专利名称：基于微机械mems 二维扫描镜阵列的激光主动探测装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种激光探测装置，特别是一种基于微机械(MEMQ 二维扫描镜的激光主动探测装置。
背景技术：
激光探测技术已有40多年的发展历史。高速激光扫描技术一直是制约激光探测技术发展的一项瓶颈技术。传统的激光扫描方法主要包括机械扫描和声(电)光扫描，但这两种扫描方法被用于激光主动成像制导时均存在一定的局限性。机械扫描是较成熟的一种扫描技术，它利用反射镜或透射镜等光学元件的转动或振动来改变光束的传播方向从而实现光束的扫描。而声(电)光扫描则是利用声(电)光效应来改变光束在空间的传播方向，即声(电)光晶体在声波(电场)的作用下沿某些方向对光的折射率发生变化，当激光束沿特定方向入射时，在声(电)场的作用下就会发生偏转从而达到扫描的目的。光束偏转角的大小与晶体折射率的线性变化率成正比。表-1三种扫描方法的比较
权利要求
1.基于微机械MEMS二维扫描镜阵列的激光主动探测装置，其特征在于，DSP信号处理电路1生成激光脉冲控制信号控制激光测距仪阵列C3)发射脉冲激光，激光光束经微机械MEMS 二维扫描镜阵列(4)扫描后，照射到被探测的目标(5)上，激光光束被反射回激光测距仪阵列( 后，激光测距仪阵列( 根据发射激光脉冲和接收激光脉冲之间的时间差测量出被测目标的距离，DSP信号处理电路⑴利用控制总线控制FPGA逻辑电路⑵分别连接微机械(MEMS) 二维扫描镜阵列⑷四组激光测距仪阵列(3)，将测量结果读取到DSP信号处理电路(1)中。
2.根据权利要求1所述的MEMS二维扫描镜阵列的激光主动探测装置，其特征在于所述MEMS 二维扫描镜阵列所包含的数量至少为两个。
3.根据权利要求1所述的MEMS二维扫描镜阵列的激光主动探测装置，其特征在于所述的激光测距仪的数量和安装位置与MEMS 二维扫描镜相互对应。
全文摘要
本发明公开了一种基于微机械MEMS二维扫描镜阵列的激光主动探测装置。DSP信号处理电路1生成激光脉冲控制信号控制激光测距仪阵列发射脉冲激光，激光光束经微机械MEMS二维扫描镜阵列扫描后，照射到被探测的目标上，激光光束被反射回激光测距仪阵列后，激光测距仪阵列根据发射激光脉冲和接收激光脉冲之间的时间差测量出被测目标的距离，DSP信号处理电路利用控制总线控制FPGA逻辑电路分别连接微机械(MEMS)二维扫描镜阵列四组激光测距仪阵列，将测量结果读取到DSP信号处理电路中。该装置结构简单，扫描速度高，扫描范围大，成本低，体积小，质量轻等优点。
文档编号G01S17/89GK102520412SQ201110367858
公开日2012年6月27日 申请日期2011年11月18日 优先权日2011年11月18日
发明者史浩天, 孙剑, 尤政, 张弛, 张潮 申请人:西安交通大学