专利名称：储气钢瓶安全检漏装置和检漏方法
技术领域：
本发明涉及气体生产技术领域，特别是涉及一种储气钢瓶安全检漏装置和检漏方法。
背景技术：
在光伏器件的制造和半导体器件制造的过程中会用到多种反应气体，例如在利用化学气相沉积(CVD)工艺沉积薄膜时。在薄膜太阳能电池的制造过程中也会使用大量的硅烷(SiH4)气体和锗烷(GeH4)气体，利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺沉积各种非晶硅、微晶硅和纳米硅、非晶锗以及非晶硅锗薄膜。锗烷是有毒、易燃和无色的气体。在室温和大气压力下，具有特有的刺激性气味。 锗烷的热稳定性比硅烷差，大约^(TC就能检测到锗烷分解为锗和氢。因此锗烷的生产较比硅烷成本更高也具危险性。成品锗烷一般采用Y型钢瓶储存。Y瓶是一种大体积的储气瓶，一般容积为400 500公升，可以盛装纯度为99. 9999%以上的气体。储存压力为166baH2400psig)左右。适用于锗烷(GeH4)，氮气(N2)，氦气(He)，硅烷(SiH4)，六氟化硫(SF6)，三氟化氮(NF3)，氧化亚氮(N20)混合气体等。普通Y瓶只有一个与外部相通的瓶帽，没有0型圈，阀门，压力表等部件，不具有安全保护功能，如果在运输途中发生泄漏将很难发现。
发明内容
本发明提供了一种储气钢瓶检漏装置和方法，可应用于Y瓶和一般的储气钢瓶， 特别是装有易燃易爆或剧毒气体的钢瓶，能够在很大程度上提高钢瓶在运输过程中的安全性，并提高检漏的有效性。本发明提供的储气钢瓶安全检漏装置具有一壳体，所述壳体一端具有密封部，所述密封部包括与所述钢瓶口连接的螺纹和密封圈；所述壳体的另一端或侧部连接有检漏部，所述检漏部包括第一阀门和第二阀门，所述第一阀门或第二阀门连接有压力表。可选的，所述第一阀门和第二阀门为并联方式，通过一根管路与所述壳体连接。可选的，所述第一阀门通过一根管路与所述壳体连接，所述第二阀门通过另一根管路与所述壳体连接。可选的，所述密封圈的材料为橡胶或聚四氟乙烯。可选的，所述压力表为最大量程3000psig以上的数字显示式压力表。可选的，所述装置还包括可检测钢瓶内气体的气体检测仪。可选的，所述钢瓶口具有钢瓶堵头。可选的，所述钢瓶内的气体为易燃、易爆或有毒气体。本发明提供的对储气钢瓶进行检漏的方法，包括步骤将所述装置与钢瓶口连接；对所述装置内抽真空；
向装置内充入不与钢瓶内气体反应的气体，并使装置内气体压力P小于钢瓶内气体压力；需检漏时，观测装置内气体压力；若装置内气体压力P不变，则钢瓶没有发生泄漏；否则，利用气体检测器对装置内的气体进行检测，可知钢瓶内的气体是否发生泄漏。可选的，所述向装置内充入的不与钢瓶内气体反应的气体包括氮气、氦气、氩气或它们的混合气体。
通过附图中所示的本发明的优选实施例的更具体说明，本发明的上述及其它目的、特征和优势将更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分。并未刻意按比例绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。图1至图3为根据本发明装置实施例的结构示意图；图4为本发明方法的流程图。所述示图是示意性的，而非限制性的，在此不能过度限制本发明的保护范围。
具体实施例方式为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式
做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广。因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。图1至图3为根据本发明装置实施例的结构示意图。如图所示，本发明的储气钢瓶10的安全检漏装置，具有一壳体20，其一端具有密封部，该密封部包括与所述钢瓶10的瓶口连接的螺纹13和密封圈15 ；在壳体20的另一端，如图1所示，连接有检漏部，检漏部包括第一阀门21和第二阀门23，所述第一阀门21或第二阀门23连接有压力表30，本实施例第一阀门21连接有压力表30。包括第一阀门21、第二阀门23和压力表30的检漏部还可以位于壳体20的侧部，如图2所示。在图1和图2所示的实施例中，第一阀门21和第二阀门23为并联方式，通过一根管路与所述壳体20连接。在图3所示的实施例中，第一阀门21 通过一根管路与所述壳体20连接，所述第二阀门23通过另一根管路与所述壳体20连接。在上述实施例中，密封圈15的材料可以是橡胶或聚四氟乙烯。压力表30可以是最大量程为3000psig的数字显示式压力表。本发明的装置还包括可检测钢瓶内气体的气体传感器。钢瓶10内的气体通常为易燃、易爆或有毒气体。钢瓶10的瓶口具有钢瓶堵头11。本发明的利用前述安全检漏装置对储气钢瓶进行检漏的方法，首先将所述装置与钢瓶口连接；然后对所述装置内抽真空；并向装置内充入不与钢瓶内气体反应的气体，并使装置内气体压力P小于钢瓶内气体压力。在运输或储存一段时间后需检漏时，首先观测装置内气体压力，若装置内气体压力不变，则说明钢瓶没有发生泄漏；若装置内气体压力明显高于原装置内气体压力P，则很可能钢瓶内的气体发生泄漏，利用气体检测仪对装置内的气体进行检测，可知钢瓶内的气体是否发生泄漏。
图4为根据本发明方法实施例的流程图。如图4所示，首先安装0型圈15，利用螺纹13将安全检漏装置的壳体20 (也就是瓶帽)与钢瓶10的瓶口紧密拧紧(SlOl)；然后打开阀门21，通过阀门23对壳体20进行抽真空(S102)；接着向瓶帽(壳体20)内充入不与瓶内盛装的气体(例如锗烷)反应的气体A，例如氮气、氦气、氩气或它们的混合气体。并使气体A的压力保持在压力值P，该压力值P小于钢瓶内气体的压力(S103)，例如，钢瓶内气体压力为2400psig，则将壳体20内气体A的压力值P保持在lOOOpsig，然后，关闭阀门21 和 23(S104)。在运输或储存一段时间之后，需要检漏，例如运输到达目的地之后，打开阀门21， 通过压力表30观察此时壳体20内气体的压力，例如为压力值Pl。若该压力值Pl与先前气体A的压力值P相同，则说明钢瓶10没有发生气体泄漏(S107)。如果该压力值Pl高于或明显高于压力值P，则说明钢瓶10内的气体极有可能发生了泄漏(S108)。为确定钢瓶10内的气体是否发生泄漏，可利用检测钢瓶10内气体的气体检测仪， 例如，如果钢瓶10内充装的是锗烷，则利用锗烷气体检测仪，接于阀门23 (图中未示出)，便可检测出锗烷气体是否泄漏。以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。 因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案的保护范围内。
权利要求
1.一种储气钢瓶安全检漏装置，所述装置具有一壳体，所述壳体一端具有密封部，所述密封部包括与所述钢瓶口连接的螺纹和密封圈；所述壳体的另一端或侧部连接有检漏部， 所述检漏部包括第一阀门和第二阀门，所述第一阀门或第二阀门连接有压力表。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于所述第一阀门和第二阀门为并联方式，通过一根管路与所述壳体连接。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于所述第一阀门通过一根管路与所述壳体连接，所述第二阀门通过另一根管路与所述壳体连接。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于所述密封圈的材料为橡胶或聚四氟乙烯。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于所述压力表为最大量程3000psig以上的数字显示式压力表。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于所述装置还包括可检测钢瓶内气体的气体检测仪。
7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于所述钢瓶口具有钢瓶堵头。
8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于所述钢瓶内的气体为易燃、易爆或有毒气体。
9.一种利用权力要求1所述的安全检漏装置对储气钢瓶进行检漏的检漏方法，包括步骤将所述装置与钢瓶口连接； 对所述装置内抽真空；向装置内充入不与钢瓶内气体反应的气体，并使装置内气体压力P小于钢瓶内气体压力；需检漏时，观测装置内气体压力；若装置内气体压力P不变，则钢瓶没有发生泄漏；否则，利用气体检测器对装置内的气体进行检测，可知钢瓶内的气体是否发生泄漏。
10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于所述向装置内充入的不与钢瓶内气体反应的气体包括氮气、氦气、氩气或它们的混合气体。
全文摘要
本发明公开了一种储气钢瓶检漏装置和检漏方法，所述装置具有一壳体，所述壳体一端具有密封部，所述密封部包括与所述钢瓶口连接的螺纹和密封圈；所述壳体的另一端或侧部连接有检漏部，所述检漏部包括第一阀门和第二阀门，所述第一阀门或第二阀门连接有压力表。本发明的储气钢瓶检漏装置和方法可应用于Y瓶和一般的储气钢瓶，特别是装有易燃易爆或剧毒气体的钢瓶，能够在很大程度上提高钢瓶在运输过程中的安全性，并提高检漏的有效性。
文档编号G01M3/32GK102261981SQ20111009961
公开日2011年11月30日 申请日期2011年4月21日 优先权日2011年4月21日
发明者施宏伟, 陈国富 申请人:福建博纯材料有限公司