设置的范围内通过阀门维持从半导体制造设备产生的排放气体的当前压差。此外，本发明的目的是提供一种半导体排放管道的自动压差维持装置，该装置在通过移动阀门的旋转板调整半导体排放管道的当前压差时，可以防止由于旋转板的驱动而产生的爆炸风险。还有，本发明的目的是提供一种半导体排放管道的自动压差维持装置，该装置在通过移动阀门的旋转板调整半导体排放管道的当前压差时，可以将旋转板的旋转角度调整到所需的角度。

2、为了实现上述目的，本发明在配备有多个半导体制造设备和与半导体制造设备连通的半导体排放管道的半导体制造设备中，该排放管道将从半导体制造设备排放的气体排放到外部，提供了一种装置，该装置通过阀门自动维持半导体排放管道内的压差。具体来说，该装置包括：

3、一个阀门主体，它是一个空心的管状结构，用于将从半导体制造设备排放的气体传输到半导体排放管道；

4、一个旋转盘，它插入到阀门主体内部并与阀门主体的内壁接触，通过旋转来调整阀门主体内部的气体流动路径；

5、一个轴，它连接到旋转板并穿透阀门主体，从阀门主体的内部延伸到外部，并通过外部力量旋转来驱动旋转板；

6、一个执行器，它连接到轴的一端，并通过外部提供的气压操作，根据阀门的开放模式或关闭模式来旋转轴；

7、一个开放路径气阀，它通过外部的气压操作来驱动执行器，使其对应于阀门的开放模式；

8、一个关闭路径气阀，它通过外部的气压操作来驱动执行器，使其对应于阀门的关闭模式；

9、一个开放路径电磁阀，当当前的压差低于用户设定的目标范围的下限时，它会切换到与阀门的开放模式相对应，并控制开放路径电磁阀的开关多次连续切换；

10、一个关闭路径电磁阀，当当前的压差超过用户设定的目标范围的上限时，它会切换到与阀门的关闭模式相对应。

11、此外，当当前的压差低于用户设定的目标范围的下限时，开放路径电磁阀的切换会被多次连续控制，而当当前的压差超过用户设定的目标范围的上限时，可以包括一个阀门信号控制部，该控制部控制与阀门关闭模式相对应的关闭路径电磁阀的切换，使其多次连续切换。另外，阀门信号控制部可以设置开放路径电磁阀在与阀门开放模式相对应时的每次连续切换之间的延迟时间逐渐缩短，并设置关闭路径电磁阀在与阀门关闭模式相对应时的每次连续切换之间的延迟时间逐渐缩短。

12、本发明的有益效果：

13、1.本发明通过开放路径气阀、关闭路径气阀、开放路径电磁阀和关闭路径电磁阀来驱动阀门的旋转板在顺时针/逆时针方向上旋转的执行器，不仅可以自动地在用户设置的范围内维持半导体排放管道的当前压差，而且还可以防止由于旋转板的驱动而产生的爆炸风险。

14、2.本发明通过多次连续切换开放路径电磁阀和关闭路径电磁阀，当调整半导体排放管道的当前压差时，还可以将旋转板的旋转角度调整到所需的角度。

技术特征：

1.一种半导体排放管道的自动压差维持装置，包括半导体制造设备(10)以及半导体排气管道(20)，其特征在于，所述半导体制造设备(10)连接有多个半导体制造设备(11-19)，且半导体制造设备(10)中排放的气体被排放到外部的半导体排气管道(20)中，所述半导体排气管道(20)安装在半导体制造设备(10)上，以界面方式连接上述的半导体制造设备(10)和半导体排气管道(20)，所述半导体制造设备(10)到半导体排气管道(20)中传输的单位时间内的排放气体量进行调整，且自动维持上述半导体排气管道(20)内的压差：

2.根据权利要求1所述的一种半导体排放管道的自动压差维持装置，其特征在于，还包括阀门信号控制单元，所述阀门信号控制单元固定于半导体排气管道的自动压差维持装置中，当当前的压差根据用户操作输入的目标范围的下限值以下时，上述开放路径电磁阀(161)的切换被控制为连续地多次发生，并当当前的压差根据用户操作输入的目标范围的上限值超过时，所述关闭路径电磁阀(162)的切换被控制为连续地多次发生。

3.根据权利要求2所述的一种半导体排放管道的自动压差维持装置，其特征在于，所述开放路径电磁阀(161)针对所述阻尼器打开模式的每个延迟时间依次设置得很短，所述关闭路径电磁阀(162)针对所述阻尼器关闭模式的每个延迟时间依次设置得很短。

4.根据权利要求3所述的一种半导体排放管道的自动压差维持装置，其特征在于，所述半导体制造设备(10)还包括一个旋转角度指示器(180)，其连接到执行器(140)上并显示轴(130)的旋转角度。

技术总结
本发明涉及半导体制造设备。在多个半导体制造装置安装的状态下，从每个半导体制造装置产生的排气通过半导体排气管道排放到外部。本发明提供了一种能够有效地维持半导体排气管道内的差压的装置，利用大气压与从半导体制造装置到半导体排气管道的排气压力之间的差异产生的当前压差。当当前压差低于设定范围时，通过阻尼器将压差提高到设定范围；当当前压差超过设定范围时，通过阻尼器将压差降低到设定范围，从而自动维持半导体排气管道的压差。根据本发明，通过多次控制开放路径电磁阀和关闭路径电磁阀的切换，可以在调整半导体排气管道的当前压差时，将旋转板的旋转角度精确地调整到目标角度。

技术研发人员：李尚宇,安海月,金洪允
受保护的技术使用者：陕西艾迪斯工程技术研发有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/22