专利名称：流量传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种对在导管中流动的液体的流量进行测量的流量传感器。
背景技术：
作为流量传感器的以往的技术，可以例举如专利文献1所公开的流量传感器。该流量传感器的构成如下在流体流动的导管中，在上游侧、下游侧彼此独立地设置有电阻值根据流体的温度而发生变化的两个电阻体，并且彼此独立地设置有分别包含所述电阻体的两个恒温控制电路，通过所述恒温控制电路来进行控制，以使所述两个电阻体的温度总是相等且成为固定的温度，对于该流量传感器而言，将与位于上游侧的电阻体对应的恒温控制电路的输出设为Vu，将与位于下游侧的电阻体对应的恒温控制电路的输出设为vd，基于 (Vu-Vd) / (Vu+Vd)的式子来计算流量Q。此外，认为使用如上所述的式子的原因在于VU+Vd是仅受周围温度的影响的量， 通过预先除以Vu+vd，可使相对于实际流量Q的变化的流量传感器的输出的增加率(斜率) 相同而与周围的温度无关，从而可使流量传感器的输出的线性提高，并可进一步减小误差。然而，实际上如图5所示，各恒温控制电路的输出输出Vd分别相对于流量Q具有各自不同的斜率的绝对值，Vu+vd相对于流量Q无法取得固定值，并且会根据流量Q而发生变化。因此，如上所述的计算虽然可以使周围温度对流量传感器的输出的影响减小，但由于除以Vu+Vd，由此会因流量Q的变化的影响而导致附加上另外的非线性 (nonlinearity)，因此，流量传感器的输出的线性不佳，无法减小误差。对于如上所述的问题，在专利文献2中提出有如下的技术将前面的式子变更为作11-1)/(0￥11+3￥(1)(其中，0彡α , β ^ 1, α ^ β )，由此来使流量Q的变化所产生的影响减小，使流量传感器的输出的线性提高。然而，即使是专利文献2所述的流量传感器，虽然可使相对于实际流量Q的变化的流量传感器的输出的增加率(斜率)，相对于周围温度而言不易发生变化，但由于受到流量 Q的变化的影响，因此，依然存在误差。此外，对于所述专利文献1以及专利文献2而言，也没有特别地考虑流量传感器如何对流量Q为零的状态下的零点输出进行修正。因此，每当周围的温度发生变化时，传感器输出的偏移(shift)量会大幅度地发生变化，因此，认为这成为使流量传感器的输出发生误差的一个原因。现有技术文献专利文献 专利文献1 日本专利公开公报特公平5-23605号
专利文献2 日本专利公开公报特开平5-281007号
发明内容
本发明所要解决的技术问题本发明是鉴于如上所述的问题而作出的发明，可以防止流量的变化对流量传感器的输出造成的影响，并且进行以往未考虑过的零点输出的温度修正，由此来提供线性进一步提高且误差小的流量传感器。解决技术问题的技术方案S卩，本发明的流量传感器，在流体流动的导管中，在上游侧与下游侧设置有电阻值根据流体的温度而发生变化的两个电阻体，并且设置有分别包含所述电阻体的两个恒温控制电路，通过所述恒温控制电路来对所述两个电阻体的温度进行控制，以使所述两个电阻体的温度成为固定的温度，该流量传感器的特征在于包括流量计算部，该流量计算部在将与位于上游侧的电阻体对应的恒温控制电路的输出设为Vu、将与位于下游侧的电阻体对应的恒温控制电路的输出设为vd、且将流体的流量设为Q时，基于使用了 )(dAu的数学式2，算出流量Q，所述XdAu至少在某流量Q的范围内满足数学式1，所述流量计算部通过定义为 Vu+VdXd/Xu的函数的零偏函数(七、口才7七7卜関数)0FS，对作为所述流量Q为零时的输出的零点输出进行修正。[数学式1]
dv d( Vr1X JX )
权利要求
1.一种流量传感器，在流体流动的导管中，在上游侧与下游侧设置有电阻值根据流体的温度而发生变化的两个电阻体，并且设置有分别包含所述电阻体的两个恒温控制电路， 通过所述恒温控制电路来对所述两个电阻体的温度进行控制，以使所述两个电阻体的温度成为固定的温度，该流量传感器的特征在于包括流量计算部，该流量计算部在将与位于上游侧的电阻体对应的恒温控制电路的输出设为Vu、将与位于下游侧的电阻体对应的恒温控制电路的输出设为vd、且将流体的流量设为Q时，基于使用了 xd/xu的数学式10，算出流量Q，所述Xd/Xu至少在某流量Q的范围内满足数学式9，所述流量计算部通过定义为Vu+VdXd/Xu的函数的零偏函数0FS，对作为所述流量Q为零时的输出的零点输出进行修正，[数学式9]
2.根据权利要求1所述的流量传感器，其特征在于，所述流量计算部通过定义为 Vu+VdXd/Xu的函数的转换函数SENSx，算出所述流量Q。
3.根据权利要求1所述的流量传感器，其特征在于，所述流量计算部基于将温度修正项进一步追加至所述数学式10而得到的数学式11，算出所述流量Q，[数学式11]
4.根据权利要求1所述的流量传感器，其特征在于，所述转换函数SENSx为赋值曲线。
5.根据权利要求1所述的流量传感器，其特征在于，所述流量传感器还包括温度计算部，该温度计算部基于Vu+vdxd/xu算出周围的温度。
全文摘要
为了防止质量流量的变化对流量传感器的输出造成影响并且进行以往未考虑过的零点输出的温度修正从而提高线性，本发明的流量传感器包括流量计算部(41)，该流量计算部(41)在将与位于上游侧的电阻体(2u)对应的恒温控制电路(3u)的输出设为Vu、将与位于下游侧的电阻体(2d)对应的恒温控制电路(3d)的输出设为Vd、且将流体的流量设为Q时，基于使用了至少在某流量Q的范围内满足式数学式9的Xd/Xu的数学式10，算出流量Q，所述流量计算部41通过定义为Vu+VdXd/Xu的函数的零偏函数OFS，对作为流量Q为零时的输出的零点输出进行修正。
文档编号G01F1/698GK102483340SQ20108003913
公开日2012年5月30日 申请日期2010年9月24日 优先权日2009年9月30日
发明者山野翔平, 衣斐宽之, 高仓洋 申请人:株式会社堀场Stec