专利名称：喷金仪样品台的制作方法
技术领域：
本实用新型提供一种喷金仪样品台，属于测量仪器技术领域。
技术背景扫描电子显微镜要求试样必须导电，对于不导电的物质要通过镀膜(Au.Pt.Au-Pd) 使其导电，我们目前使用的是英国Quorum Technologies LTD公司生产的高精密喷金仪， 它首先要通过真空泵抽真空，然后采用离子溅射的方法，在样品表面喷镀一定厚度的白 金。如果镀层太薄的话，样品会由于放电现象而导致图像不清。由于抽真空需要较长时 间，且Pt靶非常昂贵，而此喷金仪自配的样品台最多放置6个样品座的槽，样品座活动 安装在槽中，所以每次花费大量时间最多只能喷镀6个样品，且成本很高。假如一个客 户恰好送来7个样品的话，必须喷镀两次，成本就要加倍。所以如何尽量减少成本而保 持较好的成像效果是我们要解决的一个重要问题。 实用新型内容本实用新型的目的是提供一种能解决上述问题、且无须拆卸原样品台、工作性能优 良的喷金仪样品台。其技术方案为包括一带底座的样品承载台，样品承载台上设有6个均布在同一圆周上放置样品座 的槽孔，其特征在于增设一个面积大、均布有更多个槽孔的圆台，圆台的底部中心设 有与样品承载台相吻合的凹槽，圆台经凹槽扣合在样品承载台的上端面上。所述的喷金仪样品台，多个槽孔均布在环绕圆台中心直径不同的两个圆周上。所述的喷金仪样品台，圆台的槽孔内设有螺纹。其工作原理为当样品不大于6个时，放入原有的样品承载台的槽孔内喷金即可； 多于6个，就将圆台扣合在样品承载台的上端面上，再将样品放入圆台的槽孔内喷金即 可，这样大小不同的多个样品座就可以同时放入圆台上同时喷金。本实用新型与现有技术相比，其优点为l.无须拆卸原样品台，不会损害仪器；2.操作 简单，使用方便；3. —次可喷镀多个样品，节省大量白金，延长Pt靶的使用寿命；4.节省时间，提高工作效率。
图1是本实用新型实施例的结构示意图； 图2是图1所示实施例中圆台的俯视图。图中1、底座 2、样品承载台 3、槽孔 4、圆台 5、凹槽 6、槽孔 7、 样品座具体实施方式
样品承载台2上设有6个均布在同一圆周上放置样品座7的槽孔3，底座1固定在样 品承载台2的底部中心，增设一个面积大、设有20个槽孔6的圆台4，圆台4的底部中 心设有与样品承载台2相吻合的凹槽5，圆台4经凹槽5扣合在样品承载台2的上端面上， 圆台4上的20个槽孔6均布在环绕圆台4中心直径不同的两个圆周上，其中部分槽孔6 中安装有大小不同的样品座7。根据需要，圆台4的槽孔6内也可设有螺纹。
权利要求1、一种喷金仪样品台，包括一带底座(1)的样品承载台(2)，样品承载台(2)上设有6个均布在同一圆周上放置样品座(7)的槽孔(3)，其特征在于增设一个面积大、均布有更多个槽孔(6)的圆台(4)，圆台(4)的底部中心设有与样品承载台(2)相吻合的凹槽(5)，圆台(4)经凹槽(5)扣合在样品承载台(2)的上端面上。
2、 如权利要求1所述的喷金仪样品台，其特征在于多个槽孔(6)均布在环绕圆 台(4)中心直径不同的两个圆周上。
3、 如权利要求l所述的喷金仪样品台，其特征在于圆台(4)的槽孔(6)内设有 螺纹。
专利摘要本实用新型提供一种喷金仪样品台，包括一带底座的样品承载台，样品承载台上设有6个均布在同一圆周上放置样品座的槽孔，其特征在于增设一个面积大、均布有更多个槽孔的圆台，圆台的底部中心设有与样品承载台相吻合的凹槽，圆台经凹槽扣合在样品承载台的上端面上。当样品不大于6个时，放入原有的样品承载台的槽孔内喷金即可；多于6个，就将圆台扣合在样品承载台的上端面上，再将样品放入圆台的槽孔内喷金即可，这样大小不同的多个样品座就可以同时放入圆台上同时喷金。操作简单，使用方便，一次可喷镀多个样品，提高工作效率，节省大量白金，延长Pt靶的使用寿命，工作性能优良。
文档编号G01N23/00GK201116907SQ20072015730
公开日2008年9月17日 申请日期2007年11月16日 优先权日2007年11月16日
发明者柳 冯, 李正民, 杜守旭, 红 郭, 陈志伟 申请人:山东理工大学