高度传感系统及飞行高度调节方法

文档序号:6127925阅读:178来源:国知局
专利名称:高度传感系统及飞行高度调节方法
技术领域
本发明涉及一种信息记录^兹盘驱动装置,尤其涉及-兹盘驱动装置中的高度传感系统(Altitude sensing system)和/或飞行高度调节方法。
技术背景一种常见的信息存储设备是磁盘驱动系统,其使用磁性媒介来存储数据以 及设置于该磁性媒介上方的可移动读写头来选择性地从磁性媒介上读取数据或 将数据写在磁性媒介上。消费者总是希望这类磁盘驱动系统的存储容量不断增加,同时希望其读写 速度更快更精确。因此磁盘制造商一直致力于开发具有较高存储容量的磁盘系 统,比如通过减少磁盘上的磁轨宽度或磁轨间距的方式增加磁轨的密度,进而 间接增加磁盘的存储容量。然而,随着磁轨密度的增加,对读写头的位置控制 精度也必须相应的提高,以便在高密度磁盘中实现更快更精确的读写操作。随 着磁轨密度的增加,使用传统技术来实现更快更精确将读写头定位于磁盘上适 当的磁轨变得更加困难。因此,磁盘制造商一直寻找提高对读写头位置控制的 方式,以便利用不断增加的磁轨密度所带来的益处。^磁盘制造商经常使用的一种提高读写头在高密度盘上位置控制精度的方法 为采用第二个驱动器,也叫微致动器。该微致动器与一个主驱动器配合共同实 现对读写头的定位精度及速度进行控制。包含微致动器的磁盘系统被称为双驱 动器系统。在过去曾经开发出许多用于提高存取速度及读写头在高密度磁盘的磁轨上 定位精度的双驱动器系统。这种双驱动器系统通常包括一主音圈马达驱动器及一副微致动器,比如压电微致动器。该音圏马达驱动器由伺服控制系统控制, 该伺服控制系统导致驱动臂旋转,该驱动臂上承载读写头以便将读写头定位于 存储盘上适当的磁轨上。压电微致动器与音圏马达驱动器配合使用共同提高存 取速度及实现读写头在磁轨上位置的微调。音圏马达驱动器对读写头的位置粗 调,而压电微致动器对读写头相对于磁盘的位置的精调。通过两个驱动器的配 合,共同实现数据在存储盘上高效而精确的读写操作。一种已知的微致动器依靠压电元件实现对读写头位置的微调。该压电微致 动器具有相关的电子装置,该电子装置可导致微致动器上的压电元件选择性的 收缩或扩张。当对压电元件施加适当电压时,所述压电元件产生收缩或扩张动 作,进而引起读写头的运动。相对于仅仅使用音圈马达驱动器的磁盘系统,该 读写头的运动可以实现对读写头位置更快更精确的调整。许多公开文献例如日本专利第2002-133803号、美国专利第6671131号以及第6700749号、美国专 利公开第2003/0168935号揭露了这类范例性的压电孩i致动器,请将上述每个专 利的内容并入作为本发明的参考。图la为传统的磁盘驱动装置,磁盘101安装在主轴马达102上并由其旋转。 音圈马达臂104上负载有磁头折片组合(HGA, head gimbal assembly)。所述 磁头折片组合包括微致动器105和安装有读写头103的磁头。音圈马达(VCM, voice-coil motor )控制所述音圏马达臂104的运动,进而控制所述磁头在所述 J兹盘l01的表面上的-兹轨之间的移动,最终实现所述读写头l03在所述石兹盘1 Ol上 数据的读写。由于所述音圈马达和i兹头悬臂组合的固有容差(例如动态余隙(dynamic play)),所述磁头不能实现快速精确的位置调整,因此在只使用一个伺服马达 系统的情况下,会对所述读写头在所述磁盘上的读写能力产生不利影响。于是, 如上所述,采用压电微致动器105以改善所述磁头和所述读写头103的位置控制。更详细地,与所述音圏马达相比,所述压电微致动器105以较小的幅度调整所述 磁头的位移以抵消所述音圈马达和/或磁头悬臂组合的共振容差(resonance tolerance )。所述微致动器的采用带来很多益处,例如,使较小磁轨间距的使用成为可能。所述微致动器能增加所述磁盘驱动装置中单位长度内的磁轨(TPI,tracks-per-inch)数量,也能有利地缩短所述磁头的寻轨和定轨时间。因此,所述压电微致动器使所述磁盘驱动装置内的信息存储磁盘的表面记录密度显著增长。上述改进着重于精确调整磁头的水平位移以适应磁盘驱动容量的快速增 长。相似地,容量的快速增长也要求以越来越高的灵敏度来控制磁头飞行于磁 性媒介上方的高度。因此,在磁头折片组合的悬臂件凸起与挠性件之间设置了 加速度传感器和/或压力传感器,该技术揭露于许多文献如日本专利第 2005-093055号中,请将所述专利的全部内容并入作为本发明的参考。当磁头飞 行高度变化时,所述加速度传感器和/或压电传感器将会4果测所述凸起与所述挠 性件之间的压力并产生相应的电压。根据此电压信号,所述伺服器将对飞行高 度的变化做出调整和/或补偿。图lb是现有技术中用于探测飞行高度的传感器。加速度传感器或压力传感 器115是一种层叠结构,位于负载杆111上的凸起112与磁头100之间。所述传感 器115包4舌一个压电晶体层(piezoelectric crystal layer) 119。第一、第二 导电层118、 120位于所述压电晶体层119的两侧。第一绝缘层117位于所述第一 导电层118和金属层116 (所述金属层116可能触碰所述凸起112)之间。第二绝 缘层121可位于所述第二导电层120和所述磁头100之间。当发生磁头磁盘相互 作用(HDI, Head-Disk Interference)时,所述加速度传感器或压力传感器115 将会受到压力,从而产生几毫伏的电压差。基于所述电压信号,所述伺服器将 调整和/或补偿飞行高度。然而,这种技术存在一些缺陷。例如,由于所述加速度传感器或压力传感 器115尺寸的限制,其对飞行高度的敏感度也受到限制。其次,当外界条件变化 时,敏感度不断变化。因此,当高度改变时,高度测量敏感度也变化,这就使 伺服控制系统很难判断是高度变化还是高度测量敏感度变化。此外,现有技术 在悬臂件挠性件和凸起(dimple)之间提供压电元件,这在凸起和挠性件相互 作用(例如,当撞击或振动发生等)的情况下会很容易损坏压电元件。这种相互作用会产生碎片或者微粒,该碎片或微粒会污染磁头磁盘界面并影响磁头读 写功能。从长远来看,这些缺陷会影响^兹盘驱动装置的稳定性。另外,所述传 感器的生产过程很复杂并且耗费高。因此,提供一种改进的高度传感系统和/或飞行高度调节方法以克服上述缺 陷十分必要。发明内容本发明的目的之一是提供一种传感器单元,所述传感器能够提供磁盘上方 的磁头的飞行高度数据本发明的另一目的在于提供一种传感器单元,所述传感器单元无需安装在 支撑臂的凸起与挠性件之间。本发明的再一目的是提供一种传感器,所述传感器能安装在邻近磁盘边缘,或邻近挠性线缆(flex cable),或音圏马达臂顶端,或音圏马达臂侧面等位置。 为实现上述目的,本发明提供了一种高度传感器,所述高度传感器能探测 系统的部件产生的气流风力。其包括一个可响应所述气流风力(air flow windage)而移动的杆、至少一个可设置于所述杆的表面的压电层、以及至少一 个可连接到所述至少一个压电层的连接触点。所述至少一个压电层可根据所述 杆的运动而产生电压。所述至少一个连接触点可输出所述电压。所述气流风力 与高度相关。本发明提供了一种用于磁盘驱动器中的高度传感器。其包括可响应所述气 流风力而移动的杆、至少一个可设置于所述杆的表面的压电层、以及至少一个 可连接到所述至少一个压电层的连接触点。所述至少一个压电层可根据所述杆 的运动而产生电压。所述至少一个连接触点可输出所述电压。本发明提供了 一种磁盘驱动器。所述磁盘驱动器包括磁头折片组合和连接 到所述磁头折片组合的驱动臂。所述磁头折片组合包括装有读写头的磁头。所 述磁盘驱动器还包括磁盘。旋转马达用于驱动所述磁盘旋转。当所述磁盘旋转 时,所述磁盘可以产生气流。所述磁盘驱动器还包括高度传感器。所述高度传感器包4舌可响应所述气流风力而移动的4干、至少一个可" 殳置于所述杆的表面的 压电层、以及至少一个可连接到所述至少一个压电层的连接触点。所述至少一 个压电层可根据所述杆的运动而产生电压。所述至少一个连接触点可输出所述 电压。本发明提供了一种用以确定飞行在磁盘上方的读写头的动态飞行高度的方 法。其中旋转磁盘产生的气流产生一个信号。所述信号可至少部分通过读写头 的高度而与动态飞行高度相关联。可选地,所述信号和所述飞行高度可使用快速傅立叶变换算法(FFT, Fast Fourier Transform)相关联。可选地,所述动态 飞行高度可至少部分基于所述高度而产生变化。为详细说明本发明的技术内容、构造特征、所达目的及效果,以下结合实 施例并配合附图详细予以-沈明。


图la为传统》兹盘驱动器的部分立体图; 图lb展示了现有探测飞行高度的传感器;图2a是本发明具有飞行高度传感器的硬盘驱动器的一个示范性实施例; 图2b是图2a所示的本发明连接件的一个实施例的详细图; 图3a是本发明传感器单元一个示范性实施例的详细分解图; 图3b是图3a所示的、本发明传感器单元一个实施例组装后的示意图; 图3c展示了图3a和图3b所示高度传感器的工作原理; 图3d是图3a-3c所示的第一移动杆的一个实施例的侧视图; 图3e是图3a-3c所示的第二移动杆的一个实施例的侧视图; 图4a和4b展示了本发明测试数据的一个示范性实施例; 图5a展示了本发明描述传感器输出和高度的关系的一个示范性实施例的仿 真图;图5b是本发明描述磁头飞行高度和高度的关系的一个示范性实施例的另一 个仿真图,;图6a是本发明使用高度传感器来调整磁头飞行高度的方法的一个示范性实施例的流程图;图6b是本发明计算调整飞行高度的方法的一个示范性实施例的流程图; 图7展示了本发明水平放置的高度传感器的另 一个示范性实施例; 图8a展示了本发明安装于音圈马达臂的顶部的高度传感器的另一个示范性 实施例;图8b是图8a所示音圈马达臂的详细图;以及图9为本发明安装于音圏马达臂的侧边的传感器单元的再一个实施例。
具体实施方式
本发明的一个实施例在磁盘驱动装置的邻近磁盘边缘的一侧设置了 一个压 电型(PZT-type)压力传感器和/或高度传感器。当所述磁盘旋转时,由所述磁 盘产生的气流将会使所述传感器的压电元件变形。所述压电元件因所述变形产 生电压。这样就发生一个可补偿高度变化(例如,在较高的高度时,所述磁盘 驱动装置内的空气将会变得稀薄,空气阻力也将减小,这样会减小所述磁盘驱 动装置的阻尼并引起旋转的主频随着所述高度增加而变化,所有这些变化会作 用于所述传感器并被所述传感器探测到)的校准动作。同时,所述传感器的压 电元件的输出敏感度会随着所述高度的变化而变化。所述压电元件探测到所述 高度后,伺服马达会根据所述高度信号来计算和/或调整读写头的动态飞行高 度。图2a是本发明具有飞行高度传感器的硬盘驱动器的一个示范性实施例。所 述硬盘驱动器包括底板201和用于控制磁头悬臂组合(HSA, head stack assembly ) 203的音圈马达(VCM, voice-coi 1 motor ) 202。主轴马达205旋转 着一个或多个磁盘204。连接件206电性连接所述HSA 203的挠性线缆(flex cable) 212以及印刷电路板组合(PCBA, printed circuit board assembly)(图未示)。 一个用于探测外界环境高度的高度传感器209也可连接到所述连接 件2 06上。图2b是图2a所示连接件206的一个示范性实施例的详细图。所述连接件 206包括连接件支撑装置(connector su卯ort ) 211。所述连接件支撑装置211 可由聚合物、尼龙等制成。所述连4秦^1^支撑装置211收容所述挠性线缆212。所 述连接件支撑装置211在其顶端上或顶端附近处i殳有侧臂(side wall) 214。 多个连接件触点(connector pad) 217通过导线连接到所述挠性线缆212上。 所述高度传感器209至少局部安装在所述连接件支撑装置211的边缘上并邻近 所述侧臂214的一端。当所述主轴马达驱动所述》兹盘旋转时,所述》兹盘驱动器 侧面的气流能够被所述高度传感器209探测到,因此这样安排所述高度传感器 209与所述连接件206是非常有利的。所述高度传感器209可连接到连接触点 215上。多个针脚(pin)焊接到所述连接件触点215、 217上以将所述连接触点 215、 217连接到印刷电路板组合上。图3a是本发明传感器单元一个示范性实施例的详细分解图。传感器单元包 括顶盖(top cover ) 301和底座(bottom support ) 305。所述顶盖301包括一 个框架(frame) 302a和两个杆(beam) 303。所述底座305包括一个框架30^ 和一个移动杆(moving beam) 307。所述移动杆307具有一个压电层和一个基 层。所述压电层的压电元件一端设有两个触点309以实现电性连接。图3b是图 3a的传感器单元组装后的一个示范性实施例的示意图。图3c展示了图3a和图3b所示传感器的工作原理。当外力、气流、风力(如 图3c中箭头所示)等施加到所述传感器单元上时,所述移动杆309将会变形。 由于所述移动杆309的表面上设有所述压电层,因此当所述移动杆309变形时 所述压电元件将会输出电压信号。图3d是图3a - 3c所示第一移动杆309的一个示范性实施例的侧^见图。移 动杆309具有一个基层(substrate) 307b。所述基层307b可由陶瓷(例如硅 或者氧化镁结构)、金属材料等制成。所述基层307b上设有压电层(PZT layer ) 307a。根据本发明的另一个示范性实施例,所述压电层307a可以是陶党压电 (ceramic PZT)晶体、薄膜压电(thin film PZT)晶体.或者其他材料如铅 镁铌-铅钛(PMN-Pt)晶体制成。图3e是图3a - 3c所示第二移动杆309 —个示范性实施例的側^L图。根椐 该实施例,所述移动杆309具有多层压电元件307a,,所述多层压电元件307a,夹 设有一个或多个电极层308。所述多层压电元件307a,可通过电极层308连接 在一起并/或连接到所述触点309上。图4a和4b展示了本发明测试数据的一个示范性实施例。当所述硬盘驱动 器工作时,所述传感器将会探测到气流并产生变形。所述变形将会产生信号输 出402 。所述传感器的信号输出的快速傅立叶变换(FFT, Fast Fourier Transform)形成曲线403、 404和405。所述曲线403, 404和405映射出信号 输出与高度的关系。所述曲线405对应于正常高度的情形。所述曲线403对应 于高于正常高度的情形。所述曲线404对应于一个更高的高度。可以理解除了 快速傅立叶变换外的其他变换都可以应用于本发明的示范性实施例。图5a是本发明仿真图的一个示范性实施例,描述了传感器输出和高度的关 系。从图中可以看出,传感器输出随着高度的增加而迅速线性递减。详细地, 与图中所示数据匹配的线性方程是y- - 0. 697X+62. 829。图5b是本发明一个示 范性实施例另一个仿真图,描述了磁头飞行高度和高度的关系。ID、 MD和0D线 分别代表磁头位于磁盘的内轨、中轨和外轨的数据。图5b展示了当外界高度变 化时,位于内径(ID, Inner Diameter )、中径(MD, Middle Diameter)和夕卜 径(OD, Outer Diameter)轨道处的磁头飞行高度也发生变化。作为一个实施 例,当外界高度从大约O变化到22.97千英尺时,位于MD轨道处的磁头飞行高 度大约下降3.5纳米。磁头飞行高度变化时,系统将会做出补偿或者调整。否 则,这种变化将导致由磁头触碰磁盘产生的对磁头磁盘界面的损害。图6a是本发明使用高度传感器来调整磁头飞行高度的方法的一个示范性实 施例的典型流程图。步骤S602:通过例如对传感器数据进行快速傅立叶变换算 法来确定以海平面(sea level)为基准的输出来校准(calibrate)所述传感器, 步骤S604:控制磁头读写过程和动态飞行高度(DFH, dynamic fly height )。 步骤S606:对传感器数据进行实时快速傅立叶变换。步骤S608:确定输出是否变化。如杲没有变化,转步骤S610,进行下一次探测。如果输出变化了,则进 行步骤S612:进行伺服计算,并且该流程将会返回到步骤S604 (即控制磁头读 写过程和动态飞行高度)。图6b是本发明计算调整飞行高度的方法一个示范性实施例的典型流程图。 步骤S622:使用最佳匹配方程估测高度,所述最佳匹配方程可用实验方法获得。 步骤S624:对每个特定设计(particular design)的、相对于硬盘驱动器中每 一个磁盘的飞行高度变化进行估测。步骤S626:对应于上述估测,使用动态飞 行高度的伺服控制来调整相对于磁盘的飞行高度。步骤S628:使用快速傅立叶 变换算法处理所述传感器数据并确定变化的发生。如果变化是期望发生的,那 么流程结束。如果变化是不期望发生的,进行步骤S630,进行祠服计算,然后 返回到步骤S622 (例如,重新估测高度等)。在本发明的一个可选实施例中,高度传感器701可如图7所示水平放置。 使用所述构造时移动杆307也应水平放置。可选地,或者附加地,本发明可叠 层安装多个高度传感器(如每个磁盘可安装一个高度传感器)。为避免混淆在此 不再描述图7中其他元件。在本发明的另一个实施例中,如图8a所示,高度传感器可安装于音圈马达 臂的上表面。所述高度传感器801将探测所述磁盘表面的气流并以上述实施例 描述的相同方式产生信号。图8b是图8a所示臂的详细图。可选地,或附加地,高度传感器可安装在磁头悬臂组合的每个臂的顶端。图9为本发明的再一个实施例,其中高度传感器901安装于音圏马达臂的 侧边。详细地,高度传感器901位于臂上邻近前置放大器的一侧。挠性线缆的 导线(图未示)可用于把传感器电性连接到伺服控制器。可理解地,上述的仿真和实验数据仅为本发明的一些实施例。其他仿真和/ 或实验数据可产生不同的结果。该结果可潜在地影响最佳匹配方程(例如,系 数、线性度等)以及高度。的确,其他实验也可产生更适合图7-9所描述的示 范性实施例的数据和/或最佳比配方程。可理解地,任何型号的压电元件都适用于上述示范性实施例。作为本发明的不受局限的实施例,所述压电元件可以是陶资压电元件、薄膜压电元件、铅 镁铌-铅钛压电元件等。尽管本发明是借助安装在磁盘驱动器内的传感器来描述上述示范性实施 例,但本发明并不受此局限。例如,本发明的另一实施例可为需要4笨测风力和/ 或确定相关高度和/或高度变化的产业或领域的装置和/或系统提供高度传感 器。在上述实施例中,高度传感器可安装在邻近风力区域处,和/或位于侧臂(side wall)上以^f更把风力的气流引导到传感器的一端。以上披露的仅为本发明的较佳实施例而已,当然不能由此来限定本发明之 权利范围。因此依本发明专利申请范围所作的同等变化仍述本发明所涵盖的范 围。
权利要求
1. 一种用来探测由系统部件产生的气流风力的高度传感器,包括可响应所述气流风力而移动的杆;至少一个形成于所述杆表面上的压电层,所述至少一个压电层可根据所述杆的运动产生电压;以及至少一个可连接到所述至少一个压电层的连接触点,所述至少一个连接触点适于输出所述电压,其中所述气流风力与高度相关。
2. 如权利要求1所述的高度传感器,其特征在于所述高度传感器还包 括一个电连接层和位于所述电连接层周围的两个压电层,所述电连接层与所述 至少 一个连接触点相连接。
3. 如权利要求1所述的高度传感器,其特征在于所述杆包括由陶瓷和/ 或金属构成的基底层。
4. 如权利要求1所述的高度传感器,其特征在于所述高度传感器还包括具有一个框架和两个支撑杆的顶盖;以及 具有框架的底座,其中所述杆位于所述底座上和/或者连接到所述底座上。
5. —种用于磁盘驱动装置中的高度传感器,包括 可响应所述气流风力而移动的杆;至少一个形成于所述杆表面上的压电层,所述至少一个压电层可^4居所述杆的运动产生电压;以及至少一个可连接到所述至少一个压电层的连接触点,所述至少一个连接触点适于输出所述电压。
6. 如权利要求5所述的高度传感器,其特征在于所述高度传感器还包 括一个电连接层和位于所述电连接层周围的两个压电层,所述电连接层与所述 至少一个连接触点相连接。
7. 如权利要求5所述的高度传感器,其特征在于所述杆包括由陶瓷和/ 或金属构成的基底层。
8. 如权利要求5所述的高度传感器,其特征在于所述高度传感器还包括具有一个框架和两个支撑杆的顶盖;以及 具有框架的底座;其中所述杆位于所述底座上和/或者连接到所述底座上。
9. 如权利要求5所述的高度传感器,其特征在于所述高度传感器还包 括一个处理器,所述处理器确定位于既定高度的磁盘上的磁头的飞行高度、以 及磁盘上的磁头的动态飞行高度,并根据飞行高度和动态飞行高度的差值而确 定调整量。
10. —种》兹盘驱动器,包括^ 兹头折片组合,所述磁头折片组合包括具有读写头的磁头;连接所述磁头折片组合的驱动臂;磁盘;用于旋转所述^f兹盘的旋转马达,当所述^ 兹盘旋转时,所述》兹盘产生气流;以及用于进行磁头飞行高度调整的高度传感器;其中,所述高度传感器包括可响应所述气流风力而移动的杆;至少一个形成于所述杆表面上的压电层,所述至少一个压电层可根据所述杆的运动产生电压;以及至少一个可连接到所述至少一个压电层的连接触点,所述至少一个连接触点适于输出所述电压。
11. 如权利要求10所示的磁盘驱动器,其特征在于所述磁盘驱动器还 包括一个处理器,所述处理器确定位于既定高度的磁盘上的磁头的飞行高度、 以及磁盘上的磁头的动态飞行高度,并根据飞行高度和动态飞行高度的差值而 确定调整量。
12. 如权利要求11所述的磁盘驱动器,其特征在于所述磁盘驱动器还 包括连接所述高度传感器和所述处理器的挠性线缆。
13. 如权利要求11所述的磁盘驱动器,其特征在于所述磁盘驱动器还 包括根据所述调整量来调整所述磁头的动态飞行高度的伺服马达。
14. 如权利要求11所述的磁盘驱动器,其特征在于所述处理器根据公 式计算高度,所述公式为y= - 0. 697x+62. 829,其中所述y表示以毫伏为单位 的传感器输出,所述x表示以千英尺为单位的高度。
15. 如权利要求10所述的磁盘驱动器,其特征在于所述高度传感器位 于邻近所述磁盘以及邻近所述驱动器一侧的位置。
16. 如权利要求10所述的磁盘驱动器,其特征在于所述高度传感器位 于所述磁头折片组合的顶端。
17. 如权利要求10所述的磁盘驱动器,其特征在于所述高度传感器位 于所述石兹头折片组合的 一侧。
18. —种用以确定飞行于^兹盘上方的读写头的动态飞行高度的方法,包括 如下步骤根据所述磁盘旋转形成的气流产生一个信号;至少部分基于所述读写头的高度将所述信号与动态飞行高度相关联。
19. 如权利要求18所述的方法,其特征在于所述信号与所述飞行高度 通过快速傅立叶变换算法相关联。
20. 如权利要求18所述的方法,其特征在于所述方法还包括根据公式 估测所述高度的步骤,所述公式是y- - 0. 697x+62. 829,其中所述y表示以毫 伏为单位的传感器输出,所述x表示以千英尺为单位的高度。
21. 如权利要求18所述的方法,其特征在于所述方法还包括至少部分 基于所述高度而改变所述动态飞行高度的步骤。
全文摘要
本发明公开了一种磁盘驱动装置中的高度传感系统和/或飞行高度调节方法。在本发明中,磁盘驱动装置的邻近磁盘边缘的一侧设置了一个压电型(PZT-type)压力传感器和/或高度传感器。当所述磁盘旋转时,由所述磁盘产生的气流将会使所述传感器的压电元件变形。所述压电元件对应所述变形产生电压。这样就发生一个可补偿高度变化(例如,在较高的高度时,所述磁盘驱动装置内的空气将会变得稀薄,空气阻力也将减小)的校准动作。同时,所述传感器的压电元件的输出敏感度会随着所述高度的变化而变化。所述压电元件探测到所述高度后,伺服马达会根据所述高度信号来计算和/或调整动态飞行高度(DFH)和/或读写头的飞行高度。
文档编号G01L9/08GK101261843SQ20071008772
公开日2008年9月10日 申请日期2007年3月7日 优先权日2007年3月7日
发明者姚明高, 雨 孙, 林 郭 申请人:新科实业有限公司
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