反射式干涉型光纤传感器系统的制作方法

文档序号:5974937阅读:166来源:国知局
专利名称:反射式干涉型光纤传感器系统的制作方法
技术领域
本发明涉及光纤传感器,尤其涉及反射式干渉型的光纤传感器。
背景技术
近30年来,光纤传感器技术得到了快速发展,现在已经是传感技术的ー个重要领域,其发展直接影响到许多行业的进歩。与传统的传感器相比,光纤传感器的特点主要包括(I)抗电磁干扰,电绝缘,耐腐蚀,本质安全;(2)灵敏度高;(3)重量轻,体积小,外形可变;(4)测量对象广泛;(5)对被测介质影响小;(6)便于复用,便于成网;(7)成本低等等。由于上述优点,光纤传感器技术在电力、石油化工、生医生化、航空航天、国防、环境保护与检测等诸多领域有广泛的应用或应用前景。它利用外界因素改变光纤中光的強度 (振幅)、相位、偏振态或波长(频率),具体可測量物理量包括电流、电压、电场、磁场、电功率、温度、应力、应变、振动、速度、角速度、血流、体压、气体浓度等等。但是光纤传感器应用光纤等光学材料作为光传感和传输介质,而光学材料特性一般都容易受到温度、振动、压カ等周围环境的影响。尤其是对于相位调制型光纤传感器而言,相位调制型光纤传感器中的光电子模块容易受到温度、振动、压カ等外界因素干扰,导致其传感精度不良,使用寿命也受到影响。现有的光纤电流传感器技术參见CN100575959C、CN101299147B、CN101364475B、CN101521104B、CN101692401B、CN101915866A、CN101957395A、CN102087307A、CN102082606A
坐寸ο本发明的目的在于以下几个方面一、采用本发明设计的光纤传感器测量范国大,測量范围最大可远远突破干渉信号周期性限制;ニ、采用本发明设计的光纤传感器测量灵敏度高;三、采用闭环信号检测方案,保证了采用本发明设计的光纤传感器在測量范围都具有很好的测量线性度(即在測量范围内不用校正传感器的标度因素);四、本发明结构简单,光路和电路均易于模块化和集成;五、采用本发明设计的光纤传感器光路互易性好,抗干扰能力强;六、采用本发明设计的光纤传感器体积小,重量轻,便于组网设计。
发明内容为了简化系统并有效提高系统可靠性,有必要针对传感器的信号处理单元和数据采集单元进行一体化设计,从而保证传感器的集成度和稳定性。鉴于上述情况,本发明提供ー种光纤传感器,包括光源、光学器件集成组件、探头、光电探测器、信号处理单元。所述光学器件集成组件中包括Y型光相位调制器;所述光学器件集成组件将光源输出的光线起偏为两束线偏振光并传输至探头;接收从探头处返回的光线并使得返回的光线在所述Y型光相位调制器中发生干渉;将干涉结果输出到光电探测器;接收来自信号处理单元的反馈调制信息;所述光电探測器接收光学器件集成组件的光信号输出,利用光电效应将光信号转换为电信号,将电信号输出到信号处理单元;所述信号处理单元中接收光电探測器的输出的信号,对所述信号进行处理,并将信号处理结果作为反馈调制信息反馈给所述光学器件集成组件。根据本发明的ー个方面,所述光学器件集成组件中还包括第一分光合光器件、第二分光合光器件,光延迟器;第一分光合光器件接收光源输出的光线,并将该光线全部或部分地通过光纤输入到Y型光相位调制器;将光路中返回的两束偏振光的干涉结果经过光纤输出到光电探测器;第二分光合光器件接收Y型光相位调制器输出的两束偏振光,并将其转换为模式正交的形式后耦合在同一根保偏光纤中输出到光延迟器;接受钛光延迟器返回的两束模式正交的线偏振光,并将其转换成偏振模式相同的线偏振光后,分解至第二分光合光器件的 两个保偏光纤尾纤回传至Y型光相位调制器;光延迟器在第二分光合光器件至探头之间传输两束模式正交偏振光并调整传感器本征周期的大小。根据本发明的ー个方面,所述信号处理单元中还包括放大滤波単元、模数转换单元、数字解调单元、积分单元、数字累加単元、数模转换及驱动单元、数值滤波単元、接ロ转换单元;其中放大滤波単元,对光电探測器的输出电信号进行处理,实现其幅值放大和噪声降低;模数转换单元,接收放大滤波单元的输出,将经过放大滤波的模拟信号转换为数字信号,然后输出到数字解调单元;数字解调单元,接收模数转换单元输出,将经过解调后的数字信号输出到积分单元进行积分运算;积分单元,接收数字解调单元的输出,将解调后的信号进行积分,得到反馈阶梯波的台阶高度信号,并将该信号分别输出给数字累加単元和数值滤波単元;数字累加単元,接收积分単元的输出,并按照时间步长对其进行累加,得到数字阶梯波信号,该数字阶梯波信号与偏置调制方波叠加,叠加结果作为数模转换及驱动单元的输入信号;数模转换及驱动单元,接收数字累加単元的输出,将数字阶梯波与调制方波转换为模拟电信号,然后把该电信号输出给Y型光相位调制器,从而驱动Y型光相位调制器对光信号进行调制,以在两束相干偏振光间引入偏置调制相位和反馈调制相位;数值滤波単元,接收积分単元的输出,对接收到的信号进行滤波,得到滤波结果信号,并将该信号输出到接ロ转换单元;接ロ转换单元,接收数值滤波单元的输出,将该输出信号转换为符合特定格式的输出信号,并以数字信号形式输出。根据本发明的ー个方面,所述Y型光相位调制器是Y型集成光学光相位调制器。根据本发明的ー个方面,干涉时的相位差始终保持在土 /2左右的干涉最灵敏区域。根据本发明的ー个方面,在信号处理单元中,数字解调单元、积分单元、数值滤波単元集成为独立的数字处理单元。如附图所示,根据下文对最佳实施方式的详细描述,本发明公开的这些和其他目的、特征和优点将更为明显。

图I是本发明的光纤传感器一个实施例的结构示意图;[0023]图2是光纤传感器中进行方波调制的原理图;图3是对阶梯波进行调制的波形示意图;图4是对信号进行解调的波形示意图。
具体实施方式
图I是本发明所涉及的反射式相位调制型光纤传感器的一个实施例的示意图。根据该实施例,该光纤传感器包括光源、第一分光合光器件(即图I中的分光合光器件I)、Y型光相位调制器、第二分光合光器件(即图I中的分光合光器件2)、光延迟器、光电探测器、放大滤波单元、模数转换单元、数字解调单元、积分单元、数字累加単元、数模转换及驱动单元、数值滤波单元、接ロ转换单元。由于本发明所设计的传感器可以用作通用传感器,因此其中的探头的作用是对待 测量进行检测,探头的构成可根据具体待測量种类而定。比如測量电压的探头,它就主要有电光调制晶体构成。至于测定其它的待測量,则本领域的技术人员可以根据需要而自行选取相应的探头,因此本发明的重点不在于探头本身的改进,下文对探头结构及其组成不再详叙。在该实施例中,第一分光合光器件、Y型光相位调制器、第二分光合光器件、光延迟器既可以统ー集成为ー个独立的光学组件,称为光学器件集成组件,也可以按照设计需求,将这些器件组成多个组件,以提高系统的集成程度,便于组件的生产,也有利于提高组件的可替换性。在优选的情况下,第一分光合光器件、Y型光相位调制器、第二分光合光器件、光延迟器构成模块化的光学器件集成组件。在该实施例中,放大滤波单元、模数转换单元、数字解调单元、积分单元、数字累加単元、数模转换及驱动单元、数值滤波単元、接ロ转换单元既可以统ー集成为ー个独立的信号处理模块,称为信号处理单元(即图I中的闭环信号处理单元),也可以按照设计需求,将这些器件组成多个组件,以提高系统的集成程度,便于组件的生产,也有利于提高组件的可替换性。光源,用于输出光线,对于本发明所涉及的相位调制式干渉型的光纤传感器,光源输出的光线作为光频载波信息。光源的输出光线通过光纤输入到第一分光合光器件。第一分光合光器件,用于接收光源输出的光线,并将该光线全部或部分地通过光纤输入到Y型光相位调制器。作为光相位调制器的一个实施例,此处采用Y型光相位调制器。此外,第一分光合光器件还将传感器光路中返回的两束偏振光干渉结果经过光纤输出到光电探测器,进行后续信号解调和处理。第一分光合光器件属于现有技术,包括但不限于耦合器、环形器。图I中的Y型光相位调制器为集成光学Y型光相位调制器,即Y型集成光学光相位调制器(以下简称为Y型光相位调制器)。Y型光相位调制器,用于接收第一分光合光器件输出的光信号,随即将该光信号起偏成线偏振光,并进一歩地将该线偏振光等分成两束,沿着Y型光相位调制器的两根保偏光纤尾纤前向传输。此外,Y型光相位调制器还用于接收数模转换及驱动单元输出的偏置调制和阶梯波反馈控制信号,对两束偏振光的相位进行调制。[0036]此外,Y型光相位调制器还用于接受从第二分光合光器件返回的两束线偏振光,这两束线偏振光在Y型光相位调制器中发生干渉后,干渉结果经过光纤尾纤输出到第一分光合光器件。第二分光合光器件,用于接收Y型光相位调制器输出两束偏振光,并将其转换为模式正交的形式后稱合在同一根保偏光纤中输出到光延迟器。此外,第二分光合光器件用于接受从光延迟器返回的两束模式正交的线偏振光,并将其转换成偏振模式相同的线偏振光后,分解至第二分光合光器件的两个保偏光纤尾纤 回传至Y型光相位调制器。需要说明的是,尽管分解回传的两束线偏振光的偏振模式与前向传输时的偏振模式相同,但是传输通道互換了,即沿光纤尾纤I (比如第二分光合光器件左边的两根光纤尾纤,上面的一根尾纤称为光纤尾纤I,下面的一根称为光纤尾纤2)前向传输的偏振光将沿光纤尾纤2回传,而沿光纤尾纤2前向传输的偏振光将沿光纤尾纤I回传。第二分光合光器件属于现有技术,包括但不限于PBS(polarization beam splitter),即偏振光分离器。本领域的技术人员完全能够得知其具体实现方式,在本文中不再详述。光延迟器,用于第二分光合光器件至探头之间的两束模式正交偏振光传输,它可以是几米至几千米的保偏光纤。光延迟器的另一作用是用于调整传感器本征周期τ的大小,并以其作为传感器信号处理环节的时序基准。本征周期τ是指偏振光在传感器光路中的传输时间。探头,用于直接敏感待测物理量,并由于敏感该物理量而在两束正交偏振光间形成相位差。探头一般至少由3部分组成,即传感介质,包括光纤或其它的光学材料;反射镜,包括在传感介质端面安装镜面或镀膜形成镜面;偏振光转换器,比如1/4波片,或法拉第旋转镜等。此外,与输入时相比,两束模式正交的偏振光在输出探头时还实现了模式互換,即原来是X模式的线偏振光在反向回传时变为Y模式,原来是Y模式的线偏振光在反向回传时变为X模式。光电探测器,用于接收第一分光合光器件的光信号输出,利用光电效应将光信号转换为电信号,将电信号输出到放大滤波単元。放大滤波単元,用于对光电探测器的输出电信号进行处理,实现其幅值放大和噪声降低。模数转换单元,用于接收放大滤波単元的输出,将经过放大滤波的模拟信号转换为数字信号,然后输出到数字解调单元。数字解调单元,用于接收模数转换单元输出,将经过解调后的数字信号输出到积分単元进行积分运算。解调方法是,对输入信号的前后半周期各取η个点累加求和,之后相减,即得解调結果。η可以是1,也可以是其它正整数。积分单元,用于接收数字解调单元的输出,将解调后的信号进行积分,得到闭环信号处理单元反馈阶梯波的台阶高度信号,并将该信号分别输出给数字累加単元和数值滤波单元。数字累加単元,用于接收积分单元的输出,并按照时间步长τ对其进行累加,得到数字阶梯波信号。该数字阶梯波与在闭环信号处理单元中形成的土 η/2偏置调制方波叠加,叠加结果作为数模转换及驱动单元的输入信号。[0048]数模转换及驱动单元,用于接收数字累加单元的输出,将数字阶梯波与偏置调制方波信号转换为模拟电信号,然后把该电信号输出给Y型光相位调制器,从而驱动Y型光相位调制器对光信号进行调制,以在两束相干偏振光间引入土 η /2偏置调制相位和Φκ反馈调制相位。数值滤波単元,用于接收积分单元的输出,对接收到的信号进行滤波,得到滤波结果信号,并将该信号输出到接ロ转换单元。接ロ转换单元,用于接收数值滤波単元的输出,将该输出信号转换为符合特定格式的输出信号,并以数字信号形式输出。如图I所示,光源发出的光经第一分光合光器件后,通过光学器件集成组件起偏为线偏振光,并随即分为模式正交、幅度相等的两束线偏振光,分别沿光学器件集成组件中的Y型光相位调制器的两根尾纤前向传输。根据本发明的一个实施方式,光源发出的光经第一分光合光器件后进入Y型集成光学光相位调制器,Y型集成光学光相位调制器对输入光至少具有起偏、分束、相位调制等三项功能。两束线偏振光在Y型光相位调制器中受到来自闭环反馈通道(即图I中光学器件集成组件、光电探测 器、闭环信号处理单元这三者形成的闭环)的数模转换及驱动单元输出信号的电光调制作用,在这两束线偏振光间引入调制相位,使得两束光在最终发生干涉时的相位差始終保持在土 /2附近浮动。所述调制相位的具体原理和波形參见图2、3的内容,后文将进行进ー步的描述。线偏振光经过调制后,经过第二分光合光器件的处理之后,经过光延迟器,传输至探头。根据本发明的一个实施方式,转变为两束模式正交的线偏振光,沿着同一根保偏光纤的X模和Y模经过光延迟器(此光延迟器可以是一段保偏光纤,长度从数十米至数千米均可。其作用是适当调整光在光路中的传输时间τ,τ作为整个传感器系统的本征周期,也是信号处理信号単元中进行调制解调的时间基准)后到达传感探头。在探头处,两束光敏感某种物理效应,比如,法拉第磁光效应、泡克耳斯(Pockels)电光效应等等,产生非可逆相位差Φ (參见下文第一个公式),并且经探头处的反射镜反射,该两束光模式互換后沿原光路返回。返回的光在Y型光相位调制器处发生干渉,干涉结果通过第一分光合光器件后耦合进光电探测器,然后送入信号处理单元进行信号提取。在闭环信号处理单元中,数字解调单元、积分单元、数值滤波単元等既可以统ー集成为ー个独立的信号处理模块,称为数字处理单元,也可以按照设计需求,将这些模块组成多个组件,以提高系统的集成程度,便于组件的生产,也有利于提高组件的可替换性。在闭环信号处理单元中,光电探测器输出的信号经过放大滤波单元进行放大滤波,然后进行模数转换得到数字信号,数字信号的转换结果被送入数字处理单元,进行数字信号的解调、积分、数值滤波等计算。数字处理单元中产生输出信号以及偏置调制和反馈调制信息,其中偏置调制和反馈调制信息经数模转换及驱动单元后输出到光学器件集成组件中的Y型光相位调制器,从而形成闭环信号处理系统。根据本发明的ー个具体实施例,如果数模转换及驱动单元不向光学器件集成组件中的Y型光相位调制器进行相位调制的情况下,那么两束相干光的干渉结果为Id = I0 · (1+cos Φ) (I)式中,I。是两束相干光的強度,Φ是两束相干光在探头处敏感待测物理量(比如电流、电压等)形成的相位差信息。[0057]从上式可以看出,干涉结果Id是相位差Φ的余弦函数。由于余弦函数在零相位时斜率为零,对微小相位差反应不灵敏,所以从上式中直接提取相位信息Φ比较困难,同时不能分辨相差的符号。应用方波调制技术使相差信息产生土 π /2偏置,使传感器系统工作在较灵敏的区域,提高传感器的响应灵敏度;同时通过方波调制,在频域上将输出信号频谱由低频区迁移到高频,避开低频区的Ι/f噪声,減少了低频噪声的影响。这时,上式变为Id=I0 -(1 + cos(^ 土;r / 2))=Z0 -(l + sin^)( 2 )可见,方波调制后的干涉结果是ー个叠加在直流Itl上的幅值为ZItlSin Φ的方波信号,方波幅值反映了待测相移大小。具体调制原理參见图2。如图2所不,图2分为上、下、右三个部分。图2上部分的正弦图纵轴表不两束偏振光干涉以后的光强,横轴表示两束相干偏振光相位差。图2下部分是对两束相干偏振光进行土 η/2偏置调制的调制方波,它的竖轴是时间,横轴表示方波幅值,并且方波幅值调制时正好可以在两束相干偏振光间引入土 η /2偏置调制相位差。图2右侧部分是两束偏振光干涉结果经过方波调制后的输出波形,其中偏左侧部分是在待测物理量=O时的波形,偏右侧部分是在待测物理量不等于O时的波形,底部平的部分表示正处于方波幅值调制吋、尖峰则是在方波峰-峰幅值跳变中的两束偏振光干涉结果经过最高点形成的。如果通过数模转换及驱动单元向光学器件集成组件中的Y型光相位调制器进行反馈相位调制,即,如果在两束线偏振光之间引入ー个与Φ相移大小相等、方向相反的反馈补偿相移Φκ,用来抵消探头处待测物理量引起的Φ相移。那么在加入反馈相移Φκ后,干涉输出信息为Ι =Ι0·(\ + 8ΗΦ + Φη))( 3 )由于φ + φ κ 0,所以此时传感器系统始终工作在线性度最好的零相位附近区域,因此测量灵敏度最高;同时由于实现闭环检测,也扩大了系统的测量范围。根据本发明的ー个具体实施例,闭环信号处理单元可由FPGA、DSP、ARM、单片机等技术实现。本领域的技术人员均应知晓,根据本发明的ー个方面,上述单元既可以作为独立的电路组件,也可以作为集成电路整体成型,从而便于使用或者调试。在闭环信号处理单元中,首先对模数转换结果进行解调,接着对解调结果进行积分,积分结果在送数字滤波的输出通道同时,再次进行数字累加,形成数字阶梯波,如图3所示。图3上半部分,纵轴是相位差、横轴是时间。其中的实线阶梯波表示t时刻的反馈阶梯波、虚线阶梯波表示t+ τ时刻的反馈阶梯波,阶梯波的台阶高度是实际反馈量的大小。图3下半部分与上半部分对应,由上半部分的实线与虚线相减得到,它实际表征的是阶梯波的台阶高度。在周期性的下凹部分,表征的同样是阶梯波的高度值,只是此处阶梯波相位累加至2 31,形成复位,因此它的高度比非复位处高度低2 31。数字阶梯波与在闭环信号处理单元中形成的调制方波叠加,叠加结果经数模转换及驱动单元加到光学器件集成组件的Y型光相位调制器处,引入土 /2偏置调制相位及Φκ反馈调制相位,形成系统闭环,从而可以提高检测精度、増加检测范围。根据本发明的ー个具体实施例,利用信号和噪声不相关的特点,应用相关解调技术提取信号、抑制噪声。具体方法如图4所示对于加入偏置调制和反馈调制后的干涉输出结果,在正、负半周期上各取η个点(參见图4(b)中的多个空心圆的点),分别由数字解调单元进行求和后相减,得到解调结果Λ Δ = η · I0 · (1+sin ( φ + φ E)) -η · I0 · (1-sin ( Φ + Φ R))= 2η · I0 · sin ( φ + φ Ε) (4)对解调结果△再进行积分即可得数字输出量及反馈台阶高度值。參见图4,图4可分为上、中、下三个部分。其中图4中的(a)表示偏置调制方波;图4(b)表示经过调制的两束偏振光干渉结果输出;图4(()表示的是解调脉冲,即在有脉冲信号时提取图4(b)中的干渉结果输出值。图4中的横轴均表示时间。上述単元在功能确定的情况下,可根据需求,设计为集成器件或者単独的模块,在 设计为集成器件的情况下,光路、电路的器件均易于模块化和集成,互易性好,便于组网设计。本领域的技术人员应当理解,在所附权利要求的范围及其等同范围内,依据设计要求及其他因素,可以出现各种修改、合并、子项合并和变化。
权利要求1.ー种反射式干渉型光纤传感器系统,包括光源、光学器件集成组件、探头、光电探测器、信号处理单元,其特征在干, 所述光纤传感器为反射式干渉型光纤传感器; 所述光纤传感器中,两束模式正交的线偏振光沿同一根保偏光纤的两个正交模式传输至探头,并在探头内发生反射并使得两束光的正交模式互換,之后沿原光路返回; 所述光学器件集成组件中包括Y型光相位调制器; 所述光学器件集成组件将光源输出的光线起偏为两束线偏振光并传输至探头;接收从探头处返回的光线并使得返回的光线在所述Y型光相位调制器中发生干渉;将干涉结果输出到光电探测器;接收来自信号处理单元的反馈调制信息; 所述光电探測器接收光学器件集成组件的光信号输出,利用光电效应将光信号转换为 电信号,将电信号输出到信号处理单元; 所述信号处理单元中接收光电探測器的输出的信号,对所述信号进行处理,并将信号处理结果作为反馈调制信息反馈给所述光学器件集成组件中的Y型光相位调制器。
2.根据权利要求I所述光纤传感器系统,其特征在干, 所述光学器件集成组件中包括第一分光合光器件、第二分光合光器件、光延迟器; 第一分光合光器件接收光源输出的光线,并将该光线全部或部分地通过光纤输入到Y型光相位调制器;将光路中返回的两束偏振光的干涉结果经过光纤输出到光电探测器;第二分光合光器件接收Y型光相位调制器输出的两束偏振光,并将其转换为模式正交的形式后耦合在同一根保偏光纤中输出到光延迟器;接受从光延迟器返回的两束模式正交的线偏振光,并将其转换成偏振模式相同的线偏振光后,分解至第二分光合光器件的两个保偏光纤尾纤回传至Y型光相位调制器; 光延迟器在第二分光合光器件至探头之间传输两束模式正交偏振光并调整传感器本征周期的大小。
3.根据权利要求I或2所述的光纤传感器系统,其特征在干, 所述信号处理单元中还包括放大滤波単元、模数转换单元、数字解调单元、积分单元、数字累加単元、数模转换及驱动单元、数值滤波単元、接ロ转换单元;其中 放大滤波単元,对光电探測器的输出电信号进行处理,实现其幅值放大和噪声降低;模数转换单元,接收放大滤波单元的输出,将经过放大滤波的模拟信号转换为数字信号,然后输出到数字解调单元; 数字解调单元,接收模数转换单元输出,将经过解调后的数字信号输出到积分单元进行积分运算; 积分单元,接收数字解调单元的输出,将解调后的信号进行积分,得到反馈阶梯波的台阶高度信号,并将该信号分别输出给数字累加単元和数值滤波単元; 数字累加単元,接收积分単元的输出,并按照时间步长对其进行累加,得到数字阶梯波信号,该数字阶梯波信号与偏置调制方波叠加,叠加结果作为数模转换及驱动单元的输入信号; 数模转换及驱动单元,接收数字累加単元的输出,将数字阶梯波与调制方波转换为模拟电信号,然后把该电信号输出给Y型光相位调制器,驱动Y型光相位调制器对光信号进行调制以在两束相干偏振光间引入偏置调制相位和反馈调制相位;数值滤波单元,接收积分单元的输出,对接收到的信号进行滤波,得到滤波结果信号,并将该信号输出到接口转换单元; 接口转换单元,接收数值滤波单元的输出,将该输出信号转换为符合特定格式的输出信号,并以数字信号形式输出。
4.根据权利要求2所述的光纤传感器系统,其特征在于,所述Y型光相位调制器是Y型集成光学相位调制器。
5.根据权利要求I或2所述的光纤传感器系统,其特征在于,干涉时的相位差始终保持在± π /2左右的最灵敏区域。
6.根据权利要求3所述的光纤传感器系统,其特征在于,在信号处理单元中,数字解调单元、积分单元、数值滤波单元、数字累加单元、数模转换及驱动单元、接口转换单元可全部地或部分地集成。
专利摘要本实用新型提出了一种反射式干涉型光纤传感器的通用方案。它包括光源、光电探测器、光学器件集成组件、探头以及基于相关调制解调的数字闭环信号处理单元组成。其中光学器件集成组件由第一分光合光器件、Y型Y型光相位调制器、第二分光合光器件、光延迟器组成,作用包括分光合光、光起偏、偏振光分解、和光相位调制。该光纤传感器的通用方案具有互易性光路,提高了传感器对温度、振动等环境因素的抗干扰能力;它采用方波偏置调制结合阶梯波反馈调制的数字闭环微弱信号检测方法,使得传感器由此可以高线性度、高准确度地测得待测物理量大小。
文档编号G01D5/353GK202648677SQ20122012516
公开日2013年1月2日 申请日期2012年3月29日 优先权日2012年3月29日
发明者石金华 申请人:扬州永阳光电科贸有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1