专利名称：具上掀式光源固定机构的测试头的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及具上掀式光源固定机构的测试头，尤指一种具光源且适用于检测 感光半导体元件的测试设备的测试头。
背景技术：
目前半导体测试技术中，关于测试如感光半导体元件时，于测试中需另外增加光 源照射半导体元件，并同时检测半导体元件的反应信号，来判断半导体元件是否正常运作。请同时参阅图1、图2、及图3，图1为现有测试头的立体图，图2为现有测试头的剖 视图，图3为现有测试头的分解图。图中显示现有具光源照射的测试头9，其中测试头外壳 90包括有一后盖板91，而光源部件92先锁附于一锁附座93上，然后锁附座93再锁附于后 盖板91上；或者先锁附锁附座93，然后光源部件92再锁附于锁附座93上。然而，不论如 何其组装过程繁复且因锁附座93、及光源部件92皆具备一定重量，组装过程不便且容易发 生危险。再且，当测试头硬件面临维修或升级时，例如更换内部的测试电路板94(Pin Electronics Card, PE Card)时，需要逐一拆解光源部件92、及锁附座93后，再打开后盖板 91后才可进行内部维护、或升级工作，其拆卸过程亦相当繁复，耗时费工，致使形成设备于 设置时或维修作业时效益不彰，拖延停机时间，图增成本。此外，现有具光源照射的测试头 9仅是靠锁附方式锁附于后盖板91上，而光源部件92、及锁附座93又具有相当的重量，常 会造成锁附螺丝断裂、或后盖板91弯曲变形、或甚至破裂。
实用新型内容本实用新型为一种具上掀式光源固定机构的测试头，包括一外壳体、一透镜管、 一侧架、一上掀架、及一光源模块。其中，外壳体包括有一前盖板、及一后开口，而前盖板包 括有一内表面、及一外表面，且前盖板开设有一光照射孔。此外，透镜管组设于前盖板的内 表面上并对应于光照射孔；侧架组设于前盖板的内表面上；上掀架枢接于二侧架上，且上 掀架可选择式趋近接合或上掀远离于二侧架的一端。另外，光源模块组设于上掀架上，且光 源模块包括有一发光部，其对应于透镜管。再者，本实用新型可还包括有至少一气压缸，其二端分别枢设于侧架、及上掀架， 而气压缸可为一氮气缸、油压缸、或其它等效装置。据此，本实用新型通过气压缸除用以辅 助出力使上掀动作更为轻松外，并同时可用以支撑、及固定上掀架。此外，本实用新型可还 包括有一探针塔(PogoTower)，其组设于前盖板的外表面上，以电性接触半导体芯片以进行 测试。另外，本实用新型可还包括有一限位调整件，而限位调整件的二端分别枢设于侧 架与上掀架。据此，本实用新型通过限位调整件可调整上掀架上掀的行程，通过此限制上掀 架上掀的高度。再且，本实用新型的限位调整件可包括有一限位杆、一滑动座、及一转动座， 而限位杆的二端分别包括有一挡止部、及一螺纹段。其中，滑动座组设于上掀架，转动座枢设于侧架，而滑动座穿设于限位杆并可相对滑移于挡止部、及螺纹段间，且限位杆的螺纹段 螺合于转动座。因此，通过限位杆的螺纹段来调整滑动座滑移的行程，并达成可调整、及限 制上掀架上翻的高度。此外，本实用新型的侧架可凸伸出后开口外，而侧架对应接合上掀架的一端包括 有一斜端面，且上掀架对应接合侧架的一端包括有一斜接面。据此，本实用新型的侧架、及 上掀架分别通过斜端面、及斜接面相对应接合，可达成特定角度的接合效果，如使侧架、及 上掀架呈垂直型态，以方便光源模块的发光直接照射，减少不必要的折射、或反射机构或元 件。再且，本实用新型可还包括有另一侧架，其组设于前盖板的内表面上，且侧架与另 一侧架分设于透镜管的二侧，以更稳固支撑光源模块。而且，本实用新型可包括有一底板、 及一扣合紧固件。其中，底板组设于侧架与另一侧架下方，而扣合紧固件可包括有一第一扣 合部、及一第二扣合部，其中第一扣合部组设于底板，第二扣合部组设于上掀架，且第一扣 合部与第二扣合部可选择式扣合或分离。据此，通过扣合紧固件固定上掀架于侧架上，以避 免上掀架晃动或非预期上掀，造成发光部无法对应于透镜管，而影响测试的进行。较佳的是，本实用新型可还包括有一顶板、及一铰链。其中，顶板可组设于侧架与 另一侧架上方，而铰链枢接组设于顶板与上掀架上。据此，上掀架通过铰链旋转枢接于于顶 板，以方便上掀架进行上掀。本实用新型的有益效果是，所提供的具上掀式光源固定机构的测试头，能稳固支 撑光源模块，且通过上掀机构又可快速且简易对测试头内部进行检修或升级。本实用新型 通过气压缸除用以辅助出力使上掀动作更为轻松外，并同时可用以支撑、及固定上掀架。
43顶板411，401斜端面[0030]5上掀架51斜接面[0031]52铰链53通孔[0032]6光源模块61发光部[0033]7气压缸71扣合紧固件[0034]711第一扣合部712第二扣合部[0035]8限位调整件81限位杆[0036]811挡止部812螺纹段[0037]82滑动座83转动座[0038]9测试头90测试头外壳[0039]91后盖板92光源部件[0040]93锁附座
具体实施方式
请同时参阅图4，图4为本实用新型具上掀式光源固定机构的测试头一较佳实施 例整体设备的立体图。图中显示有一半导体测试设备10，其主要用以检测感光半导体元件， 如CCD、CMOS、或其它需辅助光源进行检测的半导体元件。其中，图中显示的半导体测试设 备10上方具有一测试头11，而测试头11上方再有一光源模块6，其主要用以提供光源。请同时参阅图5、及图6，图5为本实用新型具上掀式光源固定机构的测试头一较 佳实施例的立体图。图6为本实用新型具上掀式光源固定机构的测试头一较佳实施例的上 掀侧视图。如图中所示的测试头11包括有探针塔l(Pog0 tower)、一外壳体2、一透镜管3、 二侧架40，41、一底板42、一顶板43、一上掀架5、一光源模块6、气压缸7、及一扣合紧固件 71。请再一并参阅图7、及图8，图7为本实用新型具上掀式光源固定机构的测试头一 较佳实施例的剖视图，图8为本实用新型具上掀式光源固定机构的测试头一较佳实施例的 分解图。图中显示的外壳体2，具有一前盖板21、及一后开口 22。而前盖板21包括有一内 表面212、及一外表面213，且前盖板21开设有一光照射孔211。另外，透镜管3组设于前盖 板21的内表面212上并对应于光照射孔211。其中，透镜管3内主要组设有透镜组(图中 未示)，用以聚光以加强光源的照射明亮度。再者，图中另显有二侧架40，41，其组设于前盖板21的内表面212上并凸伸出后开 口 22外，且二侧架40，41分设于透镜管3的二侧。此外，二侧架40，41上方固设有一顶板 43，而下方又固设有一底板42。据此，通过二侧架40，41、一顶板43、及一底板42构成一坚 固的矩形结构。再且，于顶板43上表面组设有一铰链52，并利用铰链52枢接一上掀架5， 其中上掀架5可选择式趋近接合或上掀远离于二侧架40，41的一端。其中，二侧架40，41对应接合上掀架5的一端分别包括有一斜端面411，401，且上 掀架5对应接合侧架40，41的一端同样分别包括有一斜接面51。据此，本实施例的侧架40， 41、及上掀架5分别通过斜端面411，401、及斜接面51相对应接合，可达成特定角度的接合 效果。亦即，如本实施例中通过此使侧架40，41、及上掀架5呈垂直型态，以方便光源模块6 的发光直接照射，减少不必要的折射、或反射机构或元件。另外，上掀架5上开设有通孔53，且通孔53又恰对应于透镜管3内。另外，图中显示的光源模块6，组设于上掀架5上。其光源模块6包括有一发光部 61，其对应于上掀架5上开设的通孔53，并通过此对应于透镜管3。据此，光源模块6的发 光部61所发射的光线可通过通孔53并直接进入透镜管3内。此外，外壳体2的前盖板21 的外表面213上组设有一探针塔1 (Pogo tower)，通过电性接触半导体芯片(图中未示) 以进行测试。又，外壳体2的前盖板21的内表面212上组设有一插槽电路板23，亦即组设 于后开口 22内。且插槽电路板23上布设有多个测试电路板插槽231，其分设于二侧架40， 41的二侧，而测试电路板插槽231则用以插设测试电路板232 (Pin Electronics Card, PE Card)0再且，图中又显示有二气压缸7，而每一气压缸7的二端分别枢设于侧架40，41、及 上掀架5上。在本实施例中，气压缸7为氮气缸。据此，本实施例通过氮气缸除用以辅助出 力使上掀动作更为轻松外，并同时可用以支撑、及固定上掀架5。又，图中另显示有一限位 调整件8，其二端分别枢设于侧架40、及上掀架5。在本实施例中，限位调整件8包括有一 限位杆81、一滑动座82、及一转动座83。其中，限位杆81的二端分别包括有一挡止部811、 及一螺纹段812。而滑动座82组设于上掀架5，转动座83枢设于侧架40。另外，滑动座82 穿设于限位杆81并可相对滑移于挡止部811、及螺纹段812间，且限位杆81的螺纹段812 螺合于转动座83。因此，通过限位杆81的螺纹段812来调整滑动座滑移的行程，并达成可 调整、及限制上掀架5上翻的高度。此外，本实施例还包括有一扣合紧固件71，其包括有一第一扣合部711、及一第二 扣合部712。而第一扣合部711组设于底板42，第二扣合部712组设于上掀架5。其中，第 一扣合部711与第二扣合部712可选择式扣合或分离。据此，通过扣合紧固件71固定上掀 架5于侧架40，41上，以避免上掀架5晃动或非预期上掀，造成发光部61无法对应于透镜 管3，而影响测试的进行。上述实施例仅为了方便说明而举例而已，本实用新型所主张的权利范围自应以申 请专利范围所述为准，而非仅限于上述实施例。
权利要求一种具上掀式光源固定机构的测试头，其特征在于包括一外壳体，包括有一前盖板、及一后开口，该前盖板包括有一内表面、及一外表面，该前盖板开设有一光照射孔；一透镜管，组设于该前盖板的该内表面上并对应于该光照射孔；一侧架，组设于该前盖板的该内表面上；一上掀架，枢接于该侧架上，该上掀架可选择式趋近接合或上掀远离于该侧架的一端；以及一光源模块，组设于该上掀架上，该光源模块包括有一发光部，其对应于该透镜管。
2.如权利要求1所述的具上掀式光源固定机构的测试头，其特征在于，还包括有至少 一气压缸，该至少一气压缸的二端分别枢设于该侧架与该上掀架。
3.如权利要求2所述的具上掀式光源固定机构的测试头，其特征在于，该至少一气压 缸包括有一氮气缸。
4.如权利要求1所述的具上掀式光源固定机构的测试头，其特征在于，还包括有一限 位调整件，该限位调整件的二端分别枢设于该侧架与该上掀架。
5.如权利要求4所述的具上掀式光源固定机构的测试头，其特征在于，该限位调整件 包括有一限位杆、一滑动座、及一转动座，该限位杆的二端分别包括有一挡止部、及一螺纹 段，该滑动座组设于该上掀架，该转动座枢设于该侧架，该滑动座穿设于该限位杆并可相对 滑移于该挡止部、及该螺纹段间，该限位杆的该螺纹段螺合于该转动座。
6.如权利要求1所述的具上掀式光源固定机构的测试头，其特征在于，该侧架凸伸出 该后开口外，该侧架对应接合该上掀架的一端包括有一斜端面，该上掀架对应接合该侧架 的一端包括有一斜接面。
7.如权利要求1所述的具上掀式光源固定机构的测试头，其特征在于，还包括有一探 针塔，组设于该前盖板的该外表面上。
8.如权利要求1所述的具上掀式光源固定机构的测试头，其特征在于，还包括有另一 侧架，组设于该前盖板的该内表面上，该侧架与该另一侧架分设于该透镜管的二侧。
9.如权利要求8所述的具上掀式光源固定机构的测试头，其特征在于，还包括有一底 板、及一扣合紧固件，该底板组设于该侧架与该另一侧架下方，该扣合紧固件包括有一第一 扣合部、及一第二扣合部，该第一扣合部组设于该底板，该第二扣合部组设于该上掀架，该 第一扣合部与该第二扣合部可选择式扣合或分离。
10.如权利要求8所述的具上掀式光源固定机构的测试头，其特征在于，还包括有一顶 板、及一铰链，该顶板组设于该侧架与该另一侧架上方，该铰链接组设于该顶板与该上掀架 上。
专利摘要本实用新型公开了一种具上掀式光源固定机构的测试头，其包括有一外壳体、一透镜管、二侧架、一上掀架、及一光源模块。其中，外壳体包括有一前盖板、及一后开口，且前盖板开设有一光照射孔。此外，透镜管组设于前盖板的内表面上并对应于光照射孔。二侧架同样组设于前盖板的内表面上，且上掀架枢接于二侧架，上掀架可选择式趋近接合或上掀远离于二侧架的一端。另外，光源模块再组设于上掀架上，且光源模块包括有一发光部，其对应于透镜管。因此，本实用新型能稳固支撑光源模块，且通过上掀机构又可快速且简易对测试头内部进行检修或升级。
文档编号G01R1/06GK201732098SQ201020236470
公开日2011年2月2日 申请日期2010年6月22日 优先权日2010年6月22日
发明者吴国荣 申请人:京元电子股份有限公司