测试分选机中半导体器件的传送方法及装置的制作方法

专利名称：测试分选机中半导体器件的传送方法及装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种测试半导体器件的方法及装置。本发明尤其涉及一种在用 于测试半导体器件的测试分选机中传送半导体器件的方法及装置。
背景技术：
一般地，在测试半导体器件(诸如易失性或非易失性存储器、系统大规模 集成(LSI)器件等)的工作特性以后，会装运该半导体器件。
测试分选机将半导体器件传送到测试室中以测试该半导体器件。具体地， 半导体器件通过缓冲盘(buffer tray)从用户盘(customer tray)传送至测试盘 (testtray)。此外，已在该测试室中测试过的半导体器件通过缓冲盘从测试盘 传送至用户盘。
该测试分选机包括拾取器系统，其用于在该测试盘与该用户盘之间传送半 导体器件。第6,761,526号、第7,000,648号、第7,023,197号等美国专利揭露 了该拾取器系统的例子。
近来，为了縮短传送半导体器件所需的时间，该拾取器系统采用多个拾取 器。此外，该拾取器系统采用间距调节机构以使该拾取器之间的间距与该测试 盘的间距或该用户盘的间距相等。然而，由于该间距调节机构的重量随着拾取 器数量的增加而增加，縮短传送半导体器件所需时间有所限制。

发明内容
本发明的实施例提供了一种能够在用于测试半导体器件的测试分选机中， 增进所述半导体器件传送速度的半导体器件传送方法。
此外，本发明的实施例提供了一种能够在用于测试半导体器件的测试分选 机中，增进所述半导体器件传送速度的半导体器件传送装置。
根据本发明的一个方面的半导体器件传送方法中，在盘之间传送所述半导 体，所述盘具有多个用于收纳所述半导体器件的插槽。缓冲盘的行方向的x间距 与第一盘的行方向的x间距相等。将所述半导体器件从所述第一盘传送至具有
已调整X间距的所述缓冲盘。
本发明的一些实施例中，所述缓冲盘可包括以所述缓冲盘的列方向延伸的 多对单元缓冲盘。通过调节所述单元缓冲盘对之间的第一X间距、且调节所述 单元缓冲盘对中的第一单元缓冲盘与第二单元缓冲盘之间的第二X间距来调节 所述缓冲盘的X间距。
本发明的一些实施例中，各第一和第二单元缓冲盘可包括多个排成一列的 插槽。
本发明的一些实施例中，通过包括多个拾取器的拾取器系统将所述半导体 器件拾取出所述第一盘。将抓持所述半导体器件的所述拾取器移动至所述缓冲 盘的上方。然后，将所述半导体器件从所述拾取器收纳到所述缓冲盘中。在将
所述拾取器移动至所述缓冲盘上方的同时，使所述拾取器系统列方向的y间距 与所述缓冲盘列方向的y间距相等。
本发明的一些实施例中，所述拾取器系统包括以所述拾取器系统的行方向 延伸的多对拾取器单元。通过调节所述拾取器单元对之间的第一y间距、且调 节所述拾取器单元对中的第一拾取器单元与第二拾取器单元之间的第二y间距 来调节所述拾取器系统的y间距。
本发明的一些实施例中，所述缓冲盘包括多个单元缓冲盘。各所述单元缓 冲盘包括以多列方式排列的多个插槽。
本发明的一些实施例中，所述缓冲盘的x间距包括所述单元缓冲盘之间的 第一x间距、以及各所述单元缓冲盘的插槽之间的第二x间距。所述缓冲盘的 x间距可为所述单元缓冲盘之间的第一 x间距。使用包括多个以行和列方式排 列的拾取器的拾取器系统将所述半导体器件拾取出所述第一盘。所述拾取器系 统具有在所述拾取器系统行方向上与所述缓冲盘的第二 x间距不同的x间距。 将抓持所述半导体器件的所述拾取器移动至所述缓冲盘的上方。然后，在以步 进方式使所述拾取器以所述缓冲盘的行方向移动的同时，将所述半导体器件从 所述拾取器收纳到所述缓冲盘的插槽中。
本发明的一些实施例中，使所述缓冲盘的x间距与第二盘的行方向的x间 距相等。然后将所述半导体器件从所述缓冲盘传送至所述第二盘。
本发明的一些实施例中，使用以行和列方式排列的拾取器将所述半导体器 件拾取出所述第一盘。将抓持所述半导体器件的所述拾取器移动至所述缓冲盘 的上方。在以步进方式使所述缓冲盘以所述缓冲盘的列方向移动的同时，以一 次一行的方式依次将所述半导体器件收纳到所述缓冲盘中。
根据本发明的另一个方面的半导体器件传送装置中，在盘之间传送所述半
导体,所述盘具有多个用于收纳所述半导体器件的插槽。所述装置包括具有以行 和列方式排列的多个插槽的缓冲盘、连接至所述缓冲盘以调节所述缓冲盘的行
方向的X间距的传动部、以及将所述半导体器件从第一盘传送至所述缓冲盘的 拾取器系统。
本发明的一些实施例中，所述缓冲盘包括以所述缓冲盘的列方向延伸的多 对单元缓冲盘。所述传动部包括调节所述单元缓冲盘对之间的第一 X间距的第 一传动部，以及调节所述单元缓冲盘对中的第一单元缓冲盘与第二单元缓冲盘 之间的第二 X间距的第二传动部。
本发明的一些实施例中，所述第一传动部包括至少一个齿条；齿轮机构， 其包括至少一个与所述至少一个齿条啮合的输出齿轮；及与所述齿轮机构连接 以向所述齿轮机构提供旋转力的电动机单元。所述至少一个齿条使所述单元缓 冲盘对中的至少一对以所述缓冲盘的行方向移动以调节所述第一X间距。
本发明的一些实施例中，所述装置进一步包括连接至所述第一单元缓冲盘 的第一连杆，以及连接所述第二单元缓冲盘与所述第一连杆的第二连杆。所述 第一传动部连接至所述第一单元缓冲盘或所述第二单元缓冲盘。
本发明的一些实施例中，所述第二传动部连接至所述第一连杆或所述第二
连杆、并且向所述第一连杆或所述第二连杆施加传动力使所述第一单元缓冲盘 与所述第二单元缓冲盘间产生相对移动。
本发明的一些实施例中，所述拾取器系统包括用以拾取所述半导体器件的 以行和列方式排列的多个拾取器，以及使所述拾取器在所述第一盘与所述第二 盘之间移动的拾取器传送部。
本发明的一些实施例中，所述拾取器系统的行方向的X间距和列方向的y 间距与所述第一盘的行方向的x间距和列方向的y间距相等。
本发明的一些实施例中，所述拾取器系统包括拾取所述半导体器件的多对 拾取器单元，以及使所述拾取器单元对在所述第一盘与所述缓冲盘之间移动的 拾取器传送部。各所述拾取器单元对包括第一拾取器单元及第二拾取器单元。 各所述第一及第二拾取器单元包括多个拾取器以拾取所述半导体器件。所述拾 取器单元对以所述拾取器系统的列方向排列。
本发明的一些实施例中，所述拾取器系统进一步包括拾取器传动部，所述 传动部调节所述拾取器系统的列方向的y间距。
本发明的一些实施例中，所述拾取器传动部包括第一拾取器传动部，其调 节所述拾取器单元对之间的第一y间距；以及第二拾取器传动部，其调节所述
拾取器单元对中的第一拾取器单元与第二拾取器单元之间的第二y间距。
本发明的一些实施例中，所述第一拾取器传动部包括至少一个齿条，其连
接至所述拾取器单元对中的至少一对；齿轮机构，包括至少一个与所述至少一 个齿条啮合的输出齿轮；以及与所述齿轮机构连接以向所述齿轮机构提供旋转 力的电动机单元。所述至少一个齿条使得所述拾取器单元对中的至少一对以所述拾取器系统的列方向移动以调节所述第一y间距。
本发明的一些实施例中，所述拾取器系统包括连接至所述第一拾取器单元 的第一连杆，以及连接所述第二拾取器单元与所述第一连杆的第二连杆。所述 第一拾取器传动部连接至所述第一拾取器单元或所述第二拾取器单元。
本发明的一些实施例中，所述第二拾取器传动部连接至所述第一连杆或所 述第二连杆、并且向所述第一连杆或所述第二连杆施加传动力使所述第一拾取 器单元与所述第二拾取器单元间产生相对移动。
本发明的一些实施例中，所述装置进一步包括将所述半导体器件从所述缓 冲盘传送至第二盘的第二拾取器系统。
本发明的一些实施例中，所述第二拾取器系统包括用以拾取所述半导体器
件的以行和列方式排列的多个拾取器。所述第二拾取器系统的x间距及y间距 与所述第二盘的x间距及y间距相等。所述缓冲盘的y间距与所述第二盘的y 间距相等。
本发明的一些实施例中，所述缓冲盘包括以所述缓冲盘的列方向延伸的多 个单元缓冲盘。所述传动部包括提供旋转力的电动机单元；齿轮结构，其连接 至所述电动机单元并且包括至少一个输出齿轮；以及至少一个齿条，其与至少 一个所述单元缓冲盘连接并且与所述至少一个输出齿轮啮合以调节所述缓冲
盘的x间距。
根据本发明的实施例，通过第一及第二传动部使缓冲盘的x间距与测试盘 或用户盘的x间距相等。
从而，在传送半导体器件时无需调节第一及第二拾取器系统的x间距，以 此来缩短传送半导体器件所需的时间。此外，无需额外的装置来调节该第一及 第二拾取器系统的x间距，以此来减少该第一及第二拾取器系统的重量以及增 进测试分选机的结构稳定性。
此外，通过第一及第二拾取器传动部调节所述第一拾取器系统的y间距， 由此来縮短传送所述半导体器件所需的时间。


结合附图并参看以下的详细说明，将会清楚本发明的具体实施例，其中 图1为示出根据本发明实施例的半导体器件传送装置的示意图； 图2为示出用于调节图1缓冲盘的x间距的第一及第二传动部的立体图； 图3为示出图1中的缓冲盘的俯视图4为示出图2中的第一传动部的齿轮机构的立体图； 图5为示出图2中的第一传动部的齿轮机构的俯视图； 图6为示出图2中的第一传动部的第一电动机单元的仰视图7至9为示出该使用图2中的第一传动部及第二传动部来调节缓冲盘的
X间距的方法的俯视图IO为示出图1中的第一拾取器系统的立体图11为示出将半导体器件收纳到缓冲盘中的方法的示意图12为第一拾取器的另一实施例的俯视图13为示出图12中的第一拾取器系统的仰视图14为示出用于调节缓冲盘X间距的第一及第二传动部的另一实施例的
俯视图15为示出用于调节缓冲盘x间距的第一及第二传动部的再一实施例的 俯视图； -
图16为示出缓冲盘另一实施例的俯视图17为示出调节缓冲盘X间距的传动部的俯视图18及19为示出使用图16及17中的缓冲盘及传动部的半导体器件传送 方法的示意图20为示出调节缓冲盘的x间距的传动部的另一实施例的俯视图；并且 图21为示出调节缓冲盘的x间距的传动部的再一实施例的俯视图。
具体实施例方式
现参见示出本发明实施例的附图，详述本发明的实施例。然而，本发明可 以以许多不同的形式实现，并且不应解释为受在此提出的实施例的限制。更确 切地，提出这些实施例以达成全面及完整的公开，并且使本技术领域的技术人 员完全了解本发明的范围。类似的元件始终标以类似的附图标记。
应理解，当将元件称为在另一元件"之上"时，其可以为直接在该另一元 件之上，或者存在居于其中的元件。与此相反，当将元件称为"直接在(另一 元件)之上时，并不存在居于其中的元件。如本文中所使用的，术语"及/或"包 括一或多个相关的所列项目的任何或所有组合。
应理解，尽管本文中使用第一、第二等用语来描述各种元件、但这些元件 并受到这些用语的限制。这些用语仅用于将一个元件与另一个元件区别开来。 例如，第一薄膜可称为第二薄膜，并且类似地第二薄膜也可以成为第一薄膜， 而不脱离本发明的教导。
本文中所使用的术语仅用于描述特定的实施例，并且并不意欲限制本发 明。如本文中所述的，单数形式的冠词意欲包括复数形式，除非其上下文另有 明确表示。还应理解，当本说明书中使用表述"含有"或"包括"之时，明确说明 了存在有所描述的特征、区域、整体、步骤、操作、元件及/或组件，但并不排 除存在或附加一或多个其它特征、区域、整体、步骤、操作、元件、组件及/
或它们的组群。
另外，相对用语，如"下(lower)"、"底(bottom)"以及"上(upper)"或 "顶(top)"等，在本文中用来表述如图所示的一个元件与另一元件的关系。应 理解，这些相对用语除图中所示方位之外，还意欲涵盖该设备的不同方位。例 如，若某一图中的该设备翻转，描述为在其它元件之"下"侧的元件则会确定为 在其它元件的"上"侧。由此，该示例性的用语"下"可同时涵盖"下"与"上"两个 方位，取决于附图的特定方位。类似的，若某一图中的该设备翻转，描述为在 其它元件"下方"或"之下"的元件则会定位成在其它元件的"上方"。因此， 该示例性的用语"下方"或"之下"可以涵盖上方和下方两个方位。
除非另有定义，本文所使用的所有术语(包括科技术语)的含义与本技术 领域的技术人员所通常理解的一致。还应理解，诸如一般字典中所定义的术语 应解释为与相关技术领域中的含义一致，并且不应作理想化的或过度刻板的解
释，除非在文中另有明确定义。
本文中的本发明实施例是参照本发明的理想化实施例的示意剖视图来描 述的。照此，预期会产生例如因制造工艺及/或公差而造成形状上的变化。由此， 本发明的实施例不应解释为将其限制成本文所示的特定区域形状，还应包括例 如，因制造而导致的形状偏差。例如，示为或描述为平的区域一般可能为粗糙 或非线性的。此外，所示的锐角可圆角。由此，图中所示的区域是示意性的， 并且其形状并不意欲示出区域的精确形状，也不意欲限制本发明的范围。
图1为示出根据本发明实施例的半导体器件传送装置的示意图。
参见图1，用于测试半导体器件的测试分选机可采用根据本发明实施例的 半导体器件传送装置10。具体地，装置IO可用于在该测试分选机中的第一盘 与第二盘之间传送半导体器件，例如，用户盘12与测试盘14之间。
尽管图中未示，但装置10可包括可移动地置于用户盘12与测试盘14之 间的缓冲盘20，以及用于在用户盘12与测试盘14之间传送半导体器件的第一 拾取器系统30。此外，装置10可包括用于在缓冲盘20与用户盘12之间传送 半导体器件的第二拾取器系统40。
具体地，缓冲盘20以y-轴方向可移动地放置，并且第一拾取器系统30及 第二拾取器系统40以x-轴及y-轴方向可移动地放置。例如，缓冲盘20可通过 缓冲传送部22来移动，并且第一拾取器系统30及第二拾取器系统40分别通 过第一拾取器传送部32及第二拾取器传送部42来移动。
图2为示出第一及第二传动部的立体图，所述传动部用于调节图1的缓冲 盘20的x间距。图3为示出图l的缓冲盘20的俯视图。
参见图2及3，缓冲盘20的间距与测试盘14的间距或用户盘12的间距相
等o
缓冲盘20可包括多对单元缓冲盘22。各单元缓冲盘对22可包括第一单元 缓冲盘22a及第二单元缓冲盘22b。例如，缓冲盘20可包括四对单元缓冲盘22。
各第一及第二单元缓冲盘22a及22b具有多个排列成一列的插槽24以收纳 该半导体器件。第一单元缓冲盘22a与第二单元缓冲盘22b互相平行。例如， 如图3所示，各第一单元缓冲盘22a及第二单元缓冲盘22b可具有8个插槽24。 然而，第一单元缓冲盘22a及第二单元缓冲盘22b的插槽数量可按需变化。在 此，该多对单元缓冲盘22可以沿基本垂直于列方向(y轴方向)的行方向(x 轴方向)排列，即，第一单元缓冲盘22a及第二单元缓冲盘22b的延伸方向。
各第一单元缓冲盘22a及第二单元缓冲盘22b可放置在第一支架102a及第 二支架102b上。第一支架102a及第二支架102b可在第一单元缓冲盘22a及第 二单元缓冲盘22b的下方以缓冲盘20的列方向延伸。
第一连杆104a可连接至第一支架102a的端部，且第二连杆104b可连接至 第二支架102b的端部。此外，第二连杆104b可连接至与第一连杆104a。如图 2所示，第二连杆104b可连接至第一连杆104a的中央部。或者，可将第一连 杆104a的端部与第二连杆104b的端部互相连接。此外，第一连杆104a的端部 可连接至第二连杆104b的中央部。
可通过第一传动部110及第二传动部140来调节该缓冲盘20行方向的x 间距。具体地，该缓冲盘20的x间距可包括单元缓冲盘对22之间的第一x间 距pxl以及第一单元缓冲盘22a与第二单元缓冲盘22b之间的第二 x间距px2。 该第一x间距pxl及第二x间距px2分别由第一传动部IIO及第二传动部140 调节。第一传动部IIO及第二传动部140可放置于基板106上。
图4为示出图2第一传动部110的齿轮机构的立体图。图5为示出图2第 一传动部110的齿轮机构的俯视图。图6为示出图2第一传动部110的第一电 动机单元的仰视图。
参见图4至6，第一传动部110可包括齿轮机构112，所述齿轮机构112 包括至少一个可旋转放置于基板106的上表面的输出齿轮、多个与该输出齿轮 啮合的齿条120、以及与齿轮机构112连接以向该齿轮机构提供旋转力的第一 电动机单元122。
例如，四个齿条120a、 120b、 120c及120d的可放置于该基板106的上表 面上。该四个齿条120a、 120b、 120c及120d可与两个用作该输出齿轮的小齿 轮(pinion gear) 114a及114b啮合。具体地，第一小齿轮114a连接至第一电 动机单元122的传动轴124，且还可与相对的第一齿条120a与第二齿条120b 啮合。此外，第二小齿轮114b可与传动齿轮116啮合，所述传动齿轮连接至 第一电动机单元122的传动轴124，且还可与相对的第三齿条120c与第四齿条 120c啮合。
图7至9为示出该使用图2第一传动部110及第二传动部140调节缓冲盘 20x间距的方法的俯视图。
参见图7及8，第一齿条120a及第二齿条120b可通过第一支架102a及第 二支架102b连接至内侧的单元缓冲盘对22。第三齿条120c及第四齿条120d 可通过第一支架102a及第二支架102b连接至外侧的单元缓冲盘对22。具体地， 图7及8中位于缓冲盘20左侧的第一单元缓冲盘对22连接至第一齿条120a 及第四齿条120d。图7及8中位于缓冲盘20右侧的第二单元缓冲盘对22连接 至第二齿条120b及第三齿条120c。由此，如图8所示，通过旋转第一小齿轮 114a及第二小齿轮114b可使该第一及第二单元缓冲盘对相对与缓冲盘20的中 心点以相反的方向移动。
第一、第二、第三及第四齿条120a、 120b、 120c及120d通过第一支架102a 连接至第一单元缓冲盘22a。或者，第一、第二、第三及第四齿条120a、 120b、 120c及120d通过第二支架102b连接至第二单元缓冲盘22b。
尽管图中未示，可在基板106上设置多个导向部件，来以该缓冲盘20的 行方向对第一、第二、第三及第四齿条120a、 120b、 120c及120d进行导向。
第一小齿轮114a与第二小齿轮114b之间的转速比为1:3以使该第一单元 缓冲盘22a互相之间的间隔相等。具体地，第一小齿轮114a与第二小齿轮114b 的节圆小于传动齿轮116的节圆。该传动齿轮116的直径可为第二小齿轮114b 的直径的三倍，并且第一小齿轮114a的直径可以与第二小齿轮114b的直径基 本相同。从而，可通过旋转第一小齿轮114a及第二小齿轮114b来调节这些单 元缓冲盘22对之间的第一 x间距pxl。
同时，由于第一单元缓冲盘22a通过第一连杆104a及第二连杆104b连接 至第二单元缓冲盘22b，在调节第一x间距pxl的同时可均匀地保持第一单元 缓冲盘22a与第二单元缓冲盘22之间的第二 x间距px2。
如前所述，齿轮机构112包括两个小齿轮114a与114b以及四个齿条120a、 120b、 120c及120d。然而，齿轮机构112可包括三或多个转速不同的小齿轮， 并且第一传动部110可包括多个与这些小齿轮啮合的齿条。g卩，该小齿轮及齿 条的数量根据第一单元缓冲盘22a数量而变化。
此外，当缓冲盘20包括两对单元缓冲盘22时，第一传动部110可包括一 个小齿轮及两个齿条。
参见图6，传动杆124可穿过基板106，并且第一电动机单元122可置于 基板106的下表面上。第一电动机单元122可通过锥齿轮126与传动杆124连 接。或者，第一电动机单元122可与传动杆124直接连接。
再参见图7，基板106的上表面可放置至少一个以缓冲盘20的行方向延伸 的导向部件，来以该缓冲盘20的行方向(即，缓冲盘20的x间距方向)对第
一支架102a及第二支架102b进行导向。例如，第一导轨130a及第二导轨130b 可放置于基板106的上。第一导轨130a及第二导轨130b以该缓冲盘20的行方 向延伸。第一支架102a及102b通过第一球形滑块(ball block) 132a及第二球 形滑块132b连接至第一导轨130a及第二导轨130b。或者，可通过一根沿该行 方向的导轨来对第一支架102a及第二支架102b进行导向。
参见图8及9，第二传动部140可放置在基板106的上表面上，并且与该 第一连杆104a的端部连接。具体地，第二传动部140向第一连杆104a施加传 动力以调节第一单元缓冲盘22a与第二单元缓冲盘22之间的第二 x间距px2。 由此，可在第一单元缓冲盘22a与第二单元缓冲盘22b之间生成相对移动。
可通过该缓冲盘20行方向的导向部件对该第一连杆104a的端部进行导向。 例如，导向条142可邻近缓冲盘20，并且在基板106上以该缓冲盘20的行方 向延伸。导向条142可有以该缓冲盘20的行方向延伸的导槽144，并且导槽 144中可放置有多个滚轮(未示)。该第一连杆104a的端部连接至该滚轮。
导向条142的两个侧部通过第三球形滑块148a及第四球形滑块148b连接 至第三导轨146a及第四导轨146b，所述导轨在基板106上以该缓冲盘20的列 方向延伸。即，第二传动部140可通过该导向条142与该滚轮连接至该第一连 杆104a的端部。通过第二传动部140以该缓冲盘20的列方向来移动导向条142， 由此，第一连杆104a可绕位于该第一支架102a的端部的轴旋转，并且第二连 杆104b可绕位于第一连杆104a的中央部的轴旋转。从而，第二单元缓冲盘22b 可在该缓冲盘20的行方向(即，该缓冲盘20的x间距方向)上相对于第一单 元缓冲盘22a作相对移动。可通过调节导向条142的移动距离来调节缓冲盘20 的第二x间距px2。
如图7至9所示，调节第一 x间距pxl之后，对第二 x间距px2进行调节。 然而，调节第二x间距px2之后，可根据情况调节第一x间距pxl。
或者，可通过多个球形滑块与一个沿行方向的导轨对该第一连杆104a的端 部进行导向。例如，第五导轨可邻近缓冲盘20，并且多个第五球形滑块可移动 地连接至该第五导轨。该第一连杆104a的端部可连接至这些第五球形滑块。
第二传动部140可连接至基板106的上表面上的导向条142。具体地，第 二传动部140可包括第二电动机单元150、与第二电动机单元150的转动轴连 接的滚珠丝杠152、以及连接至导向条142的滚珠螺母154。滚珠丝杠152穿 过滚珠螺母154。可通过滚珠丝杠152及滚珠螺母154向导向条142施加第二 电动机单元150的旋转力。
或者，可有选择地将各种往复装置用作第二传动部140。例如，包括凸轮 及弹簧、气压缸或液压缸等的往复装置可用作第二传动部140。
尽管图中未示，由于第一传动部IIO及第二传动部140的齿隙，难以精确地执行该缓冲盘20的X间距调节。为了改善该X间距的调节精度，可通过多
个弹簧使第一单元缓冲盘22a与第二单元缓冲盘22b互相连接。例如，可通过 第一螺旋弹簧连接第一单元缓冲盘22a与第二单元缓冲盘22b。此外，置于缓 冲盘20 —侧的第一单元缓冲盘22a可通过第二螺旋弹簧互相连接，并且置于缓 冲盘20另一侧的第一单元缓冲盘22a可通过第三螺旋弹簧互相连接。 图IO为示出图1的第一拾取器系统30的立体图。
参见图10，第一拾取器系统30可包括多个以行和列方式排列的拾取器 202。拾取器202通过拾取器传送部32可移动地放置。尽管图中未示，拾取器 202用于利用真空力来拾取半导体器件。各拾取器202可配置为以垂直方向(即 z轴方向)移动。
具体地，第一拾取器系统30可包括多个拾取器单元200。各拾取器单元 200可包括多个以第一拾取器系统30的行方向放置的拾取器202。例如，各拾 取器单元200可包括以该行方向(x轴方向)延伸的托架204，并且拾取器202 可以沿该垂直方向安装在托架204上。
此外，第一拾取器系统30可包括第一拾取器底座206，拾取器单元200以 第一拾取器系统30的列方向(y轴方向)安装在其上。第一拾取器底206可连 接至第一拾取器传送部32。尽管图中未示，第一拾取器传送部32可配置为以 该x轴方向及该y轴方向移动。例如，第一拾取器传送部32可配置为使用线 性电动机、滚珠丝杠、球形滑块、直线运动导轨等。
第一拾取器系统30行方向上的x间距以及列方向上的y间距与测试盘14 行方向上的x间距以及列方向上的y间距相等。由此，第一拾取器系统30可 通过一次操作从测试盘14拾取出这些半导体器件。例如，第一拾取器系统30 可通过一次操作从测试盘14拾取出64个或32个半导体器件。
在拾取了这些半导体器件之后，可通过第一拾取器传送部32将拾取器22 移动至缓冲盘20的上方。在此，通过第一传动部110与第二传动部140使该 缓冲盘20的x间距与该测试盘14的x间距相等。
图11为示出将半导体器件收纳到缓冲盘20中之方法的示意图。
参见图ll，由于缓冲盘20的y间距与测试盘14的y间距不同，半导体器 件1一次一行地从第一拾取器系统30收纳到缓冲盘20中。具体地，缓冲盘可 以通过步进的方式在列方向(即y轴方向)上移动。当缓冲盘20以步进方式 移动时，由第一拾取器系统30的拾取器202抓持的半导体器件1 一次一行地 收纳到该缓冲盘20的插槽中。或者，第一拾取器系统30可以通过步进的方式 在y轴方向上移动，并且半导体器件1可同时收纳到缓冲盘20中。
半导体器件1收纳到缓冲盘20中之后，可使该缓冲盘20的x间距与用户 盘12行方向的x间距相等。由于使该缓冲盘20的x间距与该用户盘12的行
方向x间距相等的方法与己参考图7至9描述的方法类似，因此省略了该方法
的详细说明。
此外，可通过缓冲传送部22将缓冲盘20移动至靠近用户盘12的位置。 可在该移动过程中调节该缓冲盘20的x间距。或者，在该移动之后或之前调 节该缓冲盘20的x间距。
在调节该x间距以及移动缓冲盘20之后，可通过第二拾取器系统40将半 导体器件1从缓冲盘20传送至用户盘12。
第二拾取器系统40可包括多个以行和列方式排列的拾取器。第二拾取器 系统40的行方向x间距及列方向y间距与用户盘12的行方向x间距及列方向 y间距相等。由于第二拾取器系统40与已参考图10描述的第一拾取器系统30 类似，因此省略了第二拾取器系统40的详细描述。
此外，该缓冲盘20的y间距可与该用户盘12的y间距相等。由此，半导 体器件1可通过一次操作从缓冲盘20拾取出，并且可通过一次操作收纳到用 户盘12中。
如前所述，尽管是用于将半导体器件1从测试盘14传送至用户盘12，但 本方法及装置10亦可用于将半导体器件1从用户盘12传送至测试盘14，其方 式相同或类似。
根据如前所述的本发明实施例，可通过第一传动部IIO调节该第一单元缓 冲盘22a之间的第一x间距pxl，并且可通过第二传动部140调节该第一单元 缓冲盘22a与第二单元缓冲盘22b之间的第二x间距px2。因此，可使该缓冲 盘20的x间距与该测试盘14或该用户盘12的x间距相等。由此，无需调节 用于传送半导体器件的第一拾取器系统30或第二拾取器系统40的x间距，从 而减少传送测试盘14、缓冲盘20和用户盘12中的半导体器件所需的时间。此 外，可减少第一拾取器系统30及第二拾取器系统40的重量，从而增进该测试 分选机的结构稳定性并增加第一拾取器系统30及第二拾取器系统40的拾取器 数量。
图12为第一拾取器的另一实施例的俯视图。图13为示出图12的第一拾 取器系统的仰视图。
参见图12及13，第一拾取器系统50可包括多个以行和列方式排列的拾取 器单元302。具体地，第一拾取器系统50可包括多对拾取器单元300,所述拾取 器单元以第一拾取器系统50的行方向(x轴方向)延伸。各拾取器单元300可 包括第一拾取器单元300a及第二拾取器单元300b。各第一拾取器单元300a及 第二拾取器单元300b可包括以行方向延伸的托架304以及以垂直方向安装至 托架304的多个拾取器302。第一拾取器单元300a及第二拾取器单元300b可 以沿第一拾取器系统50的列方向排列，并且拾取器302可以沿垂直方向放置
穿过拾取器底座306的中央孔306a。
托架304可连接至置于拾取器底座306的上表面之上的导向部件。例如， 以列方向延伸的第一导轨308可置于该拾取器底座306的上表面之上。可通过 多个第一球形滑块310将托架304连接至第一导轨308。或者，可放置多个诸 如导轨之类的导向部件以在拾取器底座306上以列方向(y轴方向)对第一拾 取器单元300a及第二拾取器单元300b进行导向。
可设置第一拾取器传动部320及第二拾取器传动部340以调节拾取器底座 306上该第一拾取器系统50列方向的y间距。例如，第一拾取器传动部320可 设置为调节这些拾取器单元对300之间的第一 y间距pyl。第二拾取器传动部 340可设置为调节该拾取器单元对300中的第一拾取器单元300a与第二拾取器 单元300b之间的第二 y间距py2。
例如，第一拾取器系统50可包括四对拾取器单元300。第一拾取器传动部 320可包括齿轮机构322以及与齿轮机构322连接以提供旋转力的第三电动机 单元328，所述齿轮机构322包括两个小齿轮324、四个与该小齿轮324啮合 以调节该四对拾取器单元300间第一 y间距pyl的齿条326。
第一拾取器单元300a及第二拾取器单元300b可连接至第三连杆330及第 四连杆332。第三连杆330的端部可连接至以列方向延伸的导向条334，并且 第四连杆332的端部可连接至第三连杆330的中央部。
第二拾取器传动部340可设置为使得导向条334以该第一拾取器系统50 的行方向(x轴方向)移动。具体地，第二拾取器传动部340可包括提供旋转 力的第四电动机单元342、与第四电动机单元342连接的滚珠丝杠344、与导 向条334连接的滚珠螺母346。该滚珠丝杠344可延伸穿过滚珠螺母346。
由于使用第一拾取器传动部320及第二拾取器传动部340来调节该第一拾 取器系统50的y间距的方法与已参考图7至9描述的方法类似，因此省略了 该方法的详细说明。
第一拾取器系统50的x间距可与该测试盘14的x间距相等，并且可通过 第一拾取器传动部320及第二拾取器传动部340使该第一拾取器系统50的y 间距与该测试盘14的y间距相等。由此，第一拾取器系统50可通过一次拾取 操作从测试盘14拾取出半导体器件。
可通过该第一拾取器传送部将拾取器302移动至缓冲盘20之上。在此， 可通过第一传动部320与第二传动部340使该缓冲盘20的x间距与该测试盘 14的x间距相等。此外，可通过第一传动部320与第二传动部340使该第一拾 取器系统50的y间距与该缓冲盘20的y间距相等。由此，该第一拾取器系统 50可通过一次卸除操作将由拾取器302抓持的半导体器件收纳到该缓冲盘20 的插槽中。
该第一拾取器系统50的重量可能因第一拾取器传动部320及第二拾取器 传动部340而增加。然而，由于可通过一次拾取操作及一次卸除操作来传送半 导体器件，因此半导体器件所需的传送时间可显著縮短。
图14为示出用于调节缓冲盘x间距的第一及第二传动部的另一实施例的 俯视图。
参见图14，缓冲盘可包括多对单元缓冲盘。各对单元缓冲盘包括第一单元 缓冲盘及第二单元缓冲盘。例如，该缓冲盘包括五对单元缓冲盘。由于这些单 元缓冲盘对与已参考图2至9描述的那些组件类似，因此省略其详述。
第一及第二单元缓冲盘可各自放置于第一支架402a及第二支架402b上。 第一支架402a及第二支架402b可以在第一及第二单元缓冲盘的下方以该缓冲 盘的列方向延伸。
第一连杆404a可连接至第一支架402a的端部。第二连杆404b可连接至第 二支架402b的端部。第二连杆404b可与第一连杆404a连接。
可通过第一传动部410来调节该单元缓冲盘对之间的第一 x间距，并且可 通过第二传动部440来调节该第一单元缓冲盘与该第二单元缓冲盘之间的第二 x间距。第一传动部410可包括至少一个小齿轮及至少一个齿条。例如，第一 传动部410可包括两个小齿轮及四个齿条。由于第一支架402a与第二支架 402b、第一连杆404a与第二连杆404b以及第一传动部410与第二传动部440 与已参考图2至9描述的那些组件类似，因此省略其详述。
同时，可将靠近该缓冲盘中心点的中央对单元缓冲盘固定在基板406的上 表面，并且除该中央对的单元缓冲盘之外的其余单元缓冲盘对可连接至第一传 动部410。即，连接至该中央对的第一单元缓冲盘的第一支架402c可安装在基 板406之上。例如，当该中央对的第一单元缓冲盘固定在基板406之上时，第 一传动部410可连接至其余的第一单元缓冲盘。或者，当该中央对的第二单元 缓冲盘固定在基板406之上时，第一传动部410可连接至其余的第二单元缓冲 盘。
结果，该第一传动部410的齿条使得其余的(即放置在相对于该中央对两 侧的)单元缓冲盘对以彼此相反的方向移动，从而来调节该些单元缓冲盘对之 间的第一x间距。
具体地，第一传动部410的第一小齿轮与第二小齿轮的转速比为1:2以使 该第一单元缓冲盘之间的间隔彼此相等。从而，可调节该单元缓冲盘对之间的 第一x间距。
或者，当该缓冲盘包括三对单元缓冲盘时，第一传动部410可包括一个小 齿轮及两个齿条。
图15为示出用于调节缓冲盘x间距的第一及第二传动部的再一实施例的俯视图。
参见图15，缓冲盘可包括多对单元缓冲盘。各单元缓冲盘对包括第一单元 缓冲盘及第二单元缓冲盘。例如，该缓冲盘可包括三对单元缓冲盘。由于这些
单元缓冲盘对与已参考图2至9描述的那些组件类似，因此省略其详述。
该第一及第二单元缓冲盘可分别放置在第一支架502a与第二支架502b上。 第一支架502a及第二支架502b可以在第一及第二单元缓冲盘的下方以该缓冲 盘的列方向延伸。
第一连杆504a可连接至第一支架502a的端部。第二连杆504b可连接至第 二支架502b的端部。第二连杆504b可与第一连杆504a连接。
可通过第一传动部510来调节该单元缓冲盘对之间的第一 x间距。可通过 第二传动部540来调节该第一单元缓冲盘与该第二单元缓冲盘之间的第二 x间 距。第一传动部510可包括至少一个小齿轮及至少一个齿条。例如，第一传动 部510可包括两个小齿轮及两个齿条。由于第一支架502a与第二支架502b、 第一连杆504a与第二连杆504b以及第一传动部510与第二传动部540与已参 考图2至9描述的那些组件类似，因此省略其详述。
同时，可将该缓冲盘的最外侧的一对单元缓冲盘固定在基板506的上表面， 并且其余的单元缓冲盘对可连接至第一传动部510。例如，当最外侧的支架 502c(其连接至该最外侧对中的第一单元缓冲盘)固定在基板506之上时，第一 传动部510可连接至其余的第一单元缓冲盘。或者，当该最外侧对中的第二单 元缓冲盘固定在基板506之上时，第一传动部510可连接至其余的第二单元缓 冲盘。
结果，该第一传动部510的齿条使得其余的单元缓冲盘对以该缓冲盘的x 间距方向(x轴方向)移动，从而来调节该些单元缓冲盘对之间的第一x间距。
具体地，第一传动部510的第一小齿轮与第二小齿轮的转速比为1:2以使 该第一单元缓冲盘之间的间隔彼此相等。从而，可调节该单元缓冲盘对之间的 第一x间距。
或者，当该缓冲盘包括两对单元缓冲盘时，第一传动部510可包括一个小 齿轮及一个齿条。
图16为示出缓冲盘另一实施例的俯视图。
参见图16，缓冲盘70包括多个单元缓冲盘72。各单元缓冲盘72中可包 括以多列方式排列的多个插槽。例如，各单元缓冲盘72中可包括以两列方式 排列的多个插槽74a及74b。在此，各单元缓冲盘72中的插槽之间的x间距与 该用户盘或该测试盘的x间距相等。
图17为示出调节缓冲盘x间距的传动部的俯视图。
参见图17，缓冲盘可包括多个单元缓冲盘。各该单元缓冲盘可包括以多列
方式排列的多个插槽，例如以图16所示的两列方式。该缓冲盘的单元缓冲盘 可为偶数。例如，该缓冲盘可包括如图16所示的四个单元缓冲盘，并且各单 元缓冲盘可包括以列方向排列的第一插槽以及平行于该第一插槽排列的第二 插槽。
可通过与该单元缓冲盘连接的传动部610来调节单元缓冲盘之间的缓冲盘 行方向上的x间距。传动部610包括齿轮机构，所述齿轮机构包括至少一个输 出齿轮、多个与该输出齿轮啮合的齿条，以及提供旋转力的电动机单元。例如， 传动部610可使用两个用作该输出齿轮的小齿轮612以及四个齿条614来调节 该缓冲盘的x间距。在此，可通过放置在基板606上的支架602将该单元缓冲 盘及齿条614互相连接。
第一传动部610可使得该单元缓冲盘(其放置在相对于该缓冲盘中央处的 两侧)以彼此相反的方向移动，以此来调节该单元缓冲盘的x间距。由于传动 部610与已参考图2至9描述的第一传动部110类似，因此省略其详述。
图18及19为示出使用图16及17所示的该缓冲盘及传动部的半导体器件 传送方法的示意图。
参见图l、 18及19，可通过第一拾取器系统30的拾取器202将收纳于测 试盘14中的半导体器件1拾取出测试盘14。在此，该拾取器202的x间距及 y间距与该测试盘14的x间距及y间距相等。
拾取半导体器件1之后，将第一拾取器系统30移动至缓冲盘70的上方。 在此，可使该缓冲盘70的x间距与该测试盘14的x间距相等。具体地，可使 单元缓冲盘72之间的x间距与奇数列或偶数列的测试盘14的插槽之间的x间 距相等。可将第一拾取器系统30的奇数列202a的拾取器移动至该单元缓冲盘 72的第一插槽74a的上方，且随后将由该奇数列202a的插槽所抓持的半导体 器件1收纳到第一插槽74a中。
可在行方向(x轴方向)上移动第一拾取器系统30以使该第一拾取器系统 30的偶数列202b的拾取器位于单元缓冲盘72的第二插槽74b的上方，且随后 将由该偶数列202b的插槽所抓持的半导体器件1收纳到第二插槽74b中。
图20为示出调节缓冲盘的x间距的传动部的另一实施例的俯视图。
参见图20，缓冲盘可包括多个单元缓冲盘。各该单元缓冲盘可包括以多列 方式排列的多个插槽，例如以图16所示的两列方式。该缓冲盘的单元缓冲盘 可为奇数。例如，该缓冲盘可包括五个单元缓冲盘，并且各该单元缓冲盘可包 括以列方向排列的第一插槽以及平行于该第一插槽排列的第二插槽。
可将传动部710连接至该单元缓冲盘以调节该单元缓冲盘之间行方向上的 x间距。传动部710包括齿轮机构，所述齿轮机构包括至少一个输出齿轮、多 个与该输出齿轮啮合的齿条，以及提供旋转力的电动机单元。例如，传动部710
可使用两个用作该输出齿轮的小齿轮712以及四个齿条714来调节该缓冲盘的 x间距。在此，可通过放置在基板706上的支架702将该单元缓冲盘及齿条714 互相连接。
第一传动部710可使得该单元缓冲盘(其放置在相对于该缓冲盘中央单元 缓冲盘的两侧)以彼此相反的方向移动，以此来调节该单元缓冲盘的x间距。 由于传动部710与已参考图14描述的第一传动部类似，因此省略其详述。并 且，利用缓冲盘和传动部710传递半导体器件的方法与已参考图18和19描述 的方法类似，因此省略其详述。
图21为示出调节缓冲盘的x间距的传动部的再一实施例的俯视图。
参见图21，缓冲盘可包括多个单元缓冲盘。各该单元缓冲盘可包括以多列 方式排列的多个插槽，例如以图16所示的两列方式。例如，该缓冲盘可包括 三个单元缓冲盘，并且各该单元缓冲盘可包括以列方向排列的第一插槽以及平 行于该第一插槽排列的第二插槽。
可将传动部810连接至该单元缓冲盘以调节该单元缓冲盘之间的行方向的 x间距。传动部810包括齿轮机构，所述齿轮机构包括至少一个输出齿轮、至 少一个与该至少一个输出齿轮啮合的齿条，以及提供旋转力的电动机单元。例 如，传动部810可使用两个用作该输出齿轮的小齿轮812以及两个齿条814来 调节该缓冲盘的x间距。在此，可通过放置在基板806上的支架802将该单元 缓冲盘及齿条814互相连接。
第一传动部810可使得除最外侧的单元缓冲盘之外的其余单元缓冲盘以该 缓冲盘的x间距方向移动，以此来调节该缓冲盘的x间距。由于传动部810与 已参考图15描述的该第一传动部类似，因此省略其详述。此外，使用该缓冲 盘及传动部810的半导体器件传送方法与已参考图18及19的方法类似，因此 省略了其详细说明。
根据前述的本发明实施例，可通过第一传动部及第二传动部来调节缓冲盘 的x间距，所述第一传动部包括至少一个小齿轮及至少一个齿条，所述第二传 动部用于移动连杆，以使该缓冲盘的x间距与测试盘或用户盘的x间距相等。
由此，在传送半导体器件的时候无需调节第一及第二拾取器系统的x间距， 以此来縮短传送半导体器件所需的时间。此外，无需额外的装置来调节该第一 及第二拾取器系统的x间距，以此来减少该第一及第二拾取器系统的重量以及 增进测试分选机的结构稳定性。
此外，可通过第一及第二拾取器传动部来调节该第一拾取器系统的y间距， 由此縮短了传送该半导体器件所需的时间。
尽管业已描述了本发明的实施例，应理解，并不应将本发明限制为这些实 施例，本领域技术人员对其所作出的多种改变及修改都在如后文权利要求书所
要求保护的本发明的精神及范围之内。
权利要求
1.一种在盘之间传送半导体器件的方法，所述盘具有多个用于收纳所述半导体器件的插槽，该方法包括调节缓冲盘的行方向的x间距以使其与第一盘的行方向的x间距相等；及将所述半导体器件从所述第一盘传送至所述缓冲盘。
2、 如权利要求1所述的方法，其中所述缓冲盘包括以所述缓冲盘的列方向延 伸的多对单元缓冲盘，并且，其中调节所述缓冲盘的X间距包括调节所述单元缓冲盘对之间的第一X间距；及调节所述单元缓冲盘对中的第一单元缓冲盘与第二单元缓冲盘之 间的第二X间距。
3、 如权利要求2所述的方法，其中各所述第一单元缓冲盘与第二单元缓冲盘 包括以一列方式排列的多个插槽。
4、 如权利要求l所述的方法，其中将所述半导体器件传送至所述缓冲盘包括使用包括多个拾取器的拾取器系统将所述半导体器件拾取出所述第一盈:;将抓持所述半导体器件的所述拾取器移动至所述缓冲盘的上方；及将所述半导体器件从所述拾取器收纳到所述缓冲盘的插槽中， 并且其中在将所述拾取器移动至所述缓冲盘上方的同时使所述拾取器系统列方向的y间距与所述缓冲盘列方向的y间距相等。
5、 如权利要求4所述的方法，其中所述拾取器系统包括以所述拾取器系统的 行方向延伸的多对拾取器单元，并且其中通过调节所述拾取器单元对之间的第一 y间距、且调节所述 拾取器单元对中的第一拾取器单元与第二拾取器单元之间的第二 y间距，来调节所述拾取器系统的y间距。
6、 如权利要求1所述的方法，其中所述缓冲盘包括多个单元缓冲盘，并且其 中各所述单元缓冲盘包括以多列方式排列的多个插槽。
7、 如权利要求6所述的方法，其中所述缓冲盘的x间距包括所述单元缓冲盘 之间的第一 x间距，以及各所述单元缓冲盘的所述插槽之间的第二 x间距，并且其中调节所述缓冲盘的x间距包括调节所述单元缓冲盘之间的第 一x间距，并且其中将所述半导体器件传送至所述缓冲盘包括使用包括以行和列方式排列的多个拾取器的拾取器系统将所述半 导体器件拾取出所述第一盘，其中所述拾取器系统在所述拾取器系统 行方向上具有与所述缓冲盘的第二 X间距不同的X间距；将抓持所述半导体器件的所述拾取器移动至所述缓冲盘的上方；及在以步进方式使所述拾取器以所述缓冲盘的行方向移动的同时， 将所述半导体器件从所述拾取器收纳到所述缓冲盘的插槽中。
8、 如权利要求1所述的方法，进一步包括调节所述缓冲盘的X间距以使其与第二盘的行方向的X间距相等；及 将所述半导体器件从所述缓冲盘传送至所述第二盘。
9、 如权利要求l所述的方法，其中将所述半导体器件传送至所述缓冲盘包括使用以行和列方式排列的拾取器将所述半导体器件拾取出所述第一^*;将抓持所述半导体器件的所述拾取器移动至所述缓冲盘的上方；及 在以步进方式使所述缓冲盘以所述缓冲盘的列方向移动的同时，以一 次一行的方式依次将所述半导体器件收纳到所述缓冲盘中。
10、 一种在盘之间传送半导体器件的装置，所述盘具有多个用于收纳所述半导 体器件的插槽，该装置包括具有以行和列方式排列的多个插槽的缓冲盘；连接至所述缓冲盘以调节所述缓冲盘的行方向的x间距的传动部；及 将所述半导体器件从第一盘传送至所述缓冲盘的拾取器系统。
11、 如权利要求IO所述的装置，其中所述缓冲盘包括以所述缓冲盘的列方向延 伸的多对单元缓冲盘，并且其中所述传动部包括第一传动部，其调节所述单元缓冲盘对之间的第一X间距；及 第二传动部，其调节所述单元缓冲盘对中的第一单元缓冲盘与第二单元缓冲盘之间的第二X间距。
12、 如权利要求11所述的装置，其中所述第一传动部包括至少一个齿条；齿轮机构，其包括至少一个与所述至少一个齿条啮合的输出齿轮；及 与所述齿轮机构连接以向所述齿轮机构提供旋转力的电动机单元， 并且其中所述至少一个齿条使所述单元缓冲盘对中的至少一对以所述 缓冲盘的行方向移动以调节所述第一 X间距。
13、 如权利要求11所述的装置，进一步包括连接至所述第一单元缓冲盘的第一连杆；及连接所述第二单元缓冲盘与所述第一连杆的第二连杆， 其中所述第一传动部连接至所述第-"单元缓冲盘或所述第二单元缓冲 為 。
14、 如权利要求13所述的装置，其中所述第二传动部连接至所述第一连杆或所 述第二连杆、并且向所述第一连杆或所述第二连杆施加传动力使所述第一 单元缓冲盘与所述第二单元缓冲盘间产生相对移动。
15、 如权利要求IO所述的装置，其中所述拾取器系统包括用以拾取所述半导体器件的以行和列方式排列的多个拾取器；及 使所述拾取器在所述第一盘与所述缓冲盘之间移动的拾取器传送部。
16、 如权利要求15所述的装置，其中所述拾取器系统的行方向的x间距和列方 向的y间距与所述第一盘的行方向的x间距和列方向的y间距相等。
17、 如权利要求IO所述的装置，其中所述拾取器系统包括拾取所述半导体器件的多对拾取器单元；及使所述拾取器单元对在所述第一盘与所述缓冲盘之间移动的拾取器传 送部，并且其中各所述拾取器单元对包括第一拾取器单元及第二拾取器单 元；各所述第一及第二拾取器单元包括多个用以拾取所述半导体器件的拾 取器；并且所述拾取器单元对以所述拾取器系统的列方向排列。
18、 如权利要求17所述的装置，其中所述拾取器系统进一步包括拾取器传动部，所述拾取器传动部调节所述拾取器系统的列方向的y间距。
19、 如权利要求18所述的装置，其中所述拾取器传动部包括-第一拾取器传动部，其调节所述拾取器单元对之间的第一y间距； 第二拾取器传动部，其调节所述拾取器单元对中的第一拾取器单元与 第二拾取器单元之间的第二 y间距。
20、 如权利要求19所述的装置，其中所述第一拾取器传动部包括至少一个齿条，其连接至所述拾取器单元对中的至少一对； 齿轮机构，包括至少一个与所述至少一个齿条啮合的输出齿轮；及 与所述齿轮机构连接以向所述齿轮机构提供旋转力的电动机单元， 并且其中所述至少一个齿条使得所述拾取器单元对中的至少一对以所 述拾取器系统的列方向移动以调节所述第一y间距。
21、 如权利要求19所述的装置，其中所述拾取器系统包括连接至所述第一拾取器单元的第一连杆；及 连接所述第二拾取器单元与所述第一连杆的第二连杆， 并且其中所述第一拾取器传动部连接至所述第一拾取器单元或所述第 二拾取器单元。
22、 如权利要求21所述的装置，其中所述第二拾取器传动部连接至所述第一连 杆或所述第二连杆、并且向所述第一连杆或所述第二连杆施加传动力使所 述第一拾取器单元与所述第二拾取器单元间产生相对移动。
23、 如权利要求IO所述的装置，进一步包括将所述半导体器件从所述缓冲盘传 送至第二盘的第二拾取器系统。
24、 如权利要求23所述的装置，其中所述第二拾取器系统包括用以拾取所述半 导体器件的以行和列方式排列的多个拾取器，并且其中所述第二拾取器系统的x间距及y间距与所述第二盘的x间 距及y间距相等，并且所述缓冲盘的y间距与所述第二盘的y间距相等。
25、 如权利要求IO所述的装置，其中所述缓冲盘包括以所述缓冲盘的列方向延 伸的多个单元缓冲盘，并且其中所述传动部包括 提供旋转力的电动机单元；齿轮结构，其连接至所述电动机单元并且包括至少一个输出齿轮；及 至少一个齿条，其与至少一个所述单元缓冲盘连接并且与所述至少一 个输出齿轮啮合以调节所述缓冲盘的x间距。
全文摘要
利用收纳半导体器件的缓冲盘在用于测试该半导体器件的盘之间传送半导体器件的方法及装置中，通过第一及第二传动部调节该缓冲盘的行方向的x间距以使其与测试盘或用户盘的行方向的x间距相等。通过第一及第二拾取器系统在该测试盘、该缓冲盘及该用户盘之间传送该半导体器件。由此，缩短了传送该半导体器件所需的时间。
文档编号G01R31/28GK101373726SQ200710181330
公开日2009年2月25日 申请日期2007年10月18日 优先权日2007年8月22日
发明者李镇焕 申请人:赛科隆股份有限公司