专利名称：垂直式探针卡的制作方法
技术领域：
本发明与探针卡有关，特别是指一种垂直式探针卡。
背景技术：
目前在测试覆晶式芯片(Flip chip)，或是具有高密度接点的芯片时，主要是利用垂直式探针卡(Vertical Probe Card)进行芯片的测试工作；垂直式探针卡所具有的各探针是概呈垂直状地电性连接于待测试芯片的接点以及测试机台，以使各探针用以传送测试讯号于测试机台与晶圆之间。
一般垂直式探针卡的结构，如图4所示，垂直式探针卡(60)包含有一电路板(61)、一导引机构(62)，以及多数探针(63)；电路板(61)底面具有若干呈凸起状的焊垫(64)，导引机构(62)设于对应电路板(61)底面的位置，各探针(63)以可移动的方式设于导引机构(62)内，各探针(63)的顶端位于对应电路板(61)的各焊垫(64)的位置下方，底端则朝导引机构(62)的外侧延伸；当探针卡(60)用于测试一芯片(图中未示)时，各探针(63)底端抵压于芯片的接点，同时由各探针(63)的弹性使探针(63)顶端抵接于各焊垫(64)，芯片即可与电路板(61)相互电性连接。
然而，当上述探针卡(60)的各探针(63)二端分别电性连接芯片与电路板(61)时，瞬间导通于探针(63)顶端与各焊垫(64)间的电流较高，常会使二者之间的温度过热，甚至是发出火花，让探针(63)顶端产生氧化层以及碳化现象，影响各探针(63)的导电性与增加电阻值；而且，探针卡在长时间使用后，探针卡(60)的组成构件较为容易产生破裂状况，探针卡的可靠度较低，使用寿命亦较短。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种垂直式探针卡，该探针卡所具有的各探针比较不会产生碳化现象，整体探针卡的导电性与可靠度较佳，使用寿命较长。
为实现上述目的，本发明提供的的垂直式探针卡包含有一电路板，该电路板的一表面设有多数呈凹陷状的导电槽，各该导电槽具有一环壁；一导引机构，该导引机构具有多数穿孔，该导引机构设于该电路板具有该等导电槽的表面；以及多数探针，各该探针具有一第一端以及一第二端；各该探针的第一端设于各该导电槽内，使各该探针抵接于该环壁，并且电性连接于该电路板，该第二端则穿设于该导引机构的穿孔。
其中该电路板具有一顶面、一底面，以及一自该底面朝该顶面凹入的定位部，该定位部内设有一固定件，该固定件的表面设有该等导电槽。
其中各该导电槽具有一端面，该环壁环设于该端面；各该导电槽的端面与环壁皆具有导电膜，并且与该电路板相互电性连接，该等导电槽的分布位置对应于一待测芯片的接点位置。
其中该导引机构具有相互堆栈的一上框体、一间隔件，以及一下框体，该等穿孔设于该上框体及该下框体。
其中该上框体设于该电路板内，该上框体的各穿孔位置对应于该电路板的各导电槽位置。
其中该导引机构具有相互堆栈的一上框体、一间隔件，以及一下框体，该等穿孔设于该上框体及该下框体，该导引机构是以该上框体设于该电路板的定位部内。
其中该上框体的各穿孔位置对应于各该导电槽的位置。
其中各该探针具有一体成形的一直立段与一弹性段；该弹性段呈弯曲状，该第一端形成于该直立段，该第二端形成于该弹性段。
其中各该导电槽具有一端面，该环壁环设于该端面，该第一端与该端面相隔预定距离。
图1为本发明一较佳实施例的剖面示意图；图2为本发明一较佳实施例的局部示意图；以及图3类同于图2，主要显示探针抵接于导电槽的端面的状况；图4为公知的垂直式探针卡的剖面示意图。
具体实施例方式
以下配合附图举一较佳实施例，用以对本发明的结构与功效做进一步说明请参阅图1及图2所示，为本发明一较佳实施例所提供的垂直式探针卡，探针卡(10)包含有一电路板(20)、一导引机构(30)，以及多数探针(40)；电路板(20)具有一顶面(21)、一底面(22)，以及一自底面(22)朝顶面(21)凹入的定位部(23)，定位部(23)内设有一固定件(24)，固定件(24)的表面设有多数导电槽(25)，各该导电槽(25)凹陷于固定件(24)，进而形成出一端面(26)以及一环壁(27)；各导电槽(25)的端面(26)以及环壁(27)皆具有导电膜，并且与电路板(20)相互电性连接，该等导电槽(25)的分布位置对应于一待测芯片(图中未示)的接点位置。
该导引机构(30)具有相互堆栈的一上框体(31)、一间隔件(32)，以及一下框体(33)；上框体(31)与下框体(33)皆以陶瓷材质制成，上框体(31)与下框体(33)分别具有多数呈贯穿状的穿孔(34、35)，导引机构(30)是以上框体(31)设于电路板(20)的定位部(23)内，且上框体(31)的各穿孔(34)位置对应于电路板(20)的各导电槽(25)。
各该探针(40)是以导电材质制成，各探针(40)设有一体成形的一直立段(41)与一弹性段(42)；弹性段(42)呈弯曲状，直立段(41)形成出一第一端(43)，弹性段(42)形成出一第二端(44)，各探针(40)的直立段(41)设于导引机构(30)的上框体(31)的穿孔(34)，使第一端(43)凸出上框体(31)，并且嵌设于电路板(20)的各导电槽(25)内；第一端(43)的外周抵接于环壁(27)，使各探针(40)电性连接于电路板(20)，而第一端(43)另与导电槽(25)的端面(26)相隔预定距离；各探针(40)的弹性段(42)则自直立段(41)朝下框体(33)延伸，并穿设于下框体(33)的穿孔(34)，使第二端(44)凸出于下框体(33)。
经由上述说明，由于各探针(40)的第一端(43)是直接抵接于导电槽(25)的环壁(27)，使各探针(40)与电路板(20)之间随时皆呈电性导通状态，当探针卡(10)用于测试芯片，且将各探针(40)的第二端(44)抵压于芯片的接点时，探针(40)的第一端(43)与电路板(20)即可由导电槽(25)而使电流导通于二者之间，电流不会于瞬间传导于第一端(43)与电路板(20)，因而在探针(40)与电路板(20)之间的温度较低，探针(40)的第一端(43)也就不会产生碳化现象；另外，如图2所示，当各探针(40)的第二端(44)抵压于芯片时，探针(40)的第一端(43)可因受力而朝导电槽(25)的端面(26)方向滑移，甚至如图3所示地，使第一端(43)抵接于端面(26)，由此让探针卡(10)所具有的各探针(40)皆可抵接于芯片的各接点。
因为各探针(40)与电路板(20)之间不会产生碳化现象，所以各探针(40)所可负荷的电流值较高，而且，各探针(40)的第一端(43)是以外周面与导电槽(25)的环壁(27)相互抵接，因此二者之间的接触面积较大，各探针(40)的阻值较小，导电性较佳，同时亦可应用于较高频率的测试工作；另外，由于导引机构(30)的上、下框体(31、33)是以陶瓷材料制成，其结构强度较佳，比较不会产生结构破裂的状况。
由此，本发明即可达到各探针较不会产生碳化现象，整体探针卡的导电性与可靠度较佳，以及使用寿命较长的目的。
权利要求
1.一种垂直式探针卡，包含有一电路板，该电路板的一表面设有多数呈凹陷状的导电槽，各该导电槽具有一环壁；一导引机构，该导引机构具有多数穿孔，该导引机构设于该电路板具有该等导电槽的表面；以及多数探针，各该探针具有一第一端以及一第二端；各该探针的第一端设于各该导电槽内，使各该探针抵接于该环壁，并且电性连接于该电路板，该第二端则穿设于该导引机构的穿孔。
2.依据权利要求1所述的垂直式探针卡，其特征在于，其中该电路板具有一顶面、一底面，以及一自该底面朝该顶面凹入的定位部，该定位部内设有一固定件，该固定件的表面设有该等导电槽。
3.依据权利要求1所述的垂直式探针卡，其特征在于，其中各该导电槽具有一端面，该环壁环设于该端面；各该导电槽的端面与环壁皆具有导电膜，并且与该电路板相互电性连接，该等导电槽的分布位置对应于一待测芯片的接点位置。
4.依据权利要求1所述的垂直式探针卡，其特征在于，其中该导引机构具有相互堆栈的一上框体、一间隔件，以及一下框体，该等穿孔设于该上框体及该下框体。
5.依据权利要求4所述的垂直式探针卡，其特征在于，其中该上框体设于该电路板内，该上框体的各穿孔位置对应于该电路板的各导电槽位置。
6.依据权利要求2所述的垂直式探针卡，其特征在于，其中该导引机构具有相互堆栈的一上框体、一间隔件，以及一下框体，该等穿孔设于该上框体及该下框体，该导引机构是以该上框体设于该电路板的定位部内。
7.依据权利要求6所述的垂直式探针卡，其特征在于，其中该上框体的各穿孔位置对应于各该导电槽的位置。
8.依据权利要求1所述的垂直式探针卡，其特征在于，其中各该探针具有一体成形的一直立段与一弹性段；该弹性段呈弯曲状，该第一端形成于该直立段，该第二端形成于该弹性段。
9.依据权利要求8所述的垂直式探针卡，其特征在于，其中各该导电槽具有一端面，该环壁环设于该端面，该第一端与该端面相隔预定距离。
全文摘要
一种垂直式探针卡，包含有一电路板、一导引机构，以及多数探针；电路板的一表面设有多数呈凹陷状的导电槽，各导电槽具有一环壁，导引机构具有多数穿孔，导引机构设于电路板具有导电槽的表面，而各探针具有一第一端以及一第二端；第一端设于导电槽内，使探针抵接于环壁，并且电性连接于电路板，第二端则穿设于导引机构的穿孔。
文档编号G01R31/28GK1912634SQ20051009141
公开日2007年2月14日 申请日期2005年8月10日 优先权日2005年8月10日
发明者卢笙丰 申请人:采钰科技股份有限公司