专利名称：基于微机械mems 二维扫描镜的激光主动探测装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种激光成像，特别是一种基于MEMS 二维扫描镜的激光主动探测装置。
背景技术：
激光探测技术已有40多年的发展历史。高速激光扫描技术一直是制约激光探测技术发展的一项瓶颈技术。传统的激光扫描方法主要包括机械扫描和声(电)光扫描，但这两种扫描方法被用于激光主动成像制导时均存在一定的局限性。机械扫描是较成熟的一种扫描技术，它利用反射镜或透射镜等光学元件的转动或振动来改变光束的传播方向从而实现光束的扫描。而声(电)光扫描则是利用声(电)光效应来改变光束在空间的传播方向，即声(电)光晶体在声波(电场)的作用下沿某些方向对光的折射率发生变化，当激光束沿特定方向入射时，在声(电)场的作用下就会发生偏转从而达到扫描的目的。光束偏转角的大小与晶体折射率的线性变化率成正比。表-1三种扫描方法的比较
权利要求
1.基于微机械MEMS二维扫描镜的激光主动探测装置，其特征在于，CPU(I)生成激光脉冲控制信号控制激光测距仪( 发射脉冲激光，激光光束经静电驱动MEMS 二维扫描镜(3) 扫描后，照射到被探测的目标(4)上，激光光束被反射回激光测距仪，CPU(I)与激光测距仪 (2)连接，经过信息处理后实现对目标的探测。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于所述二维扫描镜为MEMS二维激光扫描
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于所述激光测距仪( 为脉冲激光测距仪。
全文摘要
本发明公开了一种基于微机械MEMS二维扫描镜的激光主动探测装置，CPU生成激光脉冲控制信号控制激光测距仪发射脉冲激光，激光光束经静电驱动M EMS二维扫描镜扫描后，照射到被探测的目标上，激光光束被反射回激光测距仪，CPU与激光测距仪连接，经过信息处理后实现对目标的探测。本发明具有体积小、质量轻、功耗小、响应速度快、价格便宜，耐撞击等特点。
文档编号G01S7/48GK102426362SQ20111036783
公开日2012年4月25日 申请日期2011年11月18日 优先权日2011年11月18日
发明者孙剑, 尤政, 张弛 申请人:西安交通大学