一种用于扫描电子显微镜的观察扫描透射像的装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于扫描电子显微镜上观察扫描透射像的装置。该装置由一个中空的石墨圆柱体和一个反射透射电子的金属箔及支撑构成。圆柱体顶端下凹部位放样品，下端有一个向侧面开的圆孔，其内部中心有一个与水平夹45°角的金属箔，金属箔倾斜面向圆孔。入射电子束穿过样品照射在金属箔上产生的二次电子和背散射电子从圆孔出射。利用扫描电镜中已有的二次电子检测器接收经转换的扫描透射信号，无需改动扫描电镜即可观察扫描透射像，还可进行薄样品的电镜能谱分析。本装置结构简单，成本低。
【专利说明】—种用于扫描电子显微镜的观察扫描透射像的装置
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种用于扫描电子显微镜的观察扫描透射像的装置。
【背景技术】
[0002]用扫描电子显微镜观察扫描透射像是扫描电子显微镜的一个功能。在扫描电子显微镜上实现该功能有多种方法。一般由厂商专门设计和安装一个附件才能实现这个功能。需要在扫描电镜样品室里安装放薄样品的支架，在薄样品的下方安放一个扫描透射信号接收装置收集透射束电子。也可以如日立公司在S-4800型场发射扫描电镜的作扫描透射像的支架，在样品的正下方的适当位置放置一个向二次电子检测器倾斜的反射圆环。入射电子束穿过样品的散射部分打在反射圆环上。利用扫描电镜二次电子检测器来接收来自反射圆环的二次电子和背散射电子形成暗场像，入射电子束穿过样品的直射部分被样品下方安装透射信号接收装置收集形成明场像。这些的设计都要在扫描电镜样品室的下方安装透射信号接收装置实现扫描透射明场像。
【发明内容】
[0003]本实用新型所要解决的技术问题是一种用于扫描电子显微镜上的观察扫描透射像的新型装置。该装置由一个中空的石墨圆柱体和一个反射透射电子的金属箔及支撑构成。圆柱体下端有一个向侧面开的圆孔，内部中心放一个与水平夹45°角的金属箔，金属箔倾斜面向圆孔。使用时将该装置粘在扫描电镜样品座上的中心位置。圆柱体下端向侧面开的圆孔朝向扫描电镜样品室内的二次电子检测器的方向固定好。样品载网放在中空的碳制圆柱体顶端开口的下凹处。利用扫描电镜样品室内的二次电子检测器接收来自金属反射箔的入射电子束穿过样品的直射部分产生的二次电子和背散射电子形成扫描透射明场像。该装置同时完成了支撑样品和透射电子信号转换功能。其在放样品处的下凹设计有效地阻止了样品上方出射的二次电子进入二次电子检测器对成像的干扰。并且不需要在扫描电镜内安装扫描透射电子检测器和对扫描电镜改动，制作成本低。采用石墨棒制作主要考虑做电镜能谱分析时干扰小和取材容易。
[0004]本实用新型利用扫描电镜中已有的二次电子检测器经金属箔的反射转换间接地接收扫描透射电子信号，无需改动仪器和额外调整光路即可观察扫描透射像，并且可以得到很好的效果。还可以作薄样品的扫描电镜能谱分析。本装置构造简单，成本低。
【专利附图】
【附图说明】
[0005]下面结合附图对本实用新型做进一步的说明:
[0006]图1是本实用新型观察扫描透射像的装置侧视图；
[0007]图2是本实用新型观察扫描透射像的装置A视图。
[0008]附图中标记为:10_中空的碳制圆柱体；11-放样品载网的下凹处；12-与水平夹45°角的金属箔；13_金属箔支撑；14_圆柱体下端向侧面开的圆孔。【具体实施方式】
[0009]本实用新型分三部分，由一个中空的碳制圆柱体10和一个反射透射电子的金属箔12及支撑13构成。参阅图1。圆柱体下端有一个向侧面开的圆孔，下端内部中心放一个与水平夹45°角的金属箔12。金属箔12完全覆盖其支撑13，在水平面和A视图上的投影均为圆形。然后将其装配在中空的碳制圆柱体10的下端。并且从中空的碳制圆柱体10下端的圆孔14中可以完全看到金属箔12,对正。
[0010]将本装置安放在扫描电子显微镜的样品台上，本装置下端电子的出射孔14对准扫描电镜样品室内的二次电子检测器的接收方向。样品载网放入本装置放样品载网的下凹处11。送入扫描电子显微镜样品室内观察。
[0011]放样品载网的下凹处11与圆柱体下端向侧面开的圆孔14之间的距离在设计制作时视扫描电子显微镜型号而定。一般设定在扫描电镜最短工作距离或接近最短工作距离观察时，圆柱体底端向侧面开的圆孔14在二次电子检测器最佳检测范围内。样品一般在扫描电镜最短工作距离或接近最短工作距离时观察，这样设计的优点是充分利用了扫描电镜在小工作距离时图像分辨率高的特点以获得到尽可能高分辨率的图像，充分发挥仪器的能力。
[0012]本实用新型设计巧妙，制作工艺简单。取材于电镜室常用的材料，成本低廉。具体实施操作容易，无论是观察扫描透射像，还是作薄样品的电镜能谱分析都可以达到满意效果O
【权利要求】
1.一种用于扫描电子显微镜的观察扫描透射像的装置，包括一个中空的石墨圆柱体、一个金属箔和它的支撑，所述圆柱体下端有一个向侧面开的圆孔，其内部中心放一个与水平夹45°角的金属箔，金属箔倾斜面向圆孔。
2.根据权利要求1所述的一种用于扫描电子显微镜的观察扫描透射像的装置，其特征是其中空的石墨圆柱体顶端有一个放样品的下凹形状。
3.根据权利要求1所述的一种用于扫描电子显微镜的观察扫描透射像的装置，其特征是中空圆柱体是由光谱纯碳棒制成。
【文档编号】G01Q30/02GK203479832SQ201320344471
【公开日】2014年3月12日 申请日期:2013年6月17日 优先权日:2013年6月17日
【发明者】周固 申请人:北京师范大学