专利名称：靶材的检测方法
技术领域：
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及靶材的检测方法。
背景技术：
—般，靶材的制作包括将符合溅射性能的靶材与具有一定强度的背板结合。所述 背板可以在所述靶材组件装配至溅射基台中起到支撑作用，并具有传导热量的功效。在溅 射过程中，由于靶材的工作环境比较恶劣，如果靶材与背板之间的结合度较差，将导致靶材 在受热条件下变形、开裂、并与结合的背板相脱落，使得溅射无法达到溅射均匀的效果，同 时还可能会对溅射基台造成损伤。 选择一种有效的焊接方式可以使靶材与背板实现可靠结合，扩散焊(DB， Diffusion Bording)是一种常规的焊接方式，其是将两被焊件紧压在一起，置于真空或保 护气氛中加热，使两焊接表面原子发生相互扩散来实现冶金结合的一种固相焊接方法，尤 其适用于异种材料连接以及难以进行熔焊的金属连接，已被应用于多个先进技术领域，包 括电子、半导体领域。 对焊接后的靶材进行焊接质量检测是十分必要的。现有对扩散焊后的靶材(例如 钛靶材)进行检测采用的是拉伸实验(Tensile test)，其是通过对靶材试样的抗拉强度的 大小来推测产品焊接是否良好的检测手段。这种检测方法是一种破坏性的实验，破坏产品 必然会增加成本；并且，这种检测方法具有局限性，因为通过拉伸实验只能检测实验部位的 抗拉强度，不能很好地反映整个靶材的焊接情况。 随着应用不断推广，如何检测和评价扩散焊界面的质量，已成为目前无损检测领 域的一个重要课题。由于扩散焊接层的厚度非常小，有时还存在弱接合缺陷，无损检测的难 度相当大。现有的一种对扩散焊后的钛靶材的无损检测方法是射线探伤检测，其原理是根 据被检工件与其内部缺陷介质对射线能量衰减程度不同，而引起射线透过工件后的强度差 异，使缺陷能在实现底片或X光电视屏上显示出来。射线探伤对检测象扩散焊这样非常细 小的缺陷非常困难。
发明内容
本发明解决的问题是提供一种靶材的检测方法，其是无损探伤检测，同时可以提 高扩散焊质量检测的可靠性和客观性。 为解决上述问题，本发明提供一种靶材的检测方法，包括 提供扩散焊后的靶材，所述靶材为钛或钛合金； 对所述耙材进行超声波检测，其中，所述超声波的频率为2 8MHz。 可选的，所述超声波的频率为5MHz。 可选的，对所述靶材进行超声波检测是用超声波探伤仪对所述靶材进行检测。
可选的，在对所述靶材进行超声波检测前还包括用超声波探伤仪对所述靶材的 标准试样进行检测。
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可选的，所述用超声波探伤仪对所述靶材的标准试样进行检测包括计算所述靶 材的标准试样的缺陷率；在计算所得的缺陷率超出预设范围时调整超声波探伤仪的感度。
可选的，所述标准试样的缺陷率的预设范围设定为3 5%，所述超声波探伤仪的 感度为38 39dB。 可选的，所述超声波检测是以水为介质。 可选的，所述超声波探伤仪包括发送超声波和接收超声波反射的超声波探头，所 述超声波探头伸入水中的深度为6 10mm。 可选的，所述超声波探伤仪还包括对所述超声波进行滤波的过滤器，所述过滤器 的频率为2MHz。 可选的，所述超声波探伤仪还包括带动超声波探头进行移动的超声波探头架，所 述超声波探头架与靶材顶面的距离为95mm。 与现有技术相比，上述技术方案具有以下优点无需破坏钛靶材，通过对超声波信 号特征和扩散焊缺陷特征的分析，可以得到扩散焊焊接的缺陷位置、大小和形状评价的定 量化直观结果，从而提高了扩散焊焊接质量检测的客观性和可靠性，并且减少了扩散焊焊 接缺陷检测的漏检和误检问题。
图1是本发明实施方式靶材的检测方法的基本流程图；
图2是本发明实施例靶材的检测方法的流程图；
图3是本发明实施例的钛靶材的标准试样的电子扫描图；
图4是本发明实施例靶材的检测方法的检测示意图。
具体实施例方式
本发明实施方式采用超声波对扩散焊后的钛靶材进行检测，超声波检测是一种无 损探伤检测，通过对超声波信号特征的分析可以得到扩散焊连接质量的缺陷位置、大小和 形状等直观结果。
图1是本发明实施方式靶材的检测方法的基本流程图，所述方法包括
步骤Sll，提供扩散焊后的靶材，所述靶材为钛或钛合金；
步骤S12，对所述靶材进行超声波检测，其中，所述超声波的频率为2 8MHz。
频率高于20000Hz的声波称为"超声波"，超声波具有方向性好，穿透能力强，易于 获得较集中的声能，在水中传播距离远等特点。超声波检测是无损检测方法之一，无损检 测是在不破坏前提下，检查工件宏观缺陷或测量工件特征的各种技术方法的统称。经发明 人研究和分析发现，不同的焊接方式，不同材料的靶材，超声波的穿透能力则不同，因此对 应选择的超声波频率也不同，针对扩散焊后的钛靶材，确定选择超声波的频率范围在2 8MHz ，例如，3MHz 、 5MHz 、 7MHz ，其中，以5MHz超声波检测的效果较佳。 在步骤S12中，可以使用超声波探伤仪对所述靶材进行检测。超声波探伤仪是运 用超声检测的方法来检测的仪器，其原理是超声波在被检测材料中传播时，材料的声学特 性和内部组织的变化对超声波的传播产生一定的影响，通过对超声波受影响程度和状况的 探测了解材料性能和结构变化。
在实际应用时，为确保超声波探伤仪工作在一个稳定的状态下，在对所述靶材进 行检测前，需要先对所述靶材的标准试样进行超声波检测，包括计算所述靶材的标准试样 的缺陷率；在计算所得的缺陷率超出预设范围时调整超声波探伤仪的控制参数，例如感度。
由于超声波在水中的传播距离远，因此超声波检测可以以水为介质，以减少环境 因素(例如空气)对检测结果的影响。 图2是本发明实施例靶材的检测方法的流程图，本实施例中，先使用超声波探伤 仪对钛靶材的标准试样进行检测，若检测到的缺陷率超出预设范围，则调整超声波探伤仪 的控制参数；若检测得到的缺陷率没有超出预设范围，则对扩散焊后的钛靶材进行超声波 检测。 参考图2，本实施例靶材的检测方法，包括如下步骤
步骤S21，提供钛靶材的标准试样。 步骤S22，使用超声波探伤仪对所述钛靶材的标准试样进行检测，其中，超声波频 率选择为5MHz。 步骤S23，计算超声波探伤仪检测到的所述钛靶材的标准试样的缺陷率。 步骤S24，判断所述计算得到的缺陷率是否超过预设范围，若是则执行步骤S25，
若否则执行步骤S26。 步骤S25，调整超声波探伤仪的控制参数，接着执行步骤S22。
步骤S26，提供扩散焊后的钛靶材。 步骤S27，使用超声波探伤仪对所述扩散焊后的钛靶材进行检测，其中，超声波频 率选择为5MHz。 步骤S28，根据超声波检测结果，评估钛靶材焊接表面的焊接质量。
下面结合图3和4对图2所示的各步骤进行详细说明。 步骤S21，提供钛耙材的标准试样。请参考图3，其是一种钛耙材的标准试样的示 意图，其是针对采用扩散焊方式焊接的钛靶材可能出现的焊接缺陷而设计的，其中，标准试 样31具有焊接缺陷31a。钛靶材的标准试样31与扩散后的钛靶材具有相同的性能。
步骤S22，使用超声波探伤仪对所述钛靶材的标准试样进行检测，其中，超声波频 率选择为5MHz。请参考图4，其是用超声波探伤仪对目标检测物进行检测的示意图。
如图4所示，目标探测物40，即图3所示的钛靶材的标准试样被放置在水中，焊接 缺陷面朝上。超声波探伤仪包括超声波探头41、超声波探头架42和控制系统(图中未示 出)。超声波探头41用于发送超声波和接收超声波反射，超声波探头架42用于带动超声波 探头41移动。本实施例中，超声波探头41伸入水中的深度hl为6 10mm，超声波探头架 42距目标探测物40顶面的距离h2为95mm。 考虑到超声波对扩散焊后的钛靶材的穿透能力，本实施例中，超声波探伤仪的工 作频率选择为5MHz。 一般，超声波探伤仪还包括有过滤器，用于对超声波进行滤波，以消除 外界噪声干扰，达到更准确的检测结果。本实施例中，针对选择的超声波频率为5MHz，过滤 器的频率选择为2MHz。 测试时，超声波探伤仪的控制系统控制移动超声波探头架42，以带动超声波探头 41的移动，使得超声波探头41发出的超声波可以在目标探测物40的整个表面上传播，超 声波探头移动的步长(包括水平方向和竖直方向移动的距离)可以根据目标探测物40的大小来调节。当超声波遇到异质界面(如焊接缺陷)时，部分声波会被反射并被超声波探头41接收，超声波探伤仪的控制系统会将反射的超声波信号转换为电信号，通过分析所述转换的电信号，可以得到缺陷位置、大小和形状等定量化结果。 步骤S23，计算超声波探伤仪检测到的所述钛靶材的标准试样的缺陷率。其中，缺陷率=缺陷面积/目标探测物面积(％ )。具体来说，图4中，标准试样31的缺陷率=缺陷31a的面积/标准试样31的面积(％ )。 步骤S24，判断所述计算得到的缺陷率是否超过预设范围，若是则执行步骤S25，若否则执行步骤S26。本实施例中，标准试样31的缺陷率的预设范围设定为3 5%。若计算得到的标准试样31的缺陷率在3 5%内，说明超声波探伤仪处于稳定的工作状态，则执行步骤S26 。否则，则执行步骤S25 。 步骤S25，调整超声波探伤仪的控制参数，接着执行步骤S22。超声波探伤仪包括多个可调的控制参数，例如，工作频率、增益控制、衰减控制、步长调节和感度调节等等。经发明人研究和分析发现，针对不同材料的靶材和不同的焊接方式，可以对应设置不同的超声波探伤仪的感度范围，以确保其检测稳定性，感度又称为探伤灵敏度。本实施例中，针对扩散焊和钛靶材，将感度控制在38 39dB的范围内，可以提高超声波检测的稳定性，感度可以进行微调。在对感度进行微调后，继续执行步骤S22，再对所述钛靶材的标准试样进行检测并计算缺陷率。 步骤S26，提供扩散焊后的钛靶材。所述扩散焊后的钛靶材包括钛靶材和与其结合的背板(例如铝背板)。 步骤S27，使用超声波探伤仪对所述扩散焊后的钛靶材进行检测，其中，超声波频率选择为5MHz。对所述扩散焊后的钛靶材进行检测与步骤S22基本相同，不同的是，图4中的目标探测物40为扩散焊后的钛靶材，超声波探头41产生的超声波在钛靶材的焊接表面(例如，钛_铝扩散焊层)传播，以检测钛靶材的扩散焊接质量。 步骤S28，根据超声波检测结果，评估钛靶材焊接表面的焊接质量。选用5MHz的超声进行检测，在大面积扩散焊焊接及缺陷尺寸较大时检测效果很好，可以直接从超声波探头接收的反射波的高度来判断界面质量；对于细小的缺陷，通过将反射的超声波信号转换为电信号并对其进行分析，可以获取缺陷的位置、大小和形状，从而实现对焊接质量好坏的定性和定量的评估，并且，通过检测能计算出0.00%的缺陷(计算出的缺陷率可以精确到小数点后两位)。 综上所述，上述实施例采用超声波对扩散焊后的钛靶材进行焊接质量检测，其无需破坏钛靶材，通过对超声波信号特征和扩散焊缺陷特征的分析，可以得到扩散焊焊接的缺陷位置、大小和形状评价的定量化直观结果，从而提高了扩散焊焊接质量检测的客观性和可靠性，并且减少了扩散焊焊接缺陷检测的漏检和误检问题。 虽然本发明已以较佳实施例披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
权利要求
一种靶材的检测方法，其特征在于，包括提供扩散焊后的靶材，所述靶材为钛或钛合金；对所述靶材进行超声波检测，其中，所述超声波的频率为2～8MHz。
2. 如权利要求1所述的靶材的检测方法，其特征在于，所述超声波的频率为5MHz。
3. 如权利要求2所述的靶材的检测方法，其特征在于，对所述靶材进行超声波检测是 用超声波探伤仪对所述靶材进行检测。
4. 如权利要求3所述的靶材的检测方法，其特征在于，在对所述靶材进行超声波检测 前还包括用超声波探伤仪对所述靶材的标准试样进行检测。
5. 如权利要求4所述的靶材的检测方法，其特征在于，所述用超声波探伤仪对所述靶 材的标准试样进行检测包括计算所述靶材的标准试样的缺陷率；在计算所得的缺陷率超 出预设范围时调整超声波探伤仪的感度。
6. 如权利要求5所述的靶材的检测方法，其特征在于，所述标准试样的缺陷率的预设 范围设定为3 5%，所述超声波探伤仪的感度为38 39dB。
7. 如权利要求3所述的靶材的检测方法，其特征在于，所述超声波检测是以水为介质。
8. 如权利要求7所述的靶材的检测方法，其特征在于，所述超声波探伤仪包括发送超 声波和接收超声波反射的超声波探头，所述超声波探头伸入水中的深度为6 10mm。
9. 如权利要求7所述的靶材的检测方法，其特征在于，所述超声波探伤仪还包括对所 述超声波进行滤波的过滤器，所述过滤器的频率为2MHz。
10. 如权利要求7所述的靶材的检测方法，其特征在于，所述超声波探伤仪还包括带动 超声波探头进行移动的超声波探头架，所述超声波探头架与靶材顶面的距离为95mm。
全文摘要
一种靶材的检测方法，包括提供扩散焊后的靶材，所述靶材为钛或钛合金；对所述靶材进行超声波检测，其中，所述超声波的频率为2～8MHz。所述靶材的检测方法无需破坏靶材，同时可以提高焊接质量检测的客观性和可靠性。
文档编号G01N29/22GK101699278SQ20091014898
公开日2010年4月28日 申请日期2009年6月16日 优先权日2009年6月16日
发明者刘庆, 周友平, 姚力军, 潘杰, 王学泽, 陈勇军 申请人:宁波江丰电子材料有限公司