专利名称：氦质谱检漏仪接收器的制作方法
技术领域：
氦质谱检漏仪接收器技术领域本发明涉及一种氦质谱检漏仪的接收器。
技术背景氦质谱检漏仪的主要指标灵敏度，也称最小可检测漏率。其测量方法是用一氦气标准漏孔Qo，接在检漏仪上产生的信号强度S，假设测量系统的噪声N， 那么仪器的灵敏度Q-QoXN/S。 S/N称为信噪比。同样的漏孔产生的信号越强， 灵敏度就越髙，而测量系统的噪声越大，灵敏度就越低。为此，提高仪器灵敏 度的方法就是增大信号强度和降低噪声。检漏仪中除了要检测的氦离子以外，通常有真空中残余气体碰撞产生的杂 散离子或电子进入接收器，为了减少干扰，在入口处装有一抑制电极，并加上 200-400V电压。因为接收极连接的微电流放大器的反馈电阻是IOUQ，阻抗很 高，抑制极和引线上的交流纹波会通过分布电容进入接收电极，形成测量噪声。发明内容本发明的目的在于提供一种可以减少测量噪声的氦质谱检漏仪接收器。 为实现上述发明目的，本实用新型采用了如下技术方案 一种氦质谱检漏仪的接收器，检漏仪接收器包括抑制电极(1)及引线(6)、 接收极(3)，其中抑制电极(1)及引线(6)与接收极(3)之间由屏蔽极2隔离。 接收极(3)采用金属材料，所述金属材料产生二次电子的效率很高。 接收极(3)为铝或铍青铜。在我们的设计中，抑制电极的引线6从离子源的插头进入，与接收器的其它引线分开，经过屏蔽极2侧面的小孔，插到抑制极上。抑制电极及引线与接 收极之间由屏蔽极隔离，使测量噪声由原来3-4mv减少为不足lmv。本发明的另一个发明点是，接收电极通常用不锈钢材料制成，而我们选用 的是产生二次电子效率很高的金属材料，如铝或铍青铜，落入一个正离子可以 打出l-2个电子，对正电流而可增加l-2倍的离子流强度。由于采用了上述改进措施，可以使仪器的灵敏度指标提高4-5倍。
以下结合附图对本发明进行说明，其中 图1是氦质谱检漏仪的接收器的示意图。
具体实施方式
以下结合附图和实例对本发明进一步说明。图1为氦质谱检漏仪接收器的示意图。其中1为抑制电极，加200-400V 电压；2为屏蔽极；3是接收极；4是放大器的反馈电阻1011 Q ; 5是微电流放大 器，6是抑制极的引入线。抑制电极1和引线6单独对地屏蔽2。经测量，噪声由原来的3-4mv减少为小于lmv，从而降低了抑制电极引线对 接收极的干扰。
权利要求1.一种氦质谱检漏仪的接收器，检漏仪接收器包括抑制电极(1)及引线(6)、接收极(3)，其中抑制电极(1)及引线(6)与接收极(3)之间由屏蔽极(2)隔离。
2. 根据权利要求1所述的一种氦质谱检漏仪的接收器，其特征在于，接收 极(3)采用金属材料。
3. 根据权利要求2所述的一种氦质谱检漏仪的接收器，其特征在于，接收 极(3)为铝或铍青铜。
专利摘要一种氦质谱检漏仪的接收器，检漏仪接收器包括抑制电极(1)及引线(6)、接收极(3)，其中抑制电极(1)及引线(6)与接收极(3)之间由屏蔽极(2)隔离。其中接收极(3)采用金属材料，如铝或铍青铜。
文档编号G01M3/02GK201170749SQ200820128268
公开日2008年12月24日 申请日期2008年7月14日 优先权日2008年7月14日
发明者黄庆文 申请人:北京中科科仪技术发展有限责任公司