专利名称:E型应变梁及e型梁式压阻压力传感器的制作方法
本实用新型属于传感器制造领域。
本实用新型现有技术领域：
中的已有技术是1.隔离式压阻压力传感器，它是由抗腐蚀金属膜片、硅油和硅杯组成，其充硅油是一项复杂的技术，并且需要专门的设备。在金属膜和硅杯中充入硅油后，当传感器安装位置发生变化时，将会引起传感器零位变化；当传感器受到振动和温度变化影响时，将会发生信号漂移和性能变坏。2.悬臂梁式传感器，它是由受力膜片和硅悬臂梁组成，由于悬臂梁本身结构不稳定，所以传感器的稳定性和抗干扰的能力很差且悬臂很娇气、容易断裂。3.在粘贴应变式传感器中由于贴片本身的缺陷，因而传感器存在漂移、迟滞等缺点。
针对上述存在的问题，本实用新型的设计目的是设计一种结构简单、性能可靠、传感精度高的E型应变梁及E型梁式压阻压力传感器。
本实用新型的设计方案是一种E型应变梁，其特征是E型应变梁是由硅梁、玻璃环、矩形加厚玻璃片和惠斯登电桥组成；a所述的硅梁的两端烧结固支在玻璃环上并且在硅梁的中部烧结一矩形加厚玻璃片，硅梁主要用于按收外界压力信号，玻璃环主要用于支撑硅梁，加厚玻璃片主要用于使硅梁呈E字型，从而使应力集中在E字形的凹口段面上；b在由硅梁。玻璃环和矩形加厚玻璃片组成的E型梁的E型凹口段面上扩散有一组或多组惠斯登电桥，从而组成E型应变梁。当E型应变梁受到微小力而变形时，通过惠斯登电桥的变化就会产生一个大的信号输出。
一种E型梁式压阻压力传感器，它包括电缆、壳体帽、壳体、固定金丝和支撑环，其特征在于在壳体的端面上焊接一金属弹性膜片，金属弹性膜片通过支柱与固定在支撑环上的E型应变梁导通，金属弹性膜片一是用来隔断被测介质，保护E型应变梁(应变膜片)，二是用来接收外界压力变化，因为E型应变梁通过支柱与金属弹性膜片导通，当受外界压力，金属弹性膜片而产生变形时，通过支柱传递给E型应变梁，由于在E型应变梁的E型凹口的段面上(应力最集中段)扩散有惠斯登电桥，当给电桥供电，硅梁有微小变形时，电桥就会失去平衡，输出一个电压信号从而达到本设计的目的。
本实用新型与现有技术相比采用E型应变梁取代硅杯，它不仅结构简单、制造容易，而且成本低；而E型梁式压阻压力传感器，它克服了隔离式压阻压力传感器充油困难，制作工艺复杂、性能差、精度低等缺点，简化了传感器的结构，降低了成本；解决了悬臂梁式传感器中传感不稳定的缺点，克服了粘贴应变式传感器中的滞后、蠕度和漂移的缺点，具有结构简单、制造容易、工作性能可靠、传感精度高的特点。
图1是E型梁式压阻压力传感器的剖视图。
图2是E型应变梁的结构图。
实施例图2和图1是E型应变梁和E型梁式压阻压力传感器的一种实施例。
E型应变梁的实施首先将惠斯登电桥扩散在E型应变梁的E型凹口段面(12)上，再将玻璃环(10)和矩形加厚玻璃片(11)按照说明书第五部分及图2所示的位置，将硅梁(9)和玻璃环、矩形加厚玻璃片，采用热胀系数和硅接近的特种低熔点玻璃粉烧结即成。
E型梁式压阻压力传感器的实施首先将金属弹性膜片(1)焊接在壳体(6)的端面上，再将E型应变梁(3)固定在支撑环(4)上，支柱(2)采用粘接剂，一端与金属弹性膜片粘接，另一端与E型应变梁粘接，支撑环(4)通过螺纹旋接在壳体(6)内，电缆(8)穿过壳体帽(7)与金丝接线板(5)联接，最后将壳体帽(7)压入壳体的凹槽内既构成E型梁式压阻压力传感器。
权利要求
1.一种E型应变梁，其特征是E型应变梁(3)是由硅梁(9)、玻璃杯(10)、矩形加厚玻璃片(11)和惠斯登电桥(12)组成；a、所述的硅梁(9)的两端烧结固支在玻璃杯(10)上并且在硅梁的的中部烧结一矩形加厚玻璃片(11)；b、在由硅梁、玻璃杯和矩形加厚玻璃片组成的E型梁的E型凹口段面上扩散有一组或多组惠斯登电桥(12)，从而组成E型应变梁。
2.一种E型梁式压阻压力传感器，它包括电缆(8)、壳体帽(7)、壳体(6)、固定金丝接线板(5)和支撑环(4)，其特征在于在壳体(6)的端面上焊接一金属弹性膜片(1)，金属弹性膜片通过支柱(2)与固定在支撑环(4)上的E型应变梁(3)导通。
专利摘要
E型应变梁及E型梁式压阻压力传感器，其实质是E型应变梁是由硅梁、玻璃杯、矩形加厚玻璃片组成，而E型梁式压阻压力传感器是采用E型应变梁而实现的一种高精度传感器，它不仅结构简单、制造容易、而且成本低，更重要的是它具工作性能稳定可靠、传感迅速准确的特点。
文档编号G01D5/02GK87207602SQ87207602
公开日1988年2月3日 申请日期1987年5月1日
发明者朱胜志, 吕新华 申请人:宝鸡市秦岭晶体管厂导出引文BiBTeX, EndNote, RefMan