高性能弯曲加速度计的制作方法
【专利摘要】一种加速度计包括：一个弹性基片梁，具有第一端部和第二端部且具有上表面和下表面；支承件，用于支承所述基片梁的第一端部和第二端部；传感元件，包括结合至所述基片梁的上表面、下表面或上表面和下表面二者的压电材料；力施加元件，用于在第一端部和第二端部之间的两个位置施加力。所述基片梁和所述压电材料以四点弯曲配置而运行。可选地，所述基片梁的第一端部和第二端部通过弯曲所述梁基片而形成，以减小装置的物理尺寸。
【专利说明】高性能弯曲加速度计
【技术领域】
[0001]文中的发明涉及了高性能弯曲加速度计，更具体而言，本发明涉及了以四点弯曲配置而运行且包括作为传感元件的压电材料的加速度计。
【背景技术】
[0002]采用压电材料作为传感元件的加速度计已经被广泛使用。在弯曲类型的加速度计中，压电片或压电层结合至在弯曲中变形的弹性梁或平板基片上，因此产生电输出。
[0003]为了在加速度计中实现高灵敏度，悬臂梁被广泛用作基片，这是由于在固定端附近的小跨度范围上可得到大的应变。但是，由于大的应变梯度，使用较大的压电元件没有在该设计中提供很大优势。此外，固定端附近大的、集中的应变可能导致已结合的易碎压电活性材料破裂。
[0004]除了上述缺陷之外，悬臂梁的谐振频率相当低。因此，当需要平坦的灵敏度响应时，悬臂弯曲加速度计更适合低工作频率范围。
[0005]基于压电的加速度计的灵敏度根本上依赖于使用的活性材料的压电属性，尤其是纵向和横向压电电荷(或应变)系数，d33和d31。由于它们的合理的压电属性，很多当前的加速度计中已经广泛使用锆钛酸铅(？匕21'(|.5211(1.4803或“？21'”)陶瓷和它们的衍生物作为传感元件。现有技术 PZT 陶瓷具有 d33 ^ 400-600pC/N 和 d31 ^ - (150-300) pC/N。
[0006]弛豫铁电单晶——诸如铌锌酸铅-钛酸铅(Pb (Znl73Nb273) O3-PbTiO3或“PZN-PT”)以及铌镁酸铅-钛酸铅(Pb (Mgl73Nb273) O3-PbTiO3 或 “PMN-PT”)——表现了 优于现有技术的PZT陶瓷的压电属性，对于[001]极化单晶，具有d33~2000-3000pC/N和d31 ^ - (1000-1600) pC/N，且对于[011]极化单晶，d31 值高达-(3000-4000) pC/N。
[0007]尽管它们的压电属性优越，但是弛豫铁电单晶没有被广泛用作加速度计中的传感兀件。P.A.Wlodkowski, K.Deng, and M.Kahn, “The developmentof high-sensitivity,low—noise accelerometers utilizing single crystalpiezoelectric materials”，Sensors and Actuators A，90，(2000) 125-131.中讨论了一个例外。
[0008]压电单晶是高各向异性，且目前可得到的PZN-PT和PMN-PT单晶都有高生产成本、差的成分均匀性及属性变化大的缺点。这些缺陷可能导致目前他们的使用受限。
[0009]发明目的
[0010]本发明的一个目的是提供以四点弯曲配置而运行且具有压电活性材料的高性能加速度计。
[0011]本发明的另一个目的是提供了一种加速度计，其包括固定在两个端部的弹性梁基片，并且以四点弯曲配置而运行，而且压电活性材料结合至梁基片表面上作为传感元件。
[0012]本发明的另一个目的是提供了一种加速度计，其包括被简单支承在两个端部或等效物的弹性梁基片，并且以四点弯曲配置而运行，而且压电活性材料结合至梁基片表面上作为传感元件。[0013]本发明的另一个目的是提供了一种加速度计，其包括带有包括固定端部和简单支承端部的混合的端部状况的弹性梁基片，并且以四点弯曲配置而运行，而且压电活性材料结合至梁基片表面上作为传感元件。
[0014]从下面的讨论中，本发明的这些目的及其他目的将会更明显。
【发明内容】
[0015]本发明涉及一种具有一个弹性梁基片且以四点弯曲配置而运行的高灵敏度加速度计。根据本发明，固定支承或简单支承在两个端部，或者具有中间端部状况的弹性梁基片优选地在距梁基片的中线等距离处受到两个点负荷或线负荷，尽管不是必须的，这被称作四点弯曲。压电活性材料被结合至梁基片表面，作为传感元件。优选地，传感元件包括高性能的弛豫铁电单晶。在本发明的一个实施方案中，加速度计具有弹性梁基片，所述弹性梁基片固定在两个端部的，并以四点弯曲配置而运行，而且压电活性材料结合至梁基片表面上作为传感元件，具有在第一端部和第二端部之间的两个位置上施加力的力施加元件。
[0016]在本发明的另一个实施方案中，加速度计具有一个弹性梁基片，所述弹性梁基片被简单支承在两端或其等效物，并以四点弯曲配置而运行，而且压电活性材料结合至梁基片表面上作为传感元件。
[0017]在本发明的另一个目的中，加速度计具有一个带有支承端部(例如固定端部、简单支承端部或二者的组合)的弹性梁基片，并使用四点弯曲配置，而且压电活性材料结合至梁基片表面上作为传感元件。
[0018]在本发明的另一个实施方案中，弹性梁基片的端部通过弯曲梁基片而形成为任何合适配置，以减小装置的物理尺寸。
[0019]在本发明的加速度计的另一实施方案中，梁基片在中间跨度上载有两个惯性质量块。优选地，但不是必须的，所述两个惯性质量块被定位在距弹性梁基片的两个端部等距的位置，或距梁基片支承件等距 的位置。
[0020]在本发明的加速度计的另一实施方案中，所述惯性质量块具有各种设计以易于制造和组装，包括将它们分成更小的质量块。
[0021]在本发明的加速度计的另一个实施方案中，所述梁基片可具有大于跨度的宽度，且呈现平板状配置。
[0022]在本发明的加速度计的另一个实施方案中，不同的手段和机械被用于形成弹性梁基片的所述端部状况。
[0023]在本发明的加速度计的另一个实施方案中，横向压电系数的绝对值超过500pC/N且具有合适的切割和尺寸的压电单晶被用作传感元件。
[0024]在本发明的加速度计的另一个实施方案中，介电常数超过1500 ε ^ ( ε ^是真空电容率)且具有合适的切割和尺寸的单晶被用作传感元件。
[0025]在本发明的加速度计的另一个实施方案中，所述传感器元件包括合适切割和尺寸的最佳极化的PZN-PT和/或PMN-PT固溶体单晶和/或其掺杂衍生物中的至少一个，所述单晶包括:
[0026]Pb (Zn, A1, A2, A3,…)1/3(Nb, C1, C2, C3,...) 2/303-xPbTi03，0.045 大于 x 大于 0.09 以及Pb (Mg, B1, B2, B3,…)1/3(Nb, C1, C2, C3,…)2/303-yPbTi030.26 ^ y ^ 0.33[0027]其中，
[0028]-A1, A2, A3,…包括 Mg2+，Ni2+，Fe2+，Co2+，Yb2+，Sc3+ 及 In3+ 中的至少一个，总量高达Zn2+的摩尔分数的三分之一；
[0029]-B1, B2, B3,…包括 Zn2+，Ni2+，Fe2+，Co2+，Yb2+，Sc3+ 及 In3+ 中的至少一个，总量高达Mg2+的摩尔分数的三分之一；
[0030]-C1, C2, C3,…包括Ta5+，W6+及Mo6+中的至少一个，且总量高达Nb5+的摩尔分数的四分之一。
[0031]在本发明的加速度计的另一个实施方案中，所述传感器元件包括下列成分的合适切割和尺寸的最佳极化的二元、三元或更高阶元的固溶体单晶中的至少一个，其中所述成分为:Pb (Znl73Nb273)O3^Pb (Mgl73Nb273)O3^Pb (In1/2Nb1/2)03>Pb (Sc1/2Nb1/2)03>Pb (Fe1/2Nb1/2)O3> Pb (Mnl72Nbl72) O3> PbZrO3 和 PbTiO3 和其掺杂衍生物。[0032]在本发明的加速度计的另一个实施方案中，合适配置和尺寸的极化的PZT陶瓷及它们的衍生物(包括掺杂的衍生物)被用作传感元件。
[0033]在本发明的加速度计的另一个实施方案中，各个传感元件以并联、串联、或并联和串联的组合电连接，以适合各种应用需要。
[0034]在本发明的加速度计的另一个实施方案中，常规和/或标准工程材料被用于弹性梁基片、惯性质量块、端部支承结构、安装结构、和/或壳体的制造。
[0035]在本发明的加速度计的另一个实施方案中，为了增强装置的性能和/或特殊用途，专门的、新采用的、和/或新型工程材料被用于弹性梁基片、惯性质量块、端部支承结构、安装结构、和/或壳体的制造。
[0036]在本发明的加速度计的另一个实施方案中，加速度计的性能，包括但不限制于它的灵敏度、谐振频率、和/或横向灵敏度，通过任何已知的手段或技术来增强。
[0037]在本发明的另一个实施方案中，一种多轴加速度计包括至少一个如本文所描述的加速度计。
[0038]在本发明的另一个实施方案中，一种线性运动传感器包括至少一个本文所描述的加速度计。
[0039]在本发明的另一个实施方案中，一种多轴运动传感器包括至少一个如本文描述的加速度计。
[0040]在本发明的另一个实施方案中，一种角速率传感器包括至少一个如本文描述的加速度计。
[0041]在本发明的另一个实施方案中，一种多轴角速率传感器包括至少一个如本文描述的加速度计。
[0042]在本发明的另一个实施方案中，一种转动运动传感器包括至少一个如本文描述的加速度计。
[0043]在本发明的另一个实施方案中，一种多轴转动运动传感器包括至少一个如本文描述的加速度计。
[0044]在本发明的另一个实施方案中，一种线性及转动传感器包括至少一个如本文描述的加速度计。
[0045]在本发明的另一个实施方案中，一种多轴线性及转动传感器包括至少一个如本文描述的加速度计。
[0046]为了全面理解本发明，现应参考如附图所示的本发明的优选实施方案的以下详细描述。
【专利附图】
【附图说明】
[0047]图1 (a)和(b)(现有技术)是以四点弯曲配置加载的弹性梁基片的示意图。在图1(a)中，示出了弹性梁基片具有两个端部被固定，而在图1 (b)中示出了弹性梁基片的两个端部被简单支承。
[0048]图2 (a)和2 (b)分别是根据本发明的四点弯曲加速度计的一个实施方案的横截面图和斜视图，其中弹性梁基片的端部被固定。
[0049]图3 (a)和3 (b)分别是根据本发明的四点弯曲加速度计的另一个实施方案的横截面图和斜视图，其中弹性梁的端部被简单支承。
[0050]图4 Ca)是本发明的四点弯曲加速度计的另一个实施方案的横截面图，在该实施方案中，通过紧挨着被夹紧的端部使用短的但是柔性的端部凸缘实现了在固定和简单支承中间的一种端部状况。图4b示出了图4 Ca)的一个细节。
[0051]图5 (a)和5 (b)分别是本发明的一个实施方案的横截面图和斜视图，在该实施方案中，一个弹性梁基片被以适当的方式和配置弯曲，以提供柔性的端部状况，并减小装置的物理尺寸。
[0052]图6是示出了根据本发明的在一个梁上弯曲的四点的表面上的应变方向的示意图，如图1 (a)中示出的。
[0053]图7是根据本发明`的四点弯曲加速度计的另一个实施方案的横截面的示意图，其中，例如与在图2 (a)和图2 (b)中说明的实施方案相比，附加的压电传感元件被结合至梁基片上，且描绘了导线连接。
[0054]图8是本发明的具有多个压电传感元件的一个实施方案的示意性横截面图，与图7中示出的实施方案相似，但是其中为了增强装置的灵敏度，电线串联电连接。
[0055]图9 (a)和9 (b)是由本发明的四点弯曲加速度计构成的二维和三维加速度计的图示，图9 (a)示出了二维传感布置，图9 (b)示出了三维传感布置。
[0056]图10是采用了一对根据本发明的四点弯曲加速度计的角速率传感器的图示。
[0057]图11是包括根据本发明的四点弯曲加速度计的二维角速率传感器的图示，用于感测关于X轴和Z轴的转动。
【具体实施方式】
[0058]现参照附图的图1至图11描述本发明的优选实施方案。不同的图中的相同的元件由相同的附图标记表示。
[0059]图1 (a)和I (b)示出了根据现有技术的在四点弯曲状况下的弹性基片梁；也就是说，该弹性基片梁被固定或简单支承在两个端部，或具有在距其中线等距处的两个点负荷或线负荷的中间状况。在图1 (a)中，示出了弹性梁基片(2)的两个端部(4)固定在固定支承件(6)，而在图1 (b)中，示出了弹性基片(8)的两个端部(10)由支承件(12)简单支承。在每种情况中，在远离中心线(14)的点处施加力或压力(P)。[0060]通过例如机械紧固、焊接、或钎焊将弹性梁基片固定在其两个端部且在期望的跨度上附接两个惯性质量块，可实现端部固定的四点弯曲加速度计。图2 (a)和2 (b)示出了本发明的这方面，其中单件或多件压电活性材料(18，20)在两个负荷(30)之间的中间跨度中被结合在弹性梁基片(28)的顶部表面和底部表面(22，24)上。梁基片(28)的各个端部(34)由支承件(36)机械地夹紧。当弹性梁基片(28)运动时，压电材料(18，20)与弹性梁基片(28)—起变形。通过用环氧树脂或其他合适的结合剂或方法，用作传感元件的压电材料(18，20)被结合在顶部表面和底部表面(22，24)上。
[0061]在图3 (a)至3 (C)的图示中阐释了一种简单支承的四点弯曲加速度计，所述加速度计具有一个弹性梁基片(40)，刃形支承件(42)，惯性质量块(44)，以及活性压电活性材料(46，48)。弹性梁基片(40)的端部(50)各自由刃形支承件(42)夹紧，使得当被支承的端部(50 )被固定就位时，端部(50 )自由转动。通过环氧树脂或其他合适的结合剂或方法被结合在弹性梁基片(40 )的顶部表面和底部表面(52，54 )上的压电活性材料(46，48 )用作传感元件。
[0062]在图4 (a)和4 (b)中示出了在图2 (a)和2 (b)中阐释的实施方案的一个变型，其中，通过在夹紧的端部(34)附近使用短的但是柔性的端部凸缘(58)，实现了端部固定和简单支承之间的端部状况。
[0063]在图5 (a)和5 (b)中阐释的本发明的实施方案是弯曲弹性梁基片(60)以实现柔性端部状况的另一个实施例。单件或多件压电活性材料(62，64)在两个负荷(70)之间被结合至弹性梁基片(60 )的顶部表面和底部表面(66，68 )上。梁基片(60 )的各个端部(74 )已经以直角向下弯曲，然后以直角向后弯曲进入支承件(76)，在支承件处所述端部被机械地夹紧。该设计以及类似设计科用于有利地减小形成的装置的物理尺寸。当弹性梁基片(60)运动时，压电材料(62，64)与弹性梁基片(60) —起变形。通过环氧树脂或其他合适的结合剂或方法，作为传感兀件的压电材料(62，64)被结合至顶部表面和底部表面(66,68)。
[0064]通过图1中示出的向下负荷，在之前描述的两个实例中的梁基片经历弯曲。如图6中示出的，在两个负荷之间的中间跨度中沿着梁的长度的主要表面应变和在两个外部跨度中的主要表面应变具有相反的符号，其中箭头指示梁基片表面上的应变方向。正号(+ve)和负号(_ve)分别指示在梁的长度方向上的拉伸的和压缩的表面应变。当表面应变在中间跨度中维持相对恒定时，对于外部跨度，它们沿着梁的长度方向改变。相反，当使用向上的负荷时，表面应变改变符号，但是它们的大小基本保持不变。
[0065]与悬臂梁相比，四点弯曲梁在两个负荷之间的中间跨度内表现了相对高的和一致的表面应变以及因此应力也表现了相对高和一致。这使得使用更大面积的压电活性材料而不损失灵敏度成为可能，因为大的应力梯度，这对于悬臂梁设计是不可能的。该特征——即，使用较大面积的压电活性材料而不损失灵敏度——转而可有利地用于提高形成的装置的灵敏度或提高形成的装置的电容，如下文将说明的。
[0066]当一个矩形横向模式压电传感元件的电压输出与电极面(electrode face)的间隔(所述电极面的间隔也是传感器的厚度)成正比时，其电容反比于电极面的间隔，但是正比于电极面的面积。对于一个给定的装置电容，压电活性材料的更大的面积因此允许使用更厚的活性材料，更厚的活性材料直接转化为装置的更高的灵敏度。
[0067]或者，对于给定的传感器厚度，压电材料的更大的面积转化为更高的装置电容，这意味着装置的电子噪声减少，因此提高了信噪比。
[0068]与悬臂梁相比，四点弯曲梁有更高的谐振频率。对于端部固定的四点弯曲梁尤其如此。因此，对于相似的尺寸，当期望更高的工作频率范围时，四点弯曲加速度计是优选的。
[0069]当本发明的加速度计的固定端部或支承端部刚性地联接至运动和/或振动下的结构时，由于惯性效应，惯性质量块在对应的加载位置上施加力，导致梁在四点弯曲状况下变形。结合至梁的顶部表面或底部表面上，或优选地结合至顶部表面以及底部表面上的压电活性材料也经历相同的弯曲应变，在此过程中产生电输出。
[0070]优选地，两个惯性质量块被放置在距梁的固定端部或简单支承点等距的位置，以使得梁平衡弯曲。这有助于降低加速度计的横向灵敏度(即，在两个非预期的正交方向上的电荷或电压输出)。尽管不是优选的，但在距固定端部或简单支承的端部非等距的位置放置负荷也是可选的设计。
[0071]惯性质量块的放置应使得合成负荷尽可能地接近线负荷，且它们的存在不会影响梁的自由振动行为。与以上的指导方针的偏差对于之前描述的加速度计按预期起作用是可能的，但是装置的灵敏度会受到不同程度的影响。
[0072]惯性质量块可为了易于制造和组装而是各种不同的设计，包括将惯性质量块分成更小的质量块。
[0073]更优选地，梁应该足够宽和厚，以减少扭转和/或其他不期望的变形模式，从而帮助降低装置的横向灵敏度，但是梁不应过宽，以导致梁表面处的复杂的应力梯度，且梁不应过厚，以对装置的灵敏度造成不利影响。
[0074]本发明的加速度计的预期的传感轴线在垂直于梁的最大面的方向上。优选地，其横向灵敏度，即在两个非预期的正交方向上的灵敏度，小于等于(O轴上灵敏度的6%，更优选地，小于等于(O轴上(on-axis)灵敏度的3%。
[0075]图2 (a)至图5 (b)中的端部设计是出于示例目的。起同样预期作用的其他端部设计也在本发明的范围和方案内。
[0076]采用的压电活性材料应充分顺应以遵循弹性梁基片的变形。压电活性材料还必须具有合理的或高的横向压电电荷和/或电压系数，这是因为以每一给定加速单元的电荷或电压输出表示的加速度计的灵敏度正比于使用的活性材料的横向压电系数。
[0077]具有绝对值超过50pC/N的横向压电系数的锆钛酸铅(PbZra52Tia48O3或PZT)陶瓷和衍生物(包括掺杂的衍生物)是用作本发明的加速度计的传感材料的合适材料。
[0078]如下表I示出的，弛豫铁电单晶PZN-PT或PMN-PT单晶具有优于PZT陶瓷的横向压电系数和大的弹性柔度。因此，具有高横向压电系数的PZN-PT和PMN-PT单晶的合适的切片或段是作为本实施方案的加速度计的传感元件的优选材料。
[0079]与PZT陶瓷相比，PZN-PT或PMN-PT单晶具有高得多的介电常数(Κτ)。这就意味着由这种单晶制成的加速度计会有相当高的电容，更低的电噪声，及因此更高的信噪比(s/N)。
[0080]表I
[0081]不同极化的PZN-PT和PMN-PT单晶以及PZT陶瓷的横向压电属性
[0082]
【权利要求】
1.一种加速度计，包括: 一个弹性基片梁，具有第一端部和第二端部，且具有上表面和下表面； 支承件，以支承所述基片梁的所述第一端部和所述第二端部； 传感元件，包括被结合在所述基片梁的上表面、下表面、或上表面和下表面二者的压电材料； 力施加元件，用于在所述第一端部和所述第二端部之间的两个位置处施加力， 由此，所述基片梁和所述压电材料以四点弯曲配置而运行。
2.根据权利要求1所述的加速度计，其中，所述基片梁的所述第一端部和所述第二端部被所述支承件固定。
3.根据权利要求1所述的加速度计，其中，所述基片梁的所述第一端部和所述第二端部被所述支承件简单支承。
4.根据权利要求1所述的加速度计，其中，所述基片梁的第一端部和第二端部被所述支承件以在端部固定和简单支承状况之间的方式支承。
5.根据权利要求1所述的加速度计，其中，所述基片梁在两个端部被弯曲，以减小装置的物理尺寸。
6.根据权利要求1所述的加速度计，其中，两个惯性质量块横跨所述梁基片被定位在两个端部之间，以向所述梁基片提供负荷。
7.根据权利要求5所述的 加速度计，其中，所述惯性质量块各自被定位在距所述基片梁的任一支承件等距的位置。
8.根据权利要求6所述的加速度计，其中，每个对应的惯性质量块包括两个或更多个的较小的质量块。
9.根据权利要求1所述的加速度计，其中，所述基片梁具有平板状配置，梁宽度等于或大于其跨度。
10.根据权利要求1所述的加速度计，其中，所述压电材料包括横向压电系数的绝对值超过500pC/N的压电单晶。
11.根据权利要求9所述的加速度计，其中，所述传感元件包括介电常数超过1500ε O(ε O是真空电容率)的单晶。
12.根据权利要求10所述的加速度计，其中，所述传感元件包括最佳极化的PZN-PT或PMN-PT固溶体单晶或其掺杂衍生物中的至少一个，所述单晶包括:
Pb (Zn, A1, A2, A3, — ) 1/3 (Nb, C1, C2, C3, — ) 2/303-xPbTi03, 0.045 ≤ x ≤ 0.09 以及Pb (Mg, B1, B2, B3,…)1/3(Nb, C1, C2, C3,…)2/303-yPbTi030.26 ^ y ^ 0.33 其中，
-A1, A2, A3,…包括 Mg2+，Ni2+，Fe2+，Co2+，Yb2+，Sc3+ 及 In3+ 中的至少一个，且总量高达 Zn2+的摩尔分数的三分之一；
-B1, B2, B3,…包括 Zn2+，Ni2+，Fe2+，Co2+，Yb2+，Sc3+ 及 In3+ 中的至少一个，且总量高达 Mg2+的摩尔分数的三分之一； -C1, C2, C3,…包括Ta5+，W6+及Mo6+中的至少一个，且总量高达Nb5+的摩尔分数的四分之
O
13.根据权利要求10所述的加速度计，其中，所述传感元件包括下列成分的合适切割和尺寸的最佳极化的二元、三元或更高阶元的固溶体单晶中的至少一个，其中所述成分为:Pb (Znl73Nb273) 03>Pb (Mg1/3Nb2/3) O3>Pb (In1/2Nb1/2) 03>Pb (Sc1/2Nb1/2) O3>Pb (Fe1/2Nb1/2) O3>Pb (Mnl72Nbl72) O3> PbZrO3 和 PbTiO30
14.根据权利要求1所述的加速度计，其中，所述传感元件包括极化PZT陶瓷和其掺杂衍生物中的至少一个。
15.根据权利要求1所述的加速度计，其中，各个传感元件以并联、串联、或并联和串联的组合中的至少一种电连接。
16.根据权利要求1所述的加速度计，还包括至少一个安装结构。
17.根据权利要求1所述的加速度计，还包括一个壳体。
18.一种多轴加速度计，包括至少一个根据权利要求1所述的加速度计。
19.一种线性运动传感器，包括至少一个根据权利要求1所述的加速度计。
20.一种多轴运动传感器，包括至少一个根据权利要求1所述的加速度计。
21.一种角速率传感器，包括至少一个根据权利要求1所述的加速度计。
22.—种多轴角速率传感器，包括至少一个根据权利要求1所述的加速度计。
23.—种转动运动传感器，包括至少一个根据权利要求1所述的加速度计。
24.一种线性及转动传感器，包括至少一个根据权利要求1所述的加速度计。
25.一种多轴线性及转`动传感器，包括至少一个根据权利要求1所述的加速度计。
【文档编号】G01P13/00GK103492885SQ201080071100
【公开日】2014年1月1日 申请日期:2010年12月8日 优先权日:2010年12月8日
【发明者】金兢, 张伟文, 夏跃学 申请人:晶致材料科技私人有限公司