目视检查装置和目视检查方法

专利名称：目视检查装置和目视检查方法
技术领域：
本发明涉及目视检查装置和目视检查方法，具体来说，涉及一种通过目视检查液 晶显示面板、等离子显示面板等的显示面板的缺陷的显示面板的目视检查装置和目视检查 方法。
背景技术：
在液晶显示面板等的显示面板中，通常，在单元工序的最终检查中，使面板实际亮 灯，检查点缺陷、线缺陷、斑点缺陷等的有无，即进行所谓的点亮检查。在该亮灯检查中，通 常是自动检查装置和被称为目视检查装置这两个种类的检查装置分别单独使用或者组合 使用。自动检查装置是以CXD照相机等拍摄使测试图案显示的显示面板，将其作为图像 数据，用计算机对该图像数据进行图像处理，并自动地判断有无缺陷的检查装置，因为不通 过检查人员的目视判断，因此具有缺陷有无的判断一律具有客观性、且处理能力也高这样 的优点。但是，另一方面，其还具有这样的缺点难以设定使装载于计算机的软件判断被图 像处理后的数据是否显示出缺陷时的阈值。即，为了避免缺陷的漏检而将阈值设定得较低 的话，软件会将面板上的灰尘、瑕疵也判断为缺陷，导致所谓的过度检测，产生制品的成品 率恶化这样的不良情况。相反，为了避免过度检测而将阈值设定得较高的话，就会忽略原来 必须被检测为缺陷的地方，从而导致缺陷的漏检。相对于此，目视检查装置是检查人员实际用眼睛观测显示测试图案的显示面板来 检查缺陷有无的装置，由于检查人员通过目视来判断缺陷的有无，因此相比自动检查装置 具有能够检查极细小的缺陷这样的优点。但是，还具有这样的缺点目视检查装置的缺陷检 测的精度往往有赖于检查人员的熟练程度，由于依靠于检查人员因此无法避免缺陷检测的 精度的差异，而且，还存在着检查费时间、效率低这样的不良情况。因此，想到将自动检查装置和目视检查装置两者组合，来互相弥补彼此的缺点。但 是，采用利用目视检查装置确认已由自动检查装置判断为有缺陷的面板的组合的话，例如， 为了避免缺陷的漏检而将自动检查装置的阈值设定得较低时，由自动检查装置判断为有缺 陷的面板的数量增加，将所有这些面板发送给目视检查装置，使其一个一个点亮来进行目 视检查时，检查花费非常多的时间，造成检查系统整体的处理能力大幅度下降这样的不良 情况。相反，为了抑制由目视检查装置所检查的面板的数量而将自动检查装置的阈值设定 得较高的话，则会忽略原来必须检测为缺陷的地方，从而产生发生缺陷的漏检这样的不良 情况，无论采用以上何种方式，都无法消除自动检查装置的阈值设定存在困难这样的问题 点ο为了消除该问题点，例如在专利文献1、2中提出了一种检查系统，即自动检查装 置，在对所读取的图像数据进行解析后判断为有缺陷时，使有关该面板的图像显示于监视 器画面，检查人员能够在监视器画面上确认缺陷的有无。采用这些检查系统，由于检查人员 仅在监视器画面上确认由自动检查装置判断有缺陷的面板的图像，因此与使检查面板一个一个点亮来进行目视检查的情况相比，具有能够高效率地进行目视检查这样的优点。但是，在这些以往的检查系统中，成为目视检查的对象的不是显示测试图案并点 亮了的显示面板，而是由自动检查装置拍摄的显示面板的显示图像，因此，虽说是目视检 查，还是具有其检查精度受到在自动检查装置中拍摄的图像的鲜明度或者分辨率等的制 约、而得不到目视检查原来的精度这样的缺点。
背景技术：
文献专利文献专利文献1 日本专利公开2001-289733号公报专利文献2 日本专利公开2004-279037号公报

发明内容
发明要解决的问题本发明正是为了解决上述现有技术的问题点而做成的，其课题在于提供一种较少 依靠于检查系统检查人员的熟练度、且检查效率良好的目视检查装置及目视检查方法、以 及具有这样的目视检查装置的检查系统。解决问题的手段本发明通过提供一种以下这样的目视检查装置以及提供具有这种目视检查装置 的检查系统，来解决上述问题所述目视检查装置是具有使测试图案显示在检查对象面板 上的单元的显示面板的目视检查装置，该目视检查装置具有测试图案存储单元；取得自 动检查装置所生成的自动检查结果信息的单元；根据所取得的上述自动检查结果信息，生 成与自动检查装置判断存在于检查对象面板上的缺陷有关的标记图案的单元；使所生成的 标记图案与测试图案重叠的单元；以及使与标记图案重叠的测试图案显示在检查对象面板 上的单元。本发明的目视检查装置的标记图案最好是与缺陷的种类以及/或者大小对应的 一种或多种图形以及/或者记号，其显示在与自动检查装置判断存在于检查对象面板上的 缺陷在检查对象面板上的位置相对应的位置上。本发明的目视检查装置通过将该标记图案 与测试图案重叠并使其显示在检查对象面板上，检查人员能够将注意集中在检查对象面板 上的特定的区域，与一开始就没有侧重地对整个检查对象面板进行检查的情形相比，效率 较高，且能够进行较少依赖于检查人员的熟练程度的高精度的目视检查。其结果，具有自动 检查装置以及目视检查装置两者的检查系统整体的处理能力提高，能够将自动检查装置的 阈值设定得较低，能够谋求缺陷漏检的减少。又，本发明的目视检查装置，较理想的是，具有监视器画面；将自动检查装置判 断为存在于检查对象面板上的缺陷显示在该监视器画面上的单元；使得能够从被显示的缺 陷中选择一个或者多个缺陷的单元；使得能够将被选择的缺陷与有关该缺陷的目视检查结 果相关联的单元；根据缺陷和与该缺陷相关联的目视检查结果，生成目视检查结果信息的 单元。由此，检查人员能够根据所实施的目视检查的结果，生成目视检查结果信息。该目视 检查结果信息可以就这样直接使用，也可以根据该目视检查结果信息，改写以前取得的自 动检查结果信息，作为综合的检查结果信息来利用。较理想的是，将自动检查装置判断存在于检查对象面板上的缺陷显示在监视器画面上的单元是，将至少显示有标记图案的检查对象面板的图像显示在监视器画面上的单 元。在显示有标记图案的检查对象面板的图像显示在监视器画面上时，由于被点亮的实际 的检查对象面板与显示在监视器画面上的检查对象面板的图像相对应，因此具有能容易地 从显示在监视器画面上的缺陷中选择一个或者多个缺陷的优点。在本发明的检查系统中，可以将目视检查装置中的使测试图案显示在面板上的单 元生成自动检查装置中的使测试图案显示在检查对象面板上的单元。这时，自动检查装置 和目视检查装置中，使测试图案显示在面板上的单元是共同的，能够根据自动检查结果信 息，使标记图案就这样显示在自动检查装置检查结束了的检查面板上，来实施目视检查。本发明还通过提供这样一种目视检查方法来解决上述课题，其包括将检查对象 面板搬入目视检查装置的检查位置的工序；取得自动检查装置对于搬入到检查位置的检查 面板所生成的自动检查结果信息的工序；根据所取得的自动检查结果信息，对于自动检查 装置判断存在于该检查对象面板上的缺陷，生成标记图案的工序；使所生成的标记图案与 测试图案重叠，并使其显示在处于检查位置上的检查对象面板上的工序。在本发明的目视检查方法中，根据在事先进行的自动检查中生成的自动检查结果 信息，将与自动检查装置判断存在于检查对象面板上的缺陷有关的标记图案显示在检查对 象面板上，因此与一开始就没有侧重地对整个检查对象面板进行检查的情形相比，检查人 员能够进行效率高、且精度高的目视检查。因此，检查效率提高，能够将自动检查装置的阈 值设定得较低，能够谋求缺陷漏检的减少。发明的效果采用本发明的显示面板的目视检查装置以及目视检查方法，由于自动检查装置判 断存在于检查对象面板上的缺陷被作为标记图案与测试图案重叠，显示在检查对象面板 上，因此使用目视检查装置的检查人员可以将注意集中在由标记图案表示的面板上的特定 区域，来判断缺陷的有无。因此，其与没有侧重地对面板整个区域进行检查的情形相比，具 有这样的优点缺陷发现的精度提高，即使是经验尚浅的检查人员，也能够高效率地进行 高精度的目视检查，可以高效率地进行对检查人员的熟练程度依赖较小的高精度的目视检 查。尤其是，在所述标记图案是由与缺陷的种类以及/或者大小对应的一种或多种图 形以及/或者记号构成的图案时，通过查看显示在面板上的标记图案，不仅可以得到有存 在可能性的缺陷的位置，还可以得到与该种类、大小有关的信息，因此具有检查效率大幅度 上升这样的优点。又采用具有自动检查装置和本发明的目视检查装置的本发明的检查系统，由于目 视检查装置的检查效率高，因此可以将自动检查装置的阈值设定得较低，具有可以防止自 动检查装置漏检缺陷这样的优点。又，通过将自动检查装置的阈值设定得较低，即使自动检 查装置中判断为有缺陷的面板的比例增加，在后续进行的目视检查装置中，可以高效率地 进行高精度的目视检查，因此具有不会对检查系统整体过度检测，不会使制品的成品率不 必要地降低这样的优点。


图1是显示本发明的检查系统的一例的概念图。
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图2是显示本发明的目视检查装置的一例的概略图。图3是目视检查装置的检查部的概念图。图4是表示显示于面板上的标记的一例的图。图5是表示显示于面板上的标记的其他实例的图。图6是表示显示于面板上的标记的另一实例的图。图7是表示标记图案的一例的图。符号说明1检查系统
2自动检查装置
3目视检查装置
4网络
5管理服务器
6装载部
7检查部
8监视器画面
9校准摄像装置
10探测单元
11检查面板
12计算机
13存储装置
14输入输出装置
15测试图案存储装置
16标记图案生成装置
17图案合成装置
18驱动装置
具体实施例方式下面，使用附图，以检查面板为液晶显示面板的情形为例，对本发明进行详细的说 明，但是本发明当然并不限于图示的结构。图1是显示本发明的检查系统的一例的概念图。在图1中，1表示本发明的检查 系统，2是自动检查装置，3是本发明的目视检查装置，4是例如设置在工厂内的LAN等的网 络，5是管理服务器。如图所示，自动检查装置2、目视检查装置3、以及管理服务器5通过网 络4以有线或者无线的方式常时或者随时连接，能够根据需要交换数据、命令，这些部分作 为整体形成本发明的检查系统1。自动检查装置2是通常的自动检查装置，具有使测试图案显示于检查对象面板的 单元、将显示有测试图案的检查对象面板的显示画面作为图像数据取得的图像数据取得单 元、对所取得的图像数据进行解析的图像处理单元、根据被解析的图像数据生成自动检查 结果信息的单元、对所生成的自动检查结果信息进行存储的存储单元。例如，自动检查装置2与后述的目视检查装置3同样包括装载部，该装载部取得
6检查对象面板，将其放置在放置台上并输送至检查部；校准摄像装置，其对被输送到检查部 的检查面板进行位置对准；与检查面板的电极接触的探测单元；向探测单元供给信号，点 亮检查面板，并使测试图案显示的检查部；以及存储测试图案的存储装置，由此，能够使测 试图案显示于检查对象面板。另外，存储测试图案的存储装置也可以设置在管理服务器5 上。而且，自动检查装置具有电视摄像装置、CXD摄像装置等拍摄装置作为图像数据取 得单元，该图像数据取得单元取得显示有测试图案的检查对象面板的显示画面作为图像数 据，还具有计算机和使该计算机进行上述图像处理以及自动检查结果信息的生成的程序， 其作为对所取得的图像数据进行解析的图像处理单元以及根据被解析的图像数据生成自 动检查结果信息的单元。设置于自动检查装置2的计算机使得所生成的自动检查结果信息 存储于包含在自动检查装置2内的存储装置或者设置在管理服务器5中的存储装置中，或 者存储于这两者中。另外，在由自动检查装置2检查的各个检查面板上，使用例如2维条形码、IC标签 等，附加有识别用ID，设置于自动检查装置2的计算机使用电视摄像装置、CCD摄像装置、IC 标签读出装置等恰当的单元，在装载部或者检查部读取各检查面板的识别用ID。所生成的 上述自动检查结果信息与所读取的该检查面板的识别用ID相关联，被存储于配置在自动 检查装置2内的存储装置或者设置在管理服务器5中的存储装置中，或者存储于这两者中。 此时，也可以将对该检查面板拍摄得到的图像数据以及/或者该图像数据的解析结果一并 进行存储。图2是表示本发明的目视检查装置3的一例的概略图。在图2中，6是装载部，7 是检查部，这些装载部6以及检查部7形成目视检查装置3。8是设置在检查部7上的监视 器画面，9、9是设置在检查部7上的校准摄像装置，10、10是同样设置在该检查部7中的探 测单元，11是检查面板。装载部6具有这样的功能其利用例如机械手，从未图示的输送装置取得作为检 查对象的液晶面板，将其放置于能够向XYZ θ方向移动的放置台上，并输送至检查部7。检 查部7使用校准摄像装置9、9和放置台进行位置对准，以使得被放置于放置台上的检查面 板11位于规定的检查位置上。位置对准结束时，探测单元10、10紧贴在检查面板11的电 极上，检查面板11点亮，显示测试图案等。检查人员利用眼睛观察测试图案等来进行目视 检查。检查结束了的检查面板11被输送到装载部6上，被返回至外部的输送装置。目视检 查装置3的这些动作是在收容于检查部7中的计算机的控制下进行的。图3是显示检查部7的构成的概念图。图3中，12是计算机，13是存储装置，14是 输入输出装置，15是测试图案存储装置，16是标记图案生成装置，17是图案合成装置，18是 使测试图案等显示于液晶面板11上的驱动装置。如图3所示，计算机12通过信号线与存 储装置13、输入输出装置14、测试图案存储装置15、标记图案生成装置16以及监视器画面 8连接，计算机12通过有线或者无线的方式与网络4连接。 下面，使用图2以及图3，说明本发明的目视检查装置3的动作、以及本发明的目视 检查方法。首先，未图示的检查人员通过输入输出装置14指示计算机12开始检查面板时， 计算机12向装载部6发送命令，取入在外部的输送装置上待机的检查面板11，将其放置在 放置台上后，输送至检查部7。检查面板11向检查部7的输送结束后，计算机12向检查部7发送命令，使用校准摄像装置9、9以及放置台，将被输送的检查面板11的位置对准到检查 部7的规定的检查位置上。被附加在检查面板11上的识别用ID与上述的自动检查装置2中的相同，通过设 置在检查部7上的合适的读取单元读取，暂时存储在存储装置13中，同时显示在监视器画 面8中。另外，附加在检查面板11上的识别用ID的读取也可以通过装载部6来进行。识别用ID的读取结束时，计算机12自动地或者等待输入输出装置14的指示，通 过网络4要求发送有关所读取的识别用ID的检查面板11的自动检查结果信息。在自动检 查结果信息存储于自动检查装置2的存储装置中时，该要求对于自动检查装置2发出，在自 动检查结果信息存储于管理服务器5中时，该要求对于管理服务器5发出。从自动检查装 置2或者管理服务器5接收到该检查面板11的自动检查结果信息时，计算机12将其发送 到标记图案生成装置16。标记图案生成装置16根据被发送来的自动检查结果信息，生成关于该检查面板 11的标记图案。标记图案生成装置16的标记图案的生成，例如如下面那样进行。S卩，标记 图案生成装置16根据被发送来的自动检查结果信息，对于被判断为存在于该检查面板11 的一个或者多个缺陷，辨别该缺陷是例如点缺陷、线缺陷或者斑点缺陷中的哪一种，将该辨 别结果与各缺陷相关联，并存储到存储装置13中。在标记图案生成装置16具有独自的存 储装置的情况下，也可以存储在该存储装置中。缺陷种类的辨别能够根据包含于自动检查 结果信息中的各个缺陷的位置信息来进行。在被发送来的自动检查结果信息中已经包含有 关于各个缺陷的种类的信息的情况下，也可以直接利用。在存储装置13或者标记图案生成装置16内的存储装置中，存储有将缺陷的种类 与作为标记显示的图形或者记号以及它们的颜色对应的对应表格。例如，点缺陷的标记图 形是“圆”，其颜色为“红色”，线缺陷的标记记号为“ X ”，其颜色为“绿色”，斑点缺陷的标记 图形为“四边形”，其颜色为“蓝色”，上述这样的对应关系存储在对应表格中。顺便提一下， 这些标记图形或者记号以及它们的颜色只不过是一个实例。当然也可以使其他的图形或者 记号、或者其他的颜色与各缺陷相对应，例如检查人员可以从输入输出装置14通过计算机 12来进行恰当地设定、変更设定于上述对应表格中的图形、记号及其颜色。而且，可以使这 些作为标记的图形或者记号闪烁，或在这些图形或者记号上附加箭头等记号，从而容易地 引起检查人员的注意。接下来，标记图案生成装置16根据包含于被发送来的自动检查结果信息中的各 个缺陷的位置信息和先前判别了的缺陷的种类，对于各个缺陷，算出形成所要显示的标记 的单元格(力 >)在检查面板11上的单元格地址。例如，在第1个缺陷是点缺陷的情况下， 标记图案生成装置16从上述缺陷种类与标记对应的对应表格中，读出标记为“圆”且颜色 为“红色”，算出在检查面板11上以被认为存在点缺陷的单元格为中心的画“圆”的单元格 的地址。被算出的单元格的地址作为关于第1个缺陷的标记图案，与该标记的颜色一起存 储于存储装置13或者标记图案生成装置16内的存储装置中。根据被算出的单元格的地址，作为显示于检查面板11上的标记的“圆”，例如在图 4中表示为Mp如图4所示，标记M1作为以由自动检查装置判断为缺陷的点缺陷D1为中心 的适当半径的“圆”，显示于检查面板11上。另外，为了方便说明，在图4中一并表示出标记 M1与点缺陷D1，但缺陷D1是检查人员通过目视判断其存在的有无的对象物，并不显示于检查面板11上。而且，在图4中没有赋予标记M1颜色，但是标记M1实际上以对应表格中相对 于点缺陷的标记设定的颜色、例如“红色”显示于检查面板11上。作为标记虬的“圆”的半径可以设定为恰当的大小。如果“圆”的半径太小的话， 难以在检查面板11上找到该“圆”，而如果太大的话，则由该“圆”包围的区域过大，将作为 标记的“圆”显示于检查面板11上的意义就失去了，因此不太理想。作为标记的“圆”的半 径较理想的是，检查人员可以从输入输出装置14通过计算机12适当地进行设定、变更。而且，在点缺陷存在有多个，作为对各个点缺陷的标记的“圆”重叠时，标记图案生 成装置16通过计算求出成为那些多个点缺陷的中心的单元格(力 > )的地址，从而可以算 出单元格的地址以显示以该单元格为中心覆盖多个点缺陷的半径的“圆”。第2个缺陷例如是线缺陷时，标记图案1生成装置16从上述缺陷种类与标记的对 应表格中读取标记为“ X ”且颜色为“绿色”，算出在检查面板11上的被认为存在线缺陷的 单元格列的两端绘出“X”这样记号的单元格的地址。被算出的单元格的地址，作为关于第 2个缺陷的标记图案，与该标记的颜色一起存储于存储装置13或者标记图案生成装置16内 的存储装置中。根据被算出的单元格的地址，作为显示于检查面板11的标记的“X”，是例如在图 5中表示为M2、M2 (在图5中，将图4所示的标记M1以及缺陷D1 —并表示出)。如图5所示， 标记M2、M2作为2个“ X ”记号，被显示在检查面板11上，这2个“ X ”记号将由自动检查装 置判断为缺陷的线缺陷D2的两端作成各自的2根线的交点。另外，为了方便说明，在图5中 一并表示出标记M2、M2和线缺陷D2,但缺陷D2是检查人员通过目视判断其存在的有无的对 象物，并不显示于检查面板11上。而且，在图5中没有赋予标EM2、M2颜色，但是标EM2、M2 实际上以对应表格中相对于线缺陷的标记设定的颜色、例如“绿色”显示于检查面板11上。在图5中，标记M2、M2两个一组，显示于夹着线缺陷D2的两端的位置，但是也可以 将记号“ X ”仅显示在线缺陷D2的一端，也可以将一个“X”记号显示在成为线缺陷D2的中 央的位置。而且，当仅在线缺陷D2的一端、或者仅在中央部显示记号“ X，，时，如果根据线 缺陷D2的长度改变记号“ X，，的大小，在线缺陷D2较长时，将记号“ X，，显示得较大，相反， 在线缺陷D2较短时，将记号“ X，，显示得较小，则可以根据记号“ X，，的大小知道被认为存 在线缺陷D2的线状区域的大概长度，因此是比较便利的。第3个缺陷例如是斑点缺陷时，标记图案生成装置16从上述缺陷种类与标记的对 应表格中读取标记为“四边形”且颜色为“蓝色”，算出表示有包围检查面板11上的被认为 存在斑点缺陷的区域的“四边形”的单元格的地址。被算出的单元格的地址，作为有关第3 个缺陷的标记图案，与该标记的颜色一起存储于存储装置13或者标记图案生成装置16内 的存储装置中。根据被算出的单元格的地址，作为显示于检查面板11上的标记的“四边形”，例如 在图6中表示为M3 (在图6中，将图5所示的标记虬、M2, M2以及缺陷Dp D2 一并表示出)。 如图6所示，标记M3以包围着由自动检查装置判断为缺陷的斑点缺陷D3的“四边形”，显示 于检查面板11上。另外，为了方便说明，在图6中一并表示出标记M3与斑点缺陷D3，但缺 陷D3是检查人员通过目视判断其存在的有无的对象物，并不显示于检查面板11上。而且， 在图6中没有赋予标记M3颜色，但是标记M3实际上以对应表格中相对于斑点缺陷的标记设 定的颜色、例如“蓝色”显示于检查面板11上。
重复以上那样的操作，标记图案生成装置16对于包含在所接收的自动检查结果 信息中的全部缺陷，算出应该显示的标记的单元格的地址，与该标记的颜色一起，存储在存 储装置13或者标记图案生成装置16内的存储装置中，生成标记图案。所生成的标记图案， 例如是图7中所示那样的图案。该标记图案显示在监视器画面8中，可以确认其内容。标记图案的生成结束时，计算机12自动地或者等待输入输出装置14的指示，将标 记图案生成装置16所生成的标记图案发送到图案合成装置17，并将存储在测试图案存储 装置15中的适当的测试图案发送给图案合成装置17。被发送的标记图案和测试图案通过 图案合成装置17合成、重叠，被发送给驱动装置18，显示在检查面板11上。在测试图案存储装置15中，存储有一种或者多种测试图案，检查人员可以从输入 输出装置14通过计算机12，针对每个检查面板选择、指定发送给图案合成装置17的测试 图案的种类，而且，检查人员对存储在测试图案存储装置15中的测试图案的变更、更新、更 换，也可以从输入输出装置14通过计算机12适当地进行。如上所述，如果测试图案和标记图案以重叠的状态显示在检查面板11上，则检查 人员将注意集中在显示有标记图案的部分上，通过目视对自动检查装置判断为存在的各个 缺陷的有无进行检查。另外，标记图案在检查面板11上的显示，可以由检查人员通过输入输出装置14对 计算机12发出指示，来统一进行打开 关闭。因此，在不需要时，检查人员能够关闭标记图 案的显示，仅在检查面板11上显示测试图案来进行检查，在需要时，检查人员能够打开标 记图案的显示，如上所述，可使测试图案和标记图案两者都显示在检查面板11上来进行检查。而且，在必要时，检查人员可以通过输入输出装置14向计算机12发出指示，由此 对构成标记图案的标记中的一个或多个标记进行选择，对于每个标记，分别打开 关闭其在 检查面板11上的显示，或者使其闪烁，或者变更其颜色。因此，检查人员对于例如目视检查 结束了的标记、被认为不要的标记，关闭其在检查面板11上的显示，使其不显示，相反，对 于被认为必要的标记，打开其在检查面板11上的显示，使其显示，或者使其闪烁，或者改变 其颜色使其容易辨别，从而可以谋求目视检查的效率化。对作为对象的标记的选择，例如， 可以通过使标记图案显示在监视器画面上利用手指触碰想选的标记，或者通过鼠标点击等 手段，在监视器画面上进行。检查人员进行目视检查时，在监视器画面8上显示有成为检查对象的检查面板11 的识别用ID以及检查面板的图像，该检查面板的图像显示有测试图案以及标记图案。该检 查面板的图像例如根据图案合成装置17的输出，通过计算机12生成，并被发送给监视器画 面8。检查人员，如下面所述，可以介由显示在该监视器画面8上的检查面板的图像，通过目 视对检查面板11上进行检查，并将所得到的检查结果输入到计算机12。例如，图7所示的标记图案与测试图案一起显示在检查面板11上，检查人员在检 查面板11上目视检查由标记M1所示的圆形区域内有无点缺陷，判断为点缺陷“存在”或者 “不存在”时，检查人员在显示于监视器画面8上的检查面板的图像上，通过手指触碰或者通 过鼠标点击来选择与标记M1相对应的部分，此时，在打开的窗口或者下拉式菜单上指定缺 陷“有”或者“无”中的某一个，或者通过手指触碰或通过鼠标点击显示在监视器画面8上 的缺陷“有”或者“无”的选择按钮中的某一个，由此将与该缺陷有关的目视检查结果与该缺陷相关联，输入到计算机12。S卩，显示在监视器画面8上的、显示有标记图案的检查面板的图像，是显示自动检 查装置判断为检查面板11上存在的缺陷的单元，同时对于检查人员，还是可以从那些被显 示的缺陷中选择一个缺陷的手段。又，显示于在选择了缺陷时打开的窗口或者下拉式菜单 中的缺陷“有”或者“无”的选项、以及显示在监视器画面8上的缺陷“有”或者“无”的选择 按钮，对于检查人员来说，是能够将被选择的缺陷与有关该缺陷的目视检查结果相关联的 单元。检查人员在监视器画面8上选择的缺陷可以为多个，在这种情况下，可以汇总与 所选择的多个缺陷有关的目视检查结果，使它们与这些多个缺陷相关联，并输入到计算机 12中。又，在上述的实例中，虽然使得显示有标记图案和测试图案两者的检查面板图像显示 在监视器画面8上，但是，显示在监视器画面8上的检查面板图像也可以仅显示标记图案。另外，可以从自动检查装置判断在检查面板11上存在的缺陷中选择一个或多个 缺陷的单元，并不仅限于显示在监视器画面8上的检查面板的图像。例如，也可以对显示在 监视器画面8上的检查面板的图像中所显示的缺陷分别标注号码，将与该号码对应的一览 表显示在监视器画面8上，在该一览表上选择对象缺陷，以及输入与被选择的欠陷有关的 目视检查结果。通过反复进行上述那样的操作，检查人员根据显示在检查面板11上的标记图案， 对于自动检查装置判断有缺陷的检查面板11上的全部区域，检查有无缺陷，并通过监视器 画面8将其结果输入给计算机12。所输入的检查结果作为目视检查结果信息，与检查面板 11的识别用ID相关联，并存储在存储装置13中。这样生成的目视检查结果信息，作为目视 检查结果信息，可以用作为与自动检查结果信息不同的信息，也可以根据目视检查结果信 息，改写相对应的检查面板的自动检查结果信息，生成新的检查结果信息，并将其作为综合 的检查结果信息来进行利用。如上所述，采用本发明的目视检查装置3、以及本发明的目视检查方法，在检查面 板11的点亮检查时，表示自动检查装置2判断存在缺陷的检查面板11上的位置或者区域 的标记图案，与测试图案一起显示在检查面板11上，因此检查人员可以仅将注意集中在显 示有标记图案的部分来进行目视检查，因此即便是经验尚浅的检查人员，也能够高效率地 进行高精度的目视检查。又，采用本发明的目视检查装置3，即便检查面板11上不能显示标记图案的情形， 由于监视器画面8上显示有检查面板的图像，该检查面板的图像显示有标记图案和测试图 案，因此检查人员看监视器画面8就能够知道被判断为检查面板11上的缺陷的位置或者区 域，可以高效率地进行高精度的目视检查。因此，采用图1所示其一例的本发明的检查系统1，可以将自动检查装置的缺陷辨 别的阈值设定得较低，可以尽可能地将缺陷漏检的危险性抑制得较低，由于将阈值设定得 较低，因为有缺陷而被判断为不良品的面板的比例增加，但是通过后续进行的本发明的目 视检查装置3进行高精度的目视检查，制品的成品率不会不必要地降低。这样，本发明的检 查系统1，克服了以往的问题，即自动检查装置的阈值设定的困难性，可以没有缺陷漏检地、 高效率地进行高精度的检查。另外，本发明的检查系统1，必要的话，可以将使测试图案显示在自动检查装置2
11的检查对象面板上的单元，以及使测试图案显示在目视检查装置3的面板上的单元作为相 同的单元。这时，自动检查装置2和目视检查装置3，除了使测试图案显示在检查对象面板 上的单元之外，是将互相缺乏的要素相加融合了的检查装置，在1台检查装置中，首先，进 行自动检查，将其结果生成为自动检查结果信息之后，可以使用相同装置，进行目视检查。 这时，将检查面板11输送到检查部7进行位置对准的作业只要一次即可，因此具有效率高 的优点。又，上述说明的实例中，目视检查装置3的目视检查只是针对自动检查装置2判断 有缺陷的面板进行，但是，也可以根据需要，对于被自动检查装置2检查了的全部面板进行 通过目视检查装置3的目视检查。本发明的目视检查装置以及检查系统、还有本发明的目视检查方法的检查对象即 显示面板，不限于液晶显示面板，可以将等离子显示面板、EL显示面板、场致发射显示面板、 电子纸等对面板上的缺陷进行自动检查以及目视检查的全部显示面板作为对象。产业上的可利用性如上所述，采用本发明的目视检查装置和具备该目视检查装置的检查系统，以及 目视检查方法，可以不漏检地、高精度且高效率地进行显示面板的缺陷检查，因此在有关显 示面板的制造的产业领域中，具有很大的产业上的可利用性。
权利要求
一种显示面板的目视检查装置，该目视检查装置具有使测试图案显示在检查对象面板上的单元，其特征在于，该目视检查装置具有测试图案存储单元；取得自动检查装置所生成的自动检查结果信息的单元；根据所取得的上述自动检查结果信息，生成与自动检查装置判断存在于检查对象面板上的缺陷有关的标记图案的单元；使所生成的标记图案与测试图案重叠的单元；以及使与标记图案重叠的测试图案显示在检查对象面板上的单元。
2.如权利要求1所述的目视检查装置，其特征在于，所述标记图案是与缺陷的种类以 及/或者大小对应的一种或多种图形以及/或者记号，其显示在与自动检查装置判断存在 于检查对象面板上的缺陷在检查对象面板上的位置相对应的位置上。
3.如权利要求1或者2所述的目视检查装置，其特征在于，具有统一地或者针对每个标 记分别地打开、关闭标记图案在检查对象面板上的显示的单元。
4.如权利要求1或者2所述的目视检查装置，其特征在于，具有监视器画面；将自动 检查装置判断存在于检查对象面板上的缺陷显示在该监视器画面上的单元；使得能够从被 显示的缺陷中选择一个或者多个缺陷的单元；使得能够将被选择的缺陷与有关该缺陷的目 视检查结果相关联的单元；根据缺陷和与该缺陷相关联的目视检查结果，生成目视检查结 果信息的单元。
5.如权利要求4所述的目视检查装置，其特征在于，具有根据所生成的目视检查结果 信息，改写所取得的自动检查结果信息，生成检查结果信息的单元。
6.一种显示面板的检查系统，其特征在于，具有自动检查装置和目视检查装置，该自动 检查装置具有使测试图案显示在检查对象面板上的单元；将显示有测试图案的检查对象 面板的显示画面作为图像数据取得的图像数据取得单元；对所取得的图像数据进行解析的 图像处理单元；根据被解析的图像数据生成自动检查结果信息的单元；存储所生成的自动 检查结果信息的存储单元，所述目视检查装置是如权利要求1-5中任意一项所述的目视检 查装置。
7.如权利要求6所述的检查系统，其特征在于，自动检查装置中的使测试图案显示在 检查对象面板上的单元是目视检查装置中的使测试图案显示在面板上的单元。
8.一种目视检查方法，其特征在于，包括将检查对象面板搬入目视检查装置的检查 位置的工序；取得自动检查装置对搬入到检查位置的检查面板所生成的自动检查结果信息 的工序；根据所取得的自动检查结果信息，对于自动检查装置判断存在于该检查对象面板 上的缺陷，生成标记图案的工序；使所生成的标记图案与测试图案重叠，并使其显示在处于 检查位置上的检查对象面板上的工序。
9.如权利要求8所述的目视检查方法，其特征在于，所述标记图案是与缺陷的种类以 及/或者大小对应的一种或多种图形以及/或者记号，其显示在与自动检查装置判断为存 在于检查对象面板上的缺陷在检查对象面板上的位置相对应的位置上。
全文摘要
本发明提供一种对检查人员的熟练程度依赖较小、检查效率高的目视检查装置以及目视检查方法，以及具有这样的目视检查装置的检查系统。所述目视检查装置是具有使测试图案显示在检查对象面板上的单元的显示面板的目视检查装置，该目视检查装置具有测试图案存储单元；取得自动检查装置所生成的自动检查结果信息的单元；根据所取得的上述自动检查结果信息，生成与自动检查装置判断为存在于检查对象面板上的缺陷有关的标记图案的单元；使所生成的标记图案与测试图案重叠的单元；以及使与标记图案重叠的测试图案显示在检查对象面板上的单元。
文档编号G01N21/88GK101893579SQ20101015560
公开日2010年11月24日 申请日期2010年3月26日 优先权日2009年5月19日
发明者水野邦广, 铃木孝治 申请人:日本麦可罗尼克斯股份有限公司