专利名称：一种功率模块超声波检测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及功率模块检测领域，具体涉及一种功率模块超声波检测装置。
背景技术：
目前能源问题日益凸显，电力供需矛盾也日趋尖锐，大力发展新型电力电子器件已成为一项重要课题，绝缘栅双极晶体管(Insulated Gate Bipolar Transistor,简称IGBT)是目前发展最快的一种混合型电力电子器件，它既具有MOSFET的输入阻抗高、控制功率小、驱动电路简单、开关速度高、开 关损耗小的优点，又具有双极功率晶体管的电流密度大、饱和压降低、电流处理能力强的优点，因而是电力电子领域理想的开关器件。在实际应用中，为了减小体积，提高可靠性，通常会将一个或多个IGBT封灌成功率模块，或者再进一步集成驱动以及保护电路，封灌成智能功率模块。现有的功率模块通常包括基板、边框、顶盖、半导体芯片、功率端子及信号端子，所述基板具有一承载面及一与承载面相对的底面，所述的边框、顶盖、半导体芯片、功率端子及信号端子均设置于承载面的一侧。在功率模块的制作过程中，需要对功率模块的内部物理缺陷进行检测，现有的检测装置如图I所示，包括水槽2、超声波扫描装置(图中未示出)、超声波扫描探头I ;所述的功率模块包括基板6、半导体芯片4、边框(图中未示出)、顶盖(图中未示出)、功率端子(图中未示出)及信号端子(图中未示出)，所述基板具有一承载面及一与承载面相对的底面，所述的半导体芯片设置于承载面上；检测时需要将水5加入所述的水槽中，并将功率模块通过支撑部3整体置于水中，然后超声波扫描探头I伸入水中，对功率模块进行扫描；由于检测时功率模块需要整体放入水中，检测过程中，功率模块的基板6和内部的半导体芯片4均不可避免地与水接触，后面还需进一步清洗，这样降低了生产效率。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题为现有的功率模块超声波检测装置，检测时需将整个功率模块放入液体介质中，后面还需进一步清洗，这样降低了生产效率。为解决现有技术中所存在的技术问题，本实用新型提供一种功率模块超声波检测装置，所述的功率模块包括基板和半导体芯片，所述的基板具有用以承载半导体芯片的承载面以及与所述承载面相对的第一底面；所述的检测装置包括具有超声波扫描探头的超声波扫描装置、以及用以容纳超声波扫描液体介质的液体介质存储槽，所述的液体介质存储槽的底面开设有可被所述第一底面覆盖的孔，所述孔的周围设有在外部压力下可与所述第一底面密封连接的密封圈。进一步地，所述的液体介质存储槽的底面设有用以提供所述外部压力的压持部。进一步地，所述的压持部包括转轴、与所述转轴可旋转连接并于第一位置使所述第一底面和密封圈相互挤压且密封连接的压杆、以及用以将所述压杆固定于所述第一位置的固定部，所述转轴和固定部分别设于所述孔的相对两侧的底面上。[0009]进一步地，所述的压杆上还设有塑胶凸起。进一步地，所述液体介质存储槽还包括液体介质第一出口及液体介质第一出口阀门。进一步地，功率模块超声波检测装置，还包括放置高度低于所述液体介质存储槽的液体介质下存储槽，所述液体介质下存储槽的开口与所述液体介质第一出口相对应。进一步地，功率模块超声波检测装置，还包括放置高度高于所述液体介质存储槽的液体介质上存储槽，以及用以将液体介质下存储槽中的液体介质输送到液体介质上存储槽中的泵和导管，所述的液体介质上存储槽包括液体介质第二出口及液体介质第二出口阀门，所述液体介质第二出口与液体介质存储槽的开口相对应。本实用新型提供的一种功率模块超声波检测装置，所述的功率模块包括基板和半 导体芯片，所述的基板具有用以承载半导体芯片的承载面以及与所述承载面相对的第一底面；所述的检测装置包括具有超声波扫描探头的超声波扫描装置、以及用以容纳超声波扫描液体介质的液体介质存储槽，所述的液体介质存储槽的底面开设有可被所述第一底面覆盖的孔，所述孔的周围设有在外部压力下可与所述第一底面密封连接的密封圈。与现有技术相比，可避免功率模块的半导体芯片与超声波扫描液体介质接触，从而避免了后续的清洗工序，提高了生产效率。
图I是本实用新型现有技术的一种功率模块超声波检测装置结构图；图2是本实用新型实施例的一种功率模块超声波检测装置结构图；图3是本实用新型实施例的另一种功率模块超声波检测装置结构图。
具体实施方式
为了使本实用新型所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，
以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。如图2所示的一种功率模块超声波检测装置，所述的功率模块包括基板6和半导体芯片4，所述的基板具有用以承载半导体芯片的承载面以及与所述承载面相对的第一底面；所述的检测装置包括具有超声波扫描探头I的超声波扫描装置(图中未示出)、以及用以容纳超声波扫描液体介质7的液体介质存储槽2，所述的液体介质存储槽2的底面开设有可被所述第一底面覆盖的孔21，所述孔的周围设有在外部压力下可与所述第一底面密封连接的密封圈20。具体地，在某些实施例中，所述的超声波扫描液体介质为水，但不限于水，也可以是其它可以用来作为超声波扫描液体介质的液体；具体地，所述的孔21的形状与功率半导体器件基板的第一底面形状相适应。作为上述技术方案的进一步改进，所述的液体介质存储槽的底面设有用以提供所述外部压力的压持部。作为上述技术方案的进一步细化，所述的压持部包括转轴19、与所述转轴可旋转连接并于第一位置使所述第一底面和密封圈相互挤压且密封连接的压杆16、以及用以将所述压杆固定于所述第一位置的固定部15，具体地，所述的第一位置指压杆16所处在的某一个位置时，足以使得第一底面和密封圈相互挤压且形成密封连接，在实际应用中，可根据密封圈的材质、厚度、在不同的外力下与第一底面的结合程度等因素来确定该第一位置；在本实施例中，如图3所示，固定部15为“L”型固定杆，当压杆到达第一位置时，通过“L”型固定杆横臂，卡设于第一位置；所述转轴和固定部分别设于所述孔的相对两侧的底面上，使得压杆16可以于功率半导体器件的边缘施加压力，在本实施例中，所述的转轴、压杆、固定部均设有两组，分别对功率器件的两个相对的边缘施加压力，以使得功率半导体器件与密封圈密封连接。作为上述技术方案的进一步改进，所述的压杆上还设有塑胶凸起17，以使得功率半导体器件与密封圈更好地密封连接。如图3所示的另一种功率模块超声波检测装置，作为上述技术方案的进一步改进，所述液体介质存储槽还包括液体介质第一出口 8及液体介质第一出口阀门9，以在完成对功率半导体器件的检测后，将液体介质排出。作为上述技术方案的进一步改进，所述的功率模块超声波检测装置，还包括放置高度低于所述液体介质存储槽的液体介质下存储槽10，所述液体介质下存储槽的开口与所述液体介质第一出口相对应，以对排出的液体介质进行回收。作为上述技术方案的进一步改进，所述的功率模块超声波检测装置还包括放置高度高于所述液体介质存储槽的液体介质上存储槽13，以及用以将液体介质下存储槽中的液体介质输送到液体介质上存储槽中的泵11和导管12，所述的液体介质上存储槽包括液体介质第二出口 18及液体介质第二出口阀门14，所述液体介质第二出口与液体介质存储槽的开口相对应，以对回收的液体介质进行再利用。以下根据图2、图3对本实用新型的使用方法进行详细地说明，首先将液体介质存储槽2底面朝上，然后将功率半导体器件第一底面朝下覆盖于孔21上，围绕转轴19旋转压杆16，通过压杆对所述第一底面施加压力，到达第一位置时，压杆16卡设于固定部15上，然后将液体介质存储槽2开口朝上，向液体介质存储槽2内注入超声波扫描液体介质，然后通过超声波探头I对半导体功率器件进行检测，检测完毕后将超声波扫描液体介质排出，再将固定于液体介质存储槽2底面的半导体功率器件取下，并清除所述第一底面上的残留介质。因此本实用新型提供的一种功率模块超声波检测装置，与现有技术相比，可避免功率模块的半导体芯片与超声波扫描液体介质接触，从而避免了后续的清洗工序，提高了生产效率。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种功率模块超声波检测装置，所述的功率模块包括基板和半导体芯片，所述的基板具有用以承载半导体芯片的承载面以及与所述承载面相对的第一底面；所述的检测装置包括具有超声波扫描探头的超声波扫描装置、以及用以容纳超声波扫描液体介质的液体介质存储槽，其特征在于，所述的液体介质存储槽的底面开设有可被所述第一底面覆盖的孔，所述孔的周围设有在外部压力下可与所述第一底面密封连接的密封圈。
2.根据权利要求I所述的功率模块超声波检测装置，其特征在于，所述的液体介质存储槽的底面设有用以提供所述外部压力的压持部。
3.根据权利要求2所述的功率模块超声波检测装置，其特征在于，所述的压持部包括转轴、与所述转轴可旋转连接并于第一位置使所述第一底面和密封圈相互挤压且密封连接的压杆、以及用以将所述压杆固定于所述第一位置的固定部，所述转轴和固定部分别设于所述孔的相对两侧的底面上。
4.根据权利要求3所述的功率模块超声波检测装置，其特征在于，所述的压杆上还设有塑胶凸起。
5.根据权利要求I至4任一项所述的功率模块超声波检测装置，其特征在于，所述液体介质存储槽还包括液体介质第一出口及液体介质第一出口阀门。
6.根据权利要求5所述的功率模块超声波检测装置，其特征在于，还包括放置高度低于所述液体介质存储槽的液体介质下存储槽，所述液体介质下存储槽的开口与所述液体介质第一出口相对应。
7.根据权利要求6所述的功率模块超声波检测装置，其特征在于，还包括放置高度高于所述液体介质存储槽的液体介质上存储槽，以及用以将液体介质下存储槽中的液体介质输送到液体介质上存储槽中的泵和导管，所述的液体介质上存储槽包括液体介质第二出口及液体介质第二出口阀门，所述液体介质第二出口与液体介质存储槽的开口相对应。
专利摘要本实用新型提供一种功率模块超声波检测装置，所述的功率模块包括基板和半导体芯片，所述的基板具有用以承载半导体芯片的承载面以及与所述承载面相对的第一底面；所述的检测装置包括具有超声波扫描探头的超声波扫描装置、以及用以容纳超声波扫描液体介质的液体介质存储槽，所述的液体介质存储槽的底面开设有可被所述第一底面覆盖的孔，所述孔的周围设有在外部压力下可与所述第一底面密封连接的密封圈。与现有技术相比，可避免检测时功率模块的半导体芯片与超声波扫描液体介质接触，从而避免了后续的清洗工序，提高了生产效率。
文档编号G01N29/04GK202442995SQ20122002134
公开日2012年9月19日 申请日期2012年1月16日 优先权日2012年1月16日
发明者武艳霞 申请人:深圳市立德电控科技有限公司