专利名称：电子背散射衍射系统气动推进装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于扫描电镜的电子背散射衍射系统气动推动装置。
背景技术：
扫描电镜是当今得到普遍应用的大型分析仪器，广泛应用于材料科学、生命科学、微电子学、农业、环境、地矿、医学、刑侦检查等众多领域，是进行显微观察及成分分析的重要手段。扫描电镜电子背散射衍射装置及相应的数据处理系统是用于获取块状样品中各种大小晶粒的晶体结构、晶粒间的取向关系等晶体学信息。这一技术的开发和研制扩展了扫描电镜的应用范围，使扫描电镜不仅能对材料进行形貌观察和成分分析，而且也能对材料进行晶体结构、晶粒取向等晶体学特征的分析。使晶体材料的组织、成分和取向一一对应起来，将研究材料的形貌、成分和结构在扫描电镜上有机的联系起来。但由于国外产品和相应的软件价格昂贵，国内用户难于大量购置和普遍使用。为此，本申请人曾在2000年成功研制了电镜的接收装置，其专利号为ZL00257222.2，能够与扫描电镜连接安装，接收电子背散射衍射图像，降低了成本，扩大了扫描电镜的应用范围。该扫描电镜的接收装置主要由电光转换器、X-射线防护装置、聚光镜、摄像机、摄像机控制单元、电子束扫描控制单元及计算机构成。摄像机控制单元和电子束扫描控制单元插在计算机主机内，摄像机通过连接线与计算机接口连接，计算机的控制信号通过连接线与扫描电镜内的电子信号输出部分连接。还专门设计了一连接装置，摄像机通过连接装置固定安装于扫描电镜为波谱仪预留的窗口处，并可保证摄像机沿轴向移动。连接装置由外缸体、支承筒及移动控制装置构成，该移动控制装置的主要功能部件为移动把、丝杆、手轮。背反射电子探头固定安在外缸体上，荧光屏安置在外缸体的中心孔内，摄像机安装在滑动支架上，再与移动把安装在一起，摇动手轮可带动丝杆转动，从而驱动移动把带动摄像机沿轴向移动。其缺陷是手摇驱动费力，亟待改进。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种电子背散射衍射系统气动推进装置，其能够克服上述扫描电镜接收装置的连接装置的不足，与扫描电镜连接安装，接收电子背散射衍射图像。
为实现上述目的，本实用新型采取以下设计方案一种电子背散射衍射系统气动推进装置，包括一带有进出口的法兰，一固定在法兰上带有水平导向槽的导轨及通过滑动驱动装置能沿导轨移动的滑动支架和固定在支架上随其一起运动的入像管；所述的入像管和滑动支架一块置于水平导轨上且穿过法兰的进出口伸入电镜真空工作室内；入像管的后端装有X-射线防护窗口；所述的滑动驱动装置，包括一固定于法兰上的气缸及上下分别固定着入像管和连杆且位于水平导轨上能够沿着导轨槽做往返移动的滑动支架，气缸活塞杆头部与连杆固定联接；所述的入像管在气缸活塞杆的作用下通过连杆驱动滑动支架沿水平导轨的运动而实现其在扫描电镜工作室内的往复移动。
入像管的前端上方可装有背反射电子探头支座，在导轨的尾端可装有限位定位销。
所述的入像管的内壁可带有X-射线防护筒。
本实用新型的优点是1.可以辅助电镜迅速、准确定位接收电子背散射衍射图以完成系统在线处理和分析；2.借助该装置实现了操作的自动化；3.借助该装置使电子背散射衍射探测器在扫描电镜中可自如地移动且不影响扫描电镜原有功能。
图1为本实用新型结构示意图(主视)图2为本实用新型结构示意图(俯视)图3为本实用新型应用时组装装配示意图(主视)具体实施方式
如图1、图2所示，本实用新型扫描电镜背散射衍射数据处理系统气动推进装置主要由法兰1、入像管3、滑动支架19、导轨23、连杆24和带有自动换向气动阀的气缸25等组成，导轨23及气缸分别用螺钉固定在法兰1上。
本实施例中，所述的法兰1主要是配合JSM-840电镜而设计的，其既是入像管3的进出移动密封窗口和其他组成部件的支承件，又是与扫描电镜的联接密封件，被安装在电镜镜筒为波谱仪预留的窗口处。
所述的入像管3被固定在滑动支架19上，且管身穿过法兰的进出口密封窗口，而滑动支架19被安放在水平导轨23上，可沿着导管槽滑动，参见图1、2、3；与系统组配时，入像管3的前端装有系统组件荧光屏5，并用固定螺圈6将其固定在荧光屏座4内；入像管的前端上方装有背反射电子探头支座2；内壁可带有X-射线防护筒7；其后端装配时位于摄像机镜头之前，装有X-射线防护窗口17与“O”型圈15用压紧螺帽18及入像管3密封固定。
由气缸25及分别位于水平导轨23上、下的滑动支架19和连杆24构成本装置的滑动驱动单元，气缸活塞杆与连杆24用螺母27锁紧固定联接。
应用时，所述的入像管3和系统的带冷却的CCD摄像机20还有连杆24均用螺钉和滑动支架19固定在一起成为一个整体，可实现沿水平导轨导向槽滑动。
为防止入像管3的前端脱离密封圈8、9，造成真空室的破坏，在导轨23的尾端可装有定位销26。
本实用新型电子背散射衍射系统气动推进装置的设计原理是按图3所示，将系统各部件与本实用新型单元装置联接——长方形法兰与扫描电镜固定，电源接通后，通过气缸25活塞杆的往返运动即可带动连杆24来驱动滑动支架19在导轨23上滑动，从而实现入像管穿过法兰的密封窗口在电镜真空工作室内的移动。荧光屏5将电子背散射衍射电信号转化为光信号，由摄像机20接收送至计算机内，由计算机中的收集卡及扫描卡对图像进行处理、分析、标定、显示、贮存、打印等。由上述可看出通过该装置可省去人工操作所带来的一些弊端。另外)气缸的活塞杆启动时间及移动行程均可进一步实现自动控制。
权利要求1.一种电子背散射衍射系统气动推进装置，包括一带有进出口的法兰、一固定在法兰上且带有导向槽的水平导轨及通过滑动驱动装置实现在导轨上滑行的入像管，其特征在于所述的入像管置于水平导轨上且穿过法兰进出密封窗口伸入电镜真空工作室内，入像管的后端装有X-射线防护窗口；所述的滑动驱动装置包括一气缸及分别位于水平导轨上、下的滑动支架和连杆，气缸活塞杆头端与连杆固定联接，其尾端固定在法兰上；所述的入像管和连杆分别与支架相互联接固定可实现沿水平导轨导向槽滑动。
2.根据权利要求1所述的电子背散射衍射系统气动推进装置，其特征在于在入像管的前端上方装有背反射电子探头支座。
3.根据权利要求1所述的电子背散射衍射系统气动推进装置，其特征在于在导轨的尾端装有定位销。
专利摘要本实用新型公开了一种电子背散射衍射系统气动推进装置，包括一带有进出口的法兰，一固定在法兰上带有水平导向槽的导轨及通过滑动驱动装置能沿导轨移动的滑动支架和固定在支架上随其一起运动的入像管；所述的入像管和滑动支架一块置于水平导轨上且穿过法兰的进出口伸入电镜真空工作室内；入像管前端上方装有旋转背反射衍射系统的背反射探头支座，其后端装有X－射线防护窗口；所述的滑动驱动装置，包括一固定于法兰上的气缸及上下分别固定着入像管和连杆且位于水平导轨上能够沿着导轨槽做往返移动的滑动支架，气缸活塞杆头部与连杆固定联接；入像管在气缸活塞杆的作用下通过连杆驱动滑动支架沿水平导弹轨的运动而实现其在电镜工作室内的往复移动。
文档编号G01N23/20GK2856997SQ20052010766
公开日2007年1月10日 申请日期2005年5月30日 优先权日2005年5月30日
发明者孙丽虹, 刘安生, 邵贝羚, 胡广勇, 孙继光, 张希顺, 黄玉生, 杜凤贞 申请人:北京有色金属研究总院