专利名称：电子背散射衍射专用样品座的制作方法
技术领域：
本实用新型提供一种电子背散射衍射专用样品座，属于测量仪器技术领域。
背景技术：
电子背散射衍射仪是扫描电镜的 一个附件。电子背散射衍射就是背散射电子在每一 个晶体或晶粒内规则排列的晶格面上发生衍射，从而组成的衍射花样(EBSD)。由于扫描 电镜中电子束的能量较低，所以产生的EBSD信号也较弱。为了得到较强的EBSD 信号，样品的倾斜角要保持70。。扫描电镜的样品室内除了二次电子接收器外，还配 有一个用以接受EBSD信号的探头，探头包括一个荧光屏和一个高灵敏摄像头。由 于试样倾转会增加与电子枪的极靴和EBSD探头触碰的危险，所以我们目前使用的是 一个倾转角为70°的EBSD专用样品座，样品座用螺丝固定在圆台上，既保证得到较强 的图象信号又可避免试样旋转所带来的危险和误差，此专用样品座已经研制出来并成功 应用于实践。但它存在的问题是此样品座只有一个平面与入射电子束保持70°，也 就是只有一个观察平面，所以每次实验只能测试一个样品，测试效率低。2.每次更换 样品时，都需要先通入一定量的高纯氮气，才能打开样品室的门。而高纯氮气价格昂贵， 且购买不方便。3.换好样品后，需要由机械泵、分子泵、离子泵三级泵依次抽真空，较 长时间才能达到平衡，等待实验时间长，检测成本(通常以时间计算)高。4.工作电压 需要先关后开，有可能导致扫描电镜的灯丝发生偏移，轻则需要花时间调试，重则会縮 短灯丝(价格在l万美金左右)的使用寿命。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种能克服上述缺陷、工作性能优良的电子背散射衍射专
用样品座。其技术方案为
一种电子背散射衍射专用样品座，包括底部设有插头的专用座，专用座上设有与 垂线保持70。的一个平面，平面上设一安装样品座的插孔，插孔与平面垂直，专用 座的上端面设有与插孔连通的螺孔，其特征在于在专用座上设置多个与垂线保 持70。的平面，每个平面上均设一垂直安装样品座的插孔，专用座的上端面对应于每个插孔均设有与其连通的螺孔。
所述的电子背散射衍射专用样品座，专用座上与垂线保持70。的平面有2 5个。 其工作原理为当测试样品仅为1个时，可使用原有的倾转角为70°的EBSD专用 样品座，插入与扫描电镜样品室螺纹连接为一体的圆台顶端中心设置的插孔，再将样品 座安装到专用座的插孔中固定，最后把样品固定到样品座上，即可对样品进行EBSD检测； 当测试样品为多个时，可根据样品个数选择有几个倾转角为70。平面的电子背散射衍射 专用样品座，当测试完一个样品后，只需用鼠标点击样品台的所在角度即可实现样品位 置的转换，使探头对准所要测定的样品。如果测试的是两个样品，需要旋转180。，如果 测试3 5个样品，旋转的角度依次为120°、 90°和72°。 本实用新型与现有技术相比，其优点为
1. 由于设有多个安装样品座的平面，可以同时测定多个样品，能节省大量高纯氮
气；
2. 工作电压可以较长时间不变，使灯丝保持稳定；
3. 操作简单，使用时只需用鼠标点击样品台的角度即可实现样品的转换；
4. 节省放气和抽真空时间，提高工作效率，降低测试成本。
图1是本实用新型实施例1的结构示意图； 图2是本实用新型实施例2的立体图。
图中1、插头 2、专用座 3、平面 4、插孔 5、螺孔 6、样品座具体实施方式
在图l所示的实施例l中专用座2的底部设有插入底座插孔的插头1，专用座 2上设有2个与垂线保持70°的平面3，每个平面3上均设一垂直安装样品座6的 插孔4，专用座2的上端面对应于每个插孔4均设有与其连通的螺孔5，用于固定 样品座6。
图2所示的实施例2基本同实施例1，只是专用座2上设有3个与垂线保持 70。的平面3，每个平面3上均设一垂直安装样品座6的插孔4，专用座2的上端面 对应于每个插孔4均设有与其连通的螺孔5，用于固定样品座6。
权利要求1、一种电子背散射衍射专用样品座，包括底部设有插头(1)的专用座(2)，专用座(2)上设有与垂线保持70°的一个平面(3)，平面(3)上设一安装样品座(6)的插孔(4)，插孔(4)与平面(3)垂直，专用座(2)的上端面设有与插孔(4)连通的螺孔(5)，其特征在于在专用座(2)上设置多个与垂线保持70°的平面(3)，每个平面(3)上均设一垂直安装样品座(6)的插孔(4)，专用座(2)的上端面对应于每个插孔(4)均设有与其连通的螺孔(5)。
2、 如权利要求1所述的电子背散射衍射专用样品座，其特征在于专用座(2) 上与垂线保持70。的平面有2 5个。
专利摘要本实用新型提供一种电子背散射衍射专用样品座，包括底部设有插头的专用座，专用座上设有与垂线保持70°的一个平面，平面上设一安装样品座的插孔，插孔与平面垂直，专用座的上端面设有与插孔连通的螺孔，其特征在于在专用座上设置多个与垂线保持70°的平面，每个平面上均设一垂直安装样品座的插孔，专用座的上端面对应于每个插孔均设有与其连通的螺孔。本实用新型由于设有多个安装样品座的平面，可以同时测定多个样品，能节省大量高纯氮气，且工作电压可以较长时间不变，使灯丝保持稳定，操作简单，使用时只需用鼠标点击样品台的角度即可实现样品的转换，节省放气和抽真空时间，提高工作效率，降低测试成本，工作性能优良。
文档编号G01N23/207GK201141821SQ20072015730
公开日2008年10月29日 申请日期2007年11月16日 优先权日2007年11月16日
发明者柳 冯, 李正民, 杜守旭, 王卫国, 红 郭, 陈志伟 申请人:山东理工大学