专利名称：线宽测量方法
技术领域：
本发明涉及半导体测量领域，特别涉及一种线宽测量方法。
背景技术：
在半导体加工工艺过程中，经常需要测量形成的带线(lines)图案的宽度，以确定其是否符合工艺的要求，从而保证器件的性能。如对于MOS (金属-氧化物-半导体)晶体管的栅极、存储器中的字线、位线等，在形成相应的图案后，需要对其宽度进行测量。现有技术中通常使用扫描电子显微镜(SEM)或透射电子显微镜(TEM)对带线图案的宽度进行测量，其中透射电子显微镜的测量精度较高，但是在观测前需要进行复杂的样品制备过程，耗时太长，一般较少使用。图1示出了现有技术的一种线宽测量方法的剖面图及相应的形貌观测图，该方法主要包括提供基底10，所述基底10的表面上形成有凸起的带线图案11和带线图案12，使用扫描电子显微镜对所述扫描观测，得到所述基底10、带线图案11和带线图案12的形貌观测图，之后根据所述形貌观测图确定带线图案11和带线图案12的宽度。以图1中的带线图案11为例，由于扫描电子显微镜工作原理是使用电子束扫描样品的表面，并对激发出的信号进行检测、放大后形成形貌观测图，因此在带线图案11的侧壁的部分会产生部分弯曲形变，很难明确界定出带线图案11的侧壁的边界。现有技术通常将形貌观测图中信号低点变化至高点的50%的位置作为边界，如对于带线图案11，分别将其两侧的信号低点至高点的50%的位置Ll和L2作为边界，以位置Ll和L2之间的距离作为带线图案11的宽度。 然而Ll和L2不可能完全与带线图案11的边界重合，因而在测量过程中引入了不确定性 (uncertainty)，导致较大的误差。随着器件的特征尺寸(CD，Critical Dimension)的不断减小，带线图案11的宽度也相应减小，会加剧测量过程中的不确定性，导致测量结果的误差较大。
发明内容
本发明解决的问题是提供一种线宽测量方法，降低测量过程中的不确定性，减小误差。为解决上述问题，本发明提供了一种线宽测量方法，包括提供基底，所述基底的表面上形成有凸起的带线图案，所述带线图案具有宽度；在所述带线图案的宽度方向的两侧侧壁上分别形成第一测量结构和第二测量结构；去除所述带线图案；测量所述第一测量结构和第二测量结构的间距，所述间距去除设定误差后为所述带线图案的宽度。可选的，使用扫描电子显微镜测量所述第一测量结构和第二测量结构的间距。可选的，所述在所述带线图案的宽度方向的两侧侧壁上分别形成第一测量结构和第二测量结构包括形成测量辅助层，覆盖所述基底和带线图案；对所述测量辅助层进行回刻，形成所述第一测量结构和第二测量结构。可选的，所述在所述带线图案的宽度方向的两侧侧壁上分别形成第一测量结构和第二测量结构包括形成测量辅助层，覆盖所述基底和带线图案；对所述测量辅助层进行平坦化，使其表面与所述带线图案的表面齐平，形成所述第一测量结构和第二测量结构。可选的，所述设定误差为零。可选的，所述设定误差通过如下方法确定使用透射电子显微镜测量所述带线图案的宽度；使用扫描电子显微镜测量所述第一测量结构和第二测量结构的间距；所述系统误差等于所述第一测量结构和第二测量结构的间距减去所述透射电子显微镜测量所得的带线图案的宽度。可选的，所述第一测量结构和第二测量结构的材料与所述带线图案的材料不同， 采用湿法刻蚀去除所述带线图案。可选的，所述在所述带线图案的宽度方向的两侧侧壁上分别形成第一测量结构和第二测量结构包括在所述带线图案的宽度方向的两侧基底上分别形成第一辅助带线和第二辅助带线，所述第一辅助带线和第二辅助带线的表面与所述带线图案的表面齐平，且关于所述带线图案对称；在所述基底上形成测量辅助层并进行平坦化，使其表面与所述带线图案的表面齐平；去除所述第一辅助带线和第二辅助带线，形成所述第一测量结构和第二测量结构。可选的，位于所述第一辅助带线与所述带线图案之间以及所述第二辅助带线与所述带线图案之间的测量辅助层的宽度等于预设宽度，所述线宽测量方法还包括所述带线图案的宽度等于所述第一测量结构和第二测量结构的间距减去所述预设宽度。可选的，所述第一辅助带线和第二辅助带线的材料与所述带线图案的材料相同， 所述测量辅助层的材料与所述带线图案的材料不同，采用湿法刻蚀去除所述第一辅助带线、第二辅助带线和带线图案。与现有技术相比，本发明的技术方案有如下优点本技术方案在带线图案的宽度方向的两侧侧壁上分别形成第一测量结构和第二测量结构，之后去除所述带线图案，通过测量所述第一测量结构和第二测量结构之间的间距去除设定误差来确定所述带线图案的宽度，从而将宽度的测量过程转化为间距的测量过程，利于降低测量过程中引入的不确定性，减小测量误差。
图1是现有技术的一种线宽测量方法的剖面图以及形貌测量图；图2是本发明线宽测量方法实施方式的流程示意图3至图5是本发明线宽测量方法第一实施例的各中间结构的剖面图；图6是本发明线宽测量方法第一实施例的最终结构的剖面图以及测量图；图7至图8是本发明线宽测量方法第二实施例的各中间结构的剖面图；图9是本发明线宽测量方法第二实施例的最终结构的剖面图以及测量图；图10至图12是本发明线宽测量方法第三实施例的各中间结构的剖面图；图13是本发明线宽测量方法第三实施例的最终结构的剖面图以及测量图。
具体实施例方式现有技术的线宽测量方法中，通常将扫描电子显微镜下信号低点至高点的50%处作为带线图案的边界，从而在测量过程中引入了不确定性，增大了测量误差。发明人经过研究发现，将宽度的测量转换为间距的测量能够降低不确定性，减小误差。仍然参考图1，在测量带线图案11和带线图案12的间距时，同样使用扫描电子显微镜扫描基底10以及带线图案11和带线图案12的形貌，之后确定测量基准点，例如分别以带线图案11的中心线LO和带线图案12的中心线L3作为测量基准点，则中心线LO和中心线L3之间的距离就是所述带线图案11和带线图案12的间距。由于中心线LO和中心线L3 的位置较容易确定，其中引入的不确定性较小，使得测量结果的误差较小。同理，也可以分别选择一侧边界线的估算位置Ll和L4作为测量基准点，或者另一侧边界线的估算位置L2 和L5作为测量基准点来计算二者的间距，由于所述估算位置Ll和L4、L2和L5都是以信号低点至高点的50%来确定的，因此，二者的不确定性相互抵消而降低，使得测量结果的误差较小。本技术方案在带线图案的宽度方向的两侧侧壁上分别形成第一测量结构和第二测量结构，之后去除所述带线图案，通过测量所述第一测量结构和第二测量结构之间的间距并去除设定误差后确定所述带线图案的宽度，从而将宽度的测量过程转化为第一测量结构和第二测量结构之间的间距测量过程，利于降低测量过程中引入的不确定性，减小测量误差。为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式
做详细的说明。在以下描述中阐述了具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以多种不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广。因此本发明不受下面公开的具体实施方式
的限制。图2示出了本发明实施方式的线宽测量方法的流程示意图，如图2所示，包括步骤S21，提供基底，所述基底的表面上形成有凸起的带线图案，所述带线图案具有宽度；步骤S22，在所述带线图案的宽度方向的两侧侧壁上分别形成第一测量结构和第二测量结构；步骤S23，去除所述带线图案；步骤S24，测量所述第一测量结构和第二测量结构的间距，所述间距去除设定误差后为所述带线图案的宽度。下面结合各个实施例对本发明的实施方式进行详细说明。
第一实 施例参考图3，提供基底20，所述基底20的表面上形成有凸起的带线图案21，所述带线图案21具有宽度。所述基底20可以为半导体材料，如单晶硅、锗、锗硅或III-V族化合物中的一种，还可以是绝缘体上硅(S0I，Silicon On Insulator)结构或硅上外延层结构，其中可以形成有半导体器件以及互连结构等。所述带线图案21可以为MOS晶体管形成工艺中的多晶硅材料的栅电极，或者存储器中铝材料的字线、位线等。在本实施例中，所述带线图案21为栅电极，其材料为多晶硅。参考图4，形成测量辅助层22，覆盖所述基底20和带线图案21。所述测量辅助层 22的材料与带线图案21的材料不同，可以为氮化硅、氧化硅、光刻胶等，本实施例中所述测量辅助层22的材料为氧化硅，其形成方法为化学气相沉积(CVD)。参考图5，对所述测量辅助层进行回刻(etch back)，分别在所述带线图案21 的两侧侧壁上形成第一测量结构22a和第二测量结构22b。所述回刻过程为各向异性 (anisotropic)的刻蚀过程，与MOS晶体管中侧墙(spacer)的形成过程类似的，所述带线结构21侧壁上的部分测量辅助层并不会被刻蚀去除。需要说明的是，在经过所述回刻工艺之后，带线图案21四周的侧壁上都保留有测量辅助层，所述第一测量结构22a和第二测量结构22b指的是沿带线图案21的宽度方向的两侧侧壁上残留的测量辅助层。参考图6，去除所述带线图案，测量所述第一测量结构22a和第二测量结构22b之间的间距，所述间距去除设定误差后为所述带线图案的宽度。本实施例中采用湿法刻蚀去除所述带线图案，反应溶液为四甲基氢氧化铵(TMAH)，将多晶硅材料的带线图案选择性去除。之后，使用扫描电子显微镜对所述基底20、第一测量结构22a和第二测量结构22b的形貌进行扫描，使用所述第一测量结构22a和第二测量结构22b中心线Li、L2作为测量基准点，确定中心线Ll和L2之间的间距D，即第一测量结构22a和第二测量结构22b之间的间距D，如果将所述设定误差设定为零，则待测的带线图案的宽度即为所述间距D。当然，也可以使用所述第一测量结构22a和第二测量结构22b的左侧边界线或者右侧边界线作为基准点来测量二者的间距，但是中心线的位置较容易确定，有利于减小测量误差。由于将带线图案的宽度测量转化为了第一测量结构22a和第二测量结构22b之间的间距测量，从而降低了测量过程中引入的不确定性，减小了误差。作为一个优选的实施例，所述设定误差的确定过程包括在形成所述测量辅助层之前，首先使用透射电子显微镜或其他仪器或方法来测量所述带线图案的宽度，对应于图6 中的宽度L，由于观测的原理与扫描电子显微镜不同，透射电子显微镜获得的宽度L的精确度较高，逼近带线图案的真实宽度；之后，使用电子扫描显微镜测量所述第一测量结构22a 和第二测量结构22b之间的间距D，所述间距D减去所述宽度L，得到设定误差(dl+d2)。一般的，所述设定误差(dl+d2)的大小与所述第一测量结构22a和第二测量结构22b在所述带线图案的宽度方向的厚度相当。当然，在确定设定误差的过程中也可以多次用透射电子显微镜进行测量，并求出测量结果的平均值。所述设定误差(dl+d2)的确定过程仅需要进行一次，如在首次使用上述方法进行线宽测量时确定，在此后对其他带线图案的宽度进行测量时，将所述第一测量结构22a和第二测量结构22b之间的间距D减去设定误差(dl+d2)之后，即可获得带线图案的宽度L， 由于扣除了第一测量结构22a和第二测量结构22b造成的设定误差(dl+d2)，使得得到的宽度L的误差进一步减小，精确度进一步提高。另外，所述设定误差(dl+d2)的确定过程也可以在多次测量过程中的任一次中进行，之后再将各次测量中所得的第一测量结构22a和第二测量结构22b之间的间距减去已经确定的设定误差(dl+d2)，得到所述带线图案的宽度。 由于所述设定误差(dl+d2)的确定过程仅需要进行一次，因而其中涉及的透射电子显微镜样品制备过程也仅需要进行一次，对于多次的测量过程而言，影响并不大。第二实施例 参考图7，提供基底30，所述基底30的表面上形成有凸起的带线图案31，所述带线图案31具有宽度。所述基底30可以为半导体材料，如单晶硅、锗、锗硅或III-V族化合物中的一种，还可以是绝缘体上硅结构或硅上外延层结构，其中可以形成有半导体器件以及互连结构等。所述带线图案31可以为MOS晶体管形成工艺中的多晶硅材料的栅电极，或者存储器中铝材料的字线、位线等。在本实施例中，所述带线图案31为栅电极，其材料为多晶娃。参考图8，形成测量辅助层(图中未示出)，覆盖所述基底30和带线图案31，之后对所述测量辅助层进行平坦化，使其表面与所述带线图案31的表面齐平，从而在所述带线图案31的宽度方向的两侧侧壁上形成第一测量结构32a和第二测量结构32b。其中，所述测量辅助层的材料与所述带线图案31的材料不同，可以为氮化硅、氧化硅、光刻胶等，本实施例中具体为氧化硅，其形成方法为化学气相沉积。所述平坦化的方法为化学机械抛光 (CMP) ο参考图9，去除所述带线图案，测量所述第一测量结构32a和第二测量结构32b之间的间距，所述间距去除设定误差后为所述带线图案的宽度。本实施例中采用湿法刻蚀去除所述带线图案，反应溶液为四甲基氢氧化铵，将多晶硅材料的带线图案选择性去除。之后，使用扫描电子显微镜对所述基底30、第一测量结构32a和第二测量结构32b的形貌进行扫描，使用所述第一测量结构32a和第二测量结构32b的中心线L1、L2作为测量基准点，确定中心线Ll和L2之间的间距D，即第一测量结构32a和第二测量结构32b之间的间距D， 如果将所述设定误差设定为零，则所述待测的带线图案的宽度即为所述间距D。当然，也可以使用所述第一测量结构32a和第二测量结构32b的左侧边界线或者右侧边界线作为基准点来测量二者的间距，但是中心线的位置较容易确定，有利于减小测量误差。由于将带线图案的宽度测量转化为了第一测量结构32a和第二测量结构32b之间的间距测量，从而降低了测量过程中引入的不确定性，减小了误差。作为一个优选的实施例，与第一实施例类似的，所述设定误差的确定过程包括在形成所述测量辅助层之前，首先使用透射电子显微镜或其他仪器或方法测量所述带线图案的宽度，对应于图9中的宽度L，由于观测的原理与扫描电子显微镜不同，透射电子显微镜获得的宽度L的精确度较高，逼近带线图案的真实宽度；之后，使用电子扫描显微镜测量所述第一测量结构32a和第二测量结构32b之间的间距D，所述间距D减去所述宽度L，得到设定误差(dl+d2)。一般的，dl的大小与所述第一测量结构32a在所述带线图案的宽度方向的宽度的1/2相当，d2的大小与所述第二测量结构32b在所述带线图案的宽度方向的宽度的1/2相当。由于扣除了第一测量结构32a和第二测量结构32b引入的设定误差的影响， 从而进一步降低了测量结果的误差，提高了精确度。与第一实施例类似的，所述系统误差(dl+d2)的确定过程也仅需要进行一次，可以是在多次测量中的任意一次中进行，因而对多次测量而言，影响并不大。 第三实施例参考图10，提供基底40，所述基底40的表面上形成有凸起的带线图案41，所述带线图案41具有宽度。所述基底40可以为半导体材料，如单晶硅、锗、锗硅或III-V族化合物中的一种，还可以是绝缘体上硅结构或硅上外延层结构，其中可以形成有半导体器件以及互连结构等。所述带线图案41可以为MOS晶体管形成工艺中的多晶硅材料的栅电极，或者存储器中铝材料的字线、位线等。在本实施例中，所述带线图案41为栅电极，其材料为多晶娃。参考图11，在所述带线图案41的宽度方向的两侧基底40上分别形成第一辅助带线42a和第二辅助带线42b，所述第一辅助带线42a和第二辅助带线42b的表面与所述带线图案41的表面齐平，且关于所述带线图案41对称。在本实施例中，优选地，所述第一辅助带线42a和第二辅助带线42b的材料与所述带线图案41的材料相同，本实施例中都为多晶娃。参考图12，在所述基底40上形成测量辅助层43并进行平坦化，使其表面与所述带线图案41以及第一辅助带线42a和第二辅助带线42b的表面齐平。所述测量辅助层43 的材料与所述带线图案41的材料不同，可以为氮化硅、氧化硅、光刻胶等，本实施例中具体为氧化硅，其形成方法为化学气相沉积。所述平坦化的方法为化学机械抛光。所述带线图案41两侧的测量辅助层即构成了第一测量结构43a和第二测量结构43b。本实施例中，位于所述第一辅助带线42a与所述带线图案41之间以及位于所述第二辅助带线42b与所述带线图案41之间的测量辅助层的宽度等于预设宽度d，也即所述第一测量结构43a和第二测量结构43b的宽度等于所述预设宽度d。所述预设距离d在具体测量过程中为一确定的值，通过在形成所述第一辅助带线42a和第二辅助带线42b时控制其形成工艺(沉积、光刻等)来实现，具体数值可以根据实际的工艺条件进行合理选择。参考图13，去除所述带线图案、第一辅助带线和第二辅助带线，测量所述第一测量结构43a和第二测量结构43b之间的间距，所述间距去除设定误差后为所述带线图案的宽度。本实施例中采用湿法刻蚀去除所述带线图案、第一辅助带线和第二辅助带线，反应溶液为四甲基氢氧化铵。之后，使用扫描电子显微镜对所述基底40、第一测量结构43a和第二测量结构43b的形貌进行扫描，使用所述第一测量结构43a和第二测量结构43b的中心线 Li、L2作为测量基准点，确定中心线Ll和L2之间的间距D，即第一测量结构43a和第二测量结构43b之间的间距D，如果将所述设定误差设定为零，则所述待测的带线图案的宽度即为所述间距D。当然，也可以使用所述第一测量结构43a和第二测量结构43b的左侧边界线或者右侧边界线作为基准点来测量二者的间距，但是中心线的位置较容易确定，有利于减小测量误差。由于将带线图案的宽度测量转化为了第一测量结构43a和第二测量结构43b 之间的间距测量，从而降低了测量过程中引入的不确定性，减小了误差。作为一个优选的实施例，还对所述带线图案的宽度进行进一步的运算处理。由上述步骤可以推知，所述第一测量结构43a和第二测量结构43b在所述带线图案的宽度方向的厚度等于所述预设宽度d，因此，可以推知所述设定误差等于所述预设宽度d，将所述第一测量结构43a和第二测量结构43b之间的间距D减去所述预设宽度d，得到所述带线图案的宽度L。由于扣除了第一测量结构43a和第二测量结构43b本身的厚度的影响，因而处理后得到的宽度L的误差进一步减小，精度进一步提高。由于本实施例中不需要通过透射电子显微镜来确定系统误差，因此进一步缩短了测量的时间消耗，提高了效率。综上，本技术方案中在带线图案的宽度方向的两侧侧壁上分别形成第一测量结构和第二测量结构，之后去除所述带线图案，通过测量所述第一测量结构和第二测量结构之间的间距并去除设定误差来确定所述带线图案的宽度，从而将宽度的测量过程转化为间距的测量过程，利于降低测量过程中引入的不确定性，减小测量误差。本发明虽然已以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案做出可能的变动和修改，因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化及修饰，均属于本发明技术方案的保护范围。
权利要求
1.一种线宽测量方法，其特征在于，包括提供基底，所述基底的表面上形成有凸起的带线图案，所述带线图案具有宽度；在所述带线图案的宽度方向的两侧侧壁上分别形成第一测量结构和第二测量结构；去除所述带线图案；测量所述第一测量结构和第二测量结构的间距，所述间距去除设定误差后为所述带线图案的宽度。
2.根据权利要求1所述的线宽测量方法，其特征在于，使用扫描电子显微镜测量所述第一测量结构和第二测量结构的间距。
3.根据权利要求1所述的线宽测量方法，其特征在于，所述在所述带线图案的宽度方向的两侧侧壁上分别形成第一测量结构和第二测量结构包括形成测量辅助层，覆盖所述基底和带线图案；对所述测量辅助层进行回刻，形成所述第一测量结构和第二测量结构。
4.根据权利要求1所述的线宽测量方法，其特征在于，所述在所述带线图案的宽度方向的两侧侧壁上分别形成第一测量结构和第二测量结构包括形成测量辅助层，覆盖所述基底和带线图案；对所述测量辅助层进行平坦化，使其表面与所述带线图案的表面齐平，形成所述第一测量结构和第二测量结构。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的线宽测量方法，其特征在于，所述设定误差为零。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的线宽测量方法，其特征在于，所述设定误差通过如下方法确定使用透射电子显微镜测量所述带线图案的宽度；使用扫描电子显微镜测量所述第一测量结构和第二测量结构的间距；所述系统误差等于所述第一测量结构和第二测量结构的间距减去所述透射电子显微镜测量所得的带线图案的宽度。
7.根据权利要求1所述的线宽测量方法，其特征在于，所述第一测量结构和第二测量结构的材料与所述带线图案的材料不同，采用湿法刻蚀去除所述带线图案。
8.根据权利要求1所述的线宽测量方法，其特征在于，所述在所述带线图案的宽度方向的两侧侧壁上分别形成第一测量结构和第二测量结构包括在所述带线图案的宽度方向的两侧基底上分别形成第一辅助带线和第二辅助带线，所述第一辅助带线和第二辅助带线的表面与所述带线图案的表面齐平，且关于所述带线图案对称；在所述基底上形成测量辅助层并进行平坦化，使其表面与所述带线图案的表面齐平；去除所述第一辅助带线和第二辅助带线，形成所述第一测量结构和第二测量结构。
9.根据权利要求8所述的线宽测量方法，其特征在于，位于所述第一辅助带线与所述带线图案之间以及所述第二辅助带线与所述带线图案之间的测量辅助层的宽度等于预设宽度，所述线宽测量方法还包括所述带线图案的宽度等于所述第一测量结构和第二测量结构的间距减去所述预设宽度。
10.根据权利要求8所述的线宽测量方法，其特征在于，所述测量辅助层的材料与所述带线图案的材料不同，采用湿法刻蚀去除所述第一辅助带线、第二辅助带线和带线图案。
全文摘要
一种线宽测量方法，包括提供基底，所述基底的表面上形成有凸起的带线图案，所述带线图案具有宽度；在所述带线图案的宽度方向的两侧侧壁上分别形成第一测量结构和第二测量结构；去除所述带线图案；测量所述第一测量结构和第二测量结构的间距，所述间距去除设定误差后为所述带线图案的宽度。本发明利于降低测量过程中引入的不确定性，减小测量误差。
文档编号G01B7/02GK102437067SQ20101050035
公开日2012年5月2日 申请日期2010年9月29日 优先权日2010年9月29日
发明者尹海洲, 朱慧珑, 骆志炯 申请人:中国科学院微电子研究所