透射电子显微镜样品的固定装置制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种透射显微镜样品的固定装置，其包括金属片，弹性件以及紧固件。金属件由相连的薄片部件和中空的环状固定部件构成；其中薄片端部用于固定所述金属网，环状固定部内壁具有环形台阶；弹性件设于环形台阶上；紧固件包括第一固定元件和第二固定元件，所述第一固定元件通过弹性件将所述环状固定部件固定在第二固定元件上。本发明避免了紧固件的第一固定元件与金属片的直接接触，改善了金属片受力变形的问题。
【专利说明】透射电子显微镜样品的固定装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体测试【技术领域】，特别涉及一种透射电子显微镜样品的固定装置。
【背景技术】
[0002]随着IC (Integrated circuit)产业发展,TEM(透射电子显微镜)已经演变成一个不可以缺少的分析研究工具。器件的尺寸越来越小，随之而来的影响器件性能的Defect(缺陷)也会相应越来越小，从而对分析工具解析度的要求自然就会越来越高。而TEM机台本身所具备的解析度以及精确度高的优点让其在FA (失效分析)以及制程监控等方面的作用也越来越明显。
[0003]在对TEM样品进行拍摄前，需要将载有TEM样品的铜网放入样品杆，然后再固定装置把铜网固定在样品杆上。图1和图2所示为现有技术中的透射电子显微镜样品固定装置，其包括铜片I和固定件2，固定件可为相匹配螺纹紧固件，如螺丝和内螺纹柱。铜片I为厚度均匀的薄片，其一端为环形，通过将螺栓旋入内螺纹柱锁定铜片1，铜片的另一端同样为环形，其压制在铜网边缘(图中未示)上，以固定铜网。由于螺丝和铜片I的使用频率比较高，从而螺丝容易由于磨损出现滑丝的现象，铜片I也会由于经常性被螺丝帽挤压时的硬性接触而出现变形。如果载有样品的铜网没有很好地被固定在样品杆上，那么拍摄过程中样品可能会丢失，造成经济损失的同时也会带来时间的无端浪费。
【发明内容】
[0004]本发明的主要目的旨在提供一种透射显微镜样品的固定装置，其简化了悬臂梁结构的制造工艺，与现有CMOS工艺完全兼容。
[0005]为达成上述目的，本发明提供一种透射显微镜样品的固定装置，所述样品放置于金属网上，所述固定装置用于固定所述金属网，其具体包含:金属片，其由相连的薄片部件和中空的环状固定部件构成；其中所述薄片端部用于固定所述金属网，所述环状固定部内壁具有环形台阶；弹性件，设于所述环形台阶上；以及紧固件，包括第一固定元件和第二固定元件，所述第一固定元件通过所述弹性件将所述环状固定部件固定在所述第二固定元件上。
[0006]优选地，所述紧固件未螺纹紧固件，所述第一固定元件为螺丝，所述第二固定元件为内螺纹柱。
[0007]优选地，所述金属片为铜片，所述弹性件为橡胶。
[0008]优选地，所述环形台阶的高度与所述薄片部件的高度相同。
[0009]优选地，所述环状固定部件的高度大于所述薄片部件的高度。
[0010]优选地，所述薄片部件的高度与所述环状固定部件高度的比为1:2?1:3。
[0011]优选地，所述弹性件的上表面与所述环状固定部的上表面平齐或突出于所述环状固定部的上表面。[0012]本发明的有益效果在于，通过采用内壁具有环形台阶的金属片，以及在台阶上嵌入弹性件，避免了紧固件的第一固定元件与金属片的直接接触，不仅改善了金属片受力变形的情况，也使得金属片不会在固定过程中发生位移变化，从而达到稳固固定承载样品的金属网，降低样品因金属网固定不佳而脱落报废的概率，更进一步地还可增加金属片和紧固件的使用寿命。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1所示为现有技术的透射显微镜样品的固定装置的立体图；
[0014]图2所示为图1所示的透射显微镜样品的固定装置的俯视图；
[0015]图3所示为本发明一实施例透射显微镜样品的固定装置的立体图；
[0016]图4所示为本发明一实施例透射显微镜样品的固定装置的剖视图；
[0017]图5所示为本发明一实施例透射显微镜样品的固定装置的第一固元件未旋入时的不意图；
[0018]图6所示为本发明一实施例透射显微镜样品的固定装置第一固定元件未旋入时的俯视图。
【具体实施方式】
[0019]为使本发明的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本发明的内容作进一步说明。当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本发明的保护范围内。
[0020]下面将结合具体的实施例对本发明的透射显微镜样品的固定装置进行详细的说明。本发明的固定装置是用于固定进行TEM检测的待测样品。通常来说，铜网上具有碳膜，而待测样品粘附在碳膜上，将载有待测样品的铜网放置于样品杆中进行TEM检测。而本发明的固定装置通过将承载待测样品的铜网固定在样品杆上实现对待测样品进行固定。
[0021]为了更好地说明本发明的技术方案，请参考图3至图6，透射显微镜样品的固定装置包括金属片10，紧固件20以及弹性件30。
[0022]紧固件20包括相配合的第一固定元件和第二固定元件。在本实施例中，紧固件20为螺纹紧固件，第一固定元件为螺丝，第二固定元件为内螺纹柱。紧固件20也可以是标准或非标准其他类型的紧固件，本发明并不加以限制。
[0023]金属片10由相连的中空的环形固定部件11和片状的薄片部件12构成，环形固定部件11通过紧固件20固定，薄片部件12的端部用于压制铜网(图中未示)的边缘将其固定。本实施例中金属片10为铜片。请进一步参考图4，在本发明中，环形固定部件11的内壁具有一环形台阶13，该环形台阶13上填充有弹性件30。弹性件30是由弹性材料形成，在本实施例中为橡胶。第一固定元件螺丝的螺丝帽接触并压紧弹性件30，从而将铜片10锁固在内螺纹柱上(螺丝帽和内螺纹柱之间)。由于螺丝帽是压在弹性件30而非铜片的环形固定部件11上，且弹性件30提供了力缓冲作用，避免了铜片10因与螺丝帽的直接硬性接触而发生变形，也避免了铜片10因与螺丝帽直接接触而在螺丝拧紧过程中发生位移导致铜片薄片状的端部也产生位置变化进而影响到铜网及其承载的待测样品。此外利用弹性件30也可进一步改善因螺纹磨损所引起的滑牙现象。环形台阶的高度可以和薄片部件12的高度相同，弹性件的上表面可稍突出于环状固定部件11的上表面或与该上表面平齐。
[0024]较佳的，如图4所示，在本实施例中，铜片的环形固定部件11的高度要大于薄片部件12的高度，其突出于薄片部件11。相较于现有技术铜片为厚度均匀的薄片状，本实施例通过增大环形固定部件11的高度提供了更好的受力性能，在固定过程中螺丝的拧紧动作不会影响到铜片的薄片部件端部铜网的固定。较佳的，薄片部件12的高度与环状固定部件11高度的比为1:2?1:3。
[0025]综上所述，本发明所提出的透射显微镜样品的固定装置通过内壁具有环形台阶的金属片和嵌入台阶上的弹性件相配合，避免了第一固定元件与金属片的直接接触，不仅改善了金属片受力变形的情况，也使得金属片不会在固定过程中发生位移变化，从而达到稳固固定承载样品的铜网，降低样品因铜网固定不佳而脱落报废的概率，更进一步地还可增加金属片和紧固件的使用寿命。
[0026]虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然所述诸多实施例仅为了便于说明而举例而已，并非用以限定本发明，本领域的技术人员在不脱离本发明精神和范围的前提下可作若干的更动与润饰，本发明所主张的保护范围应以权利要求书所述为准。
【权利要求】
1.一种透射显微镜样品的固定装置，所述样品放置于金属网上，所述固定装置用于固定所述金属网，其特征在于，包括: 金属片，其由相连的薄片部件和中空的环状固定部件构成；其中所述薄片部件的端部用于固定所述金属网，所述环状固定部内壁具有环形台阶； 弹性件，设于所述环形台阶上；以及 紧固件，包括第一固定元件和第二固定元件，所述第一固定元件通过所述弹性件将所述环状固定部件固定在所述第二固定元件上。
2.根据权利要求1所述的透射显微镜样品的固定装置，其特征在于，所述紧固件未螺纹紧固件，所述第一固定元件为螺丝，所述第二固定元件为内螺纹柱。
3.根据权利要求1所述的透射显微镜样品的固定装置，其特征在于，所述金属片为铜片，所述弹性件为橡胶。
4.根据权利要求1所述的透射显微镜样品的固定装置，其特征在于，所述环形台阶的高度与所述薄片部件的高度相同。
5.根据权利要求1所述的透射显微镜样品的固定装置，其特征在于，所述环状固定部件的高度大于所述薄片部件的高度。
6.根据权利要求5所述的透射显微镜样品的固定装置，其特征在于，所述薄片部件的高度与所述环状固定部件高度的比为1:2?1:3。
7.根据权利要求1所述的透射显微镜样品的固定装置，其特征在于，所述弹性件的上表面与所述环状固定部的上表面平齐或突出于所述环状固定部的上表面。
【文档编号】G01N1/36GK103645138SQ201310631447
【公开日】2014年3月19日 申请日期:2013年11月29日 优先权日:2013年11月29日
【发明者】孙凤勤, 陈强, 高林, 高金德 申请人:上海华力微电子有限公司